• Title/Summary/Keyword: alumina-N

검색결과 323건 처리시간 0.027초

원자층 증착법으로 형성된 $Al_{2}O_{3}$ 층을 이용한 MOS 구조에서 폴리 실리콘 층의 전기적 특성에 관한 연구 (Electrical Properties of poly Si layers embedded in metal-oxide-semiconductor structure by using atomic-layer-deposited alumina layers as blocking oxide)

  • 박병준;조경아;김상식
    • 대한전기학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
    • /
    • pp.1353-1354
    • /
    • 2007
  • 폴리 실리콘 층의 유무에 따른 금속-옥사이드-반도체(MOS) 구조의 소자를 제작하였다. 터널링 산화막과 블로킹 산화막으로는 $Al_{2}O_{3}$ 층을 증착하였으며, 원자층 증착법을 이용하여 제작하였다. 터널링 산화막 층의 두께에 따른 I-V와 C-V 특성을 측정하였다. 전자들이 폴리 실리콘 층에 저장됨에 따라 N-형의 I-V 특성이 관찰되었다. C-V 측정 시에는 반시계 방향의 히스테리시스 특성을 나타내었으며, 전압이 증가할수록 플랫-밴드 전압 이동 폭이 더욱 증가하였다. 이러한 전기적 특성은 전압의 이동에 따른 전자들이 터널링 산화막 층을 통하여 폴리 실리콘 내부에 저장되기 때문이다. 이를 특성들은 폴리 실리콘의 전하 저장 가능성을 보여주는 것이며, 터널링 산화막 층의 두께에 따른 전기적 특성 변화도 관찰하였다.

  • PDF

Fracture Toughness of 3Y-TZP Dental Ceramics by Using Vickers Indentation Fracture and SELNB Methods

  • Moradkhani, Alireza;Baharvandi, Hamidreza;Naserifar, Ali
    • 한국세라믹학회지
    • /
    • 제56권1호
    • /
    • pp.37-48
    • /
    • 2019
  • The objective of this research is to analyze the fracture toughness of pure and silica co-doped yttria-stabilized tetragonal zirconia polycrystal (3Y-TZP) bioceramics containing 0.1 and 0.2 wt.% of alumina, and sintered at a temperature of $1500^{\circ}C$. Because of the relatively easy preparation of the test specimens and the high speed of testing, the Vickers indentation fracture (VIF) technique is more frequently used to evaluate the fracture toughness of biomaterials and hard biological tissues. The Young's modulus and hardness values were obtained by means of nanoindentation and indentation methods. The fracture toughness values of 3Y-TZP bioceramics were calculated and analyzed using 15 equations related to the VIF technique, and loadings of 49.03 and 196.13 N with a Vickers diamond. For validation, the results were compared with fracture toughness values obtained by the single-edge laser-notch beam (SELNB) method with an almost atomically sharp laser-machined initial notch.

팔라듐-은 막반응기를 이용한 메탄의 부분산화반응 (Partial Oxidation of Methane in Palladium-silver Alloy Membrane Reactor)

  • 최태호;김광제;문상진;서정철;백영순
    • 공업화학
    • /
    • 제16권5호
    • /
    • pp.641-647
    • /
    • 2005
  • 메탄의 부분산화반응은 수소 제조의 중요한 반응 중의 하나이다. 무전해 도금방법에 의해 제조된 팔라듐-은 막을 막반응기(membrane reactor)로서 메탄의 부분산화반응에 적용하여 반응온도, $O_2/CH_4$ 몰비, $CH_4$ 공급속도, $N_2$ 운반 가스 흐름속도 등의 변화에 따라 실험을 수행하였다. 막반응기의 메탄 전환율은 알루미나에 담지된 니켈 촉매를 사용하는 반응조건하에서 $350{\sim}730^{\circ}C$의 반응온도에 따라 증가하는 경향을 보였으며, 특히 $730^{\circ}C$$O_2/CH_4$ 몰비 0.5에서 메탄 전환율과 CO 선택도가 가장 높았다. 막반응기의 메탄 전환율은 전통적인 관형반응기와 비교한 결과 반응조건에 따라 10~40% 정도 높았다.

졸-겔법에 의한 나노기공성 세라믹 막의 제조 및 기체투과 특성 (Preparation of Nanoporous Ceramic Membranes by Sol-gel Method and Characterization of Gas Permeation)

  • 이용택;최가영;한혁희
    • 멤브레인
    • /
    • 제18권2호
    • /
    • pp.176-184
    • /
    • 2008
  • 본 연구에서 졸-겔 방법에 의하여 나노 기공을 가지는 세라믹막을 제조하여 단일 조성의 헬륨과 질소를 가지고 기체투과 실험을 수행하였다. 기공 크기 $0.1{\mu}m$, 기공율 32%의 평막형 ${\alpha}-Al_2O_3$ 지지체를 제조하였으며, 지지체를 담지하여 코팅하는 방법으로 4nm의 기공 크기를 가지는 ${\gamma}-Al_2O_3$ 중간층을 제조하였다. 실리카 졸은 TEOS의 산 촉매 가수분해와 축중합반응을 통하여 합성하였다. 막은 딥코팅과 소결과정을 거쳐 제조되었다. 졸-겔 법에 의해 합성된 세라믹 막을 통한 헬륨, 질소 투과 실험은 기체의 투과 특성을 파악하기 위하여 시행하였다. 질소에 대한 헬륨의 선택도는 $100{\sim}160$ 정도였으며 헬륨의 투과도는 $303{\sim}363K$의 온도 범위에서 $10^{-7}mol/m^2{\cdot}s{\cdot}Pa$ 정도였다.

Improvement of Electrical Properties by Controlling Nickel Plating Temperatures for All Solid Alumina Capacitors

  • Jeong, Myung-Sun;Ju, Byeong-Kwon;Oh, Young-Jei;Lee, Jeon-Kook
    • 한국재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국재료학회 2011년도 추계학술발표대회
    • /
    • pp.25.2-25.2
    • /
    • 2011
  • Recently, thin film capacitors used for vehicle inverters are small size, high capacitance, fast response, and large capacitance. But its applications were made up of liquid as electrolyte, so its capacitors are limited to low operating temperature range and the polarity. This research proposes using Ni-P alloys by electroless plating as the electrode instead of liquid electrode. Our substrate has a high aspect ratio and complicated shape because of anodic aluminum oxide (AAO). We used AAO because film thickness and effective surface area are depended on for high capacitance. As the metal electrode instead of electrolyte is injected into AAO, the film capacitor has advantages high voltage, wide operating temperature, and excellent frequency property. However, thin film capacitor made by electroless-plated Ni on AAO for full-filling into etched tunnel was limited from optimizing the deposition process so as to prevent open-through pore structures at the electroless plating owing to complicated morphological structure. In this paper, the electroless plating parameters are controlled by temperature in electroless Ni plating for reducing reaction rate. The Electrical properties with I-V and capacitance density were measured. By using nickel electrode, the capacitance density for the etched and Ni electroless plated films was 100 nFcm-2 while that for a film without any etch tunnel was 12.5 nFcm-2. Breakdown voltage and leakage current are improved, as the properties of metal deposition by electroless plating. The synthesized final nanostructures were characterized by scanning electron microscopy (SEM).

  • PDF

4차 암모늄염을 포함하는 공중합체를 이용한 저항형 습도센서 (II) : 4원 공중합체 (Resistive Humidity Sensor from Copolymers Containing Quaternary Ammonium Salt (II): Four Component Copolymers)

  • 이동근;임태호;전영민;공명선
    • 폴리머
    • /
    • 제31권4호
    • /
    • pp.302-307
    • /
    • 2007
  • 저항형 습도센서를 제조하기 위하여 [2-[(methacryloyloxy)ethyl]dimethyl] propylammonium bromide(MEPAB), [2-[(methacryloyloxy)ethyl]-2-hydroxyethyl]dimethylammonium bromide(MEHDAB), 2-[(methacryloyloxy)ethyl]trimethylammonium chloride(METAC), 그리고 n-butyl methylacrylate(BMA)의 공중합체를 사용하였다. 4가지 종류의 4원 공중합체 MEPAB/BMA/MEHDAB/METAC=4/4/1/1, 3/5/1/1, 2/6/1/1, 1/7/1/1을 blocked-isocyanate가교제를 사용하여 Ag/Pd 전극/알루미나에 도포한 후 좋은 내수성을 보여주었다. 습도센서의 상대습도에 대한 주파수 의존성, 온도 의존성, 히스테리시스, 응답속도 그리고 내수성을 평가하였다. MEPAB/BMA/MEHDAB/METAC=2/6/1/1 공중합체의 경우, $30{\sim}90%RH$에서 $1.4\;M{\Omega}{\sim}2.9\;k{\Omega}$의 저항을 보여주었으며 좋은 직선성과 작은 히스테리시스를 보여주었다.

초음파를 이용한 레드머드로부터 유가금속 회수에 관한 연구 (Study on recovery of heavy metals from red mud by using the ultrasonic waves)

  • 임기혁;손병현
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제16권1호
    • /
    • pp.906-913
    • /
    • 2015
  • 알루미나를 생산하는 Bayer 공정에서 발생하는 레드머드는 환경과 인간에게 심각한 위험요인이 되고 있어, 알루미늄 산업에서 레드머드의 발생량을 줄이거나 또는 재활용 하는 것은 매우 시급한 문제이다. 본 연구에서는 초음파 강도, 반응온도, 반응시간 및 산성용액 농도 등 4가지 변수가 레드머드 내의 철과 알루미늄의 침출에 미치는 영향에 대해 연구하였다. 레드머드로부터 금속 성분의 용출에 미치는 가장 중요한 변수는 초음파 강도와 반응온도로 나타났다. 초음파를 조사할 경우, 철과 알루미늄의 회수율은 초음파를 조사하지 않은 경우보다 각각 1.72배와 1.28배 정도 증가하는 것으로 나타났다. 본 연구결과, 알루미나로부터 금속성분을 회수하기 위한 적정 조업조건은 초음파 강도 150 W, 황산 용액의 농도 4-6N, 반응온도 $70^{\circ}C$, 반응시간 2시간 등이었다.

Ti:LiN$bO_3$ 광변조기 소자의 패키징 및 전기.광학적 특성 (The study of the packaging for Ti:LiN$bO_3$optical modulator device and its electrical and optical characteristics)

  • 윤형도;김성구;이한영;윤대원
    • 전자공학회논문지D
    • /
    • 제35D권6호
    • /
    • pp.72-78
    • /
    • 1998
  • Ti:LiNbO$_3$ 광도파로위에 CPW 전극 구조를한 광변조기 내부칩을 제작한 후 일련공정에 따라 패키징 작업을 하였고 소자의 전기적특성과 광학적특성을 측정하였다. 광변조기 패키징을 위하여 페룰, 보조용 LN블럭 및 글래스, 진동 및 흡수용패드, 알루미나피더의 부분품을 사용하였으며 피그테일링, Au 와이어본딩, 에폭싱, SMA커넥팅, 실링 작업을 수행하였다. 전기적 특성에서 S/sub 21/은 -3 dB 점에서 9.8GHz의 값을, S/sub 11/은 14.4 GHz 대에서 -8.9 dB 값을 나타내었다. 광학적 특성은 제작된 광도파로가 1550nm 파장대에서 단일모드를 만족하였고, 패키지후 소자의 삽입손실은 실온에서 4.3 dB 이였으며, 소자를 온도감압챔버에 넣은후 5∼45℃까지 온도변화를 주었을 때 4.3∼6.4 dB의 삽입손실을 보였다. E-O bandwidth 응답은 3dB점에서 7.8GHz를 나타내어 10Gbps급 광통신시스템에 응용할수 있음을 확인하였다.

  • PDF

단일구조 지르코니아(zirconia) 전부도재관의 표면처리에 따른 전장도재와의 전단결합강도 (Effect of surface treatments on the shear bond strength of full-contour zirconia layered with porcelain)

  • 최병환;김임선
    • 대한치과기공학회지
    • /
    • 제35권2호
    • /
    • pp.121-126
    • /
    • 2013
  • Purpose: The aim of this research was to investigate difference in shear bond strengths of full-contour zirconia layered with porcelain. Methods: Disk-shaped (diameter: 12.0 mm; height: 3.0 mm) zirconia were randomly divided into six groups according to the surface conditioning method to be applied (N=90, n=15 per group): group 1-contol group(ZC); group 2-airborne particle abrasion with $50-{\mu}m\;Al_2O_3(5A)$; group $3-50-{\mu}m\;Al_2O_3$ + liner(5AL), group $4-110-{\mu}m\;Al_2O_3(1A)$; group $5-110-{\mu}m\;Al_2O_3$ + liner(1AL); group 6-liner(LC). On each block, zirconia porcelain was build up according to manufacturer's instructions. All samples were fixed with measuring jigs and shear bond strength were measured with Universal testing machine. Collected data were analyzed using SPSS(Statistical Package for Social Sciences) Win 12.0 statistics program. Results: LC showed the highest value($29.92{\pm}2.55$ MPa) and ZC showed the lowest value($13.22{\pm}1.37$ MPa). Zirconia liner and Alumina oxide groups was significantly higher shear bond strength than control(p<0.05). 5A (without liner $22.18{\pm}2.37$, with liner $22.84{\pm}1.74$ MPa) was higher shear bond strength than $110{\mu}m$ (without liner $20.18{\pm}2.38$, with $20.71{\pm}2.67$). Conclusion: Surface treatments may have advantage in bond strength improvement for full-contour zirconia layered with porcelain.

4차 암모늄염을 포함하는 공중합체를 이용한 저항형 습도센서(I) : 3원 공중합체 (Resistive Humidity Sensor from Copolymers Containing Quaternary Ammonium Salt (I): Three Component Copolymers)

  • 이동근;임태호;전영민;공명선
    • 폴리머
    • /
    • 제31권3호
    • /
    • pp.194-200
    • /
    • 2007
  • 고분자막 저항형 습도센서를 제조하기 위하여 [2-[(methacryloyloxy)ethyl] dimethyl] propylammonium bromide(MEPAB), [2-[(methacryloyloxy)ethyl]-2-hydroxyethyl]dimethylmonium bromide (MEHDAB), n-butyl methylacrylate(BMA), 2-hydroxyethyl methylacrylate(HEMA)와 styrene의 공중합체를 사용하였다. 4가지 종류의 공중합체들 즉 MEPAB/styrene/MEHDAB MEHDAB/BMA/HEMA, MEPAB/BMA/MEHDAB 그리고 MEPAB/styrene/HEMA을 알루미나 기판에 인쇄된 Ag/Pd 전극 위에 blocked-isocyanate 가 교제로 가교시켜 도포하였을 때, 매우 좋은 내수성을 보여주었다. 습도센서의 상대습도에 대한 주파수 의존성, 온도의존성, 히스테리시스, 응답속도 그리고 내수성을 평가하였다. MEPAB/BMA/MEHDAB= 3/6/1 공중합체의 경우, $30{\sim}90%RH$ 범위에서 $2.9 M{\Omega}$에서 $1.84k{\Omega}$의 저항을 보여주었으며 좋은 직선성과 낮은 히스테리시스를 보여주었다.