희생층과 압전층의 면적변화에 따른 ZnO 압전박막을 이용한 Air-gap Type FBAR의 특성 (Characteristics of Air-Gap Type FBARs Using ZnO Piezoelectric Thin Film With Varying Dimension of Sacrificial and Piezoelectric layer)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- pp.17-20
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- 2001