저압화학기상 성장법으로 제작된 $Si_{x}O_{y}N_{z}$ 의 알칼리이온 감지성에 관한 연구
(A Study on Alkali ion-Sensitivity of $Si_{x}O_{y}N_{z}$ Fabricated by Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
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- 센서학회지
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- 제6권3호
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- pp.200-206
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- 1997