• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.484-484
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• 2009

반도체 소자가 차세대 초미세 공정 기술 도입의 가속화를 통해 고속화 및 고집적화 되어 감에 따라 나노 (nano) 크기의 회로 선폭 미세화를 극복하고자 최적의 CMP (chemical mechanical polishing) 공정이 요구되어지고 있다. 최근, 금속배선공정에서 높은 전도율과 재료의 값이 싸다는 이유로 Cu를 사용하였으나, 디바이스의 구조적 특성을 유지하기 위해 높은 압력으로 인한 새로운 다공성 막(low-k)의 파괴와, 디싱과 에로젼 현상으로 인한 문제점이 발생하게 되었다. 이러한 문제점을 해결 하고자 본 논문에서는 Cu의 ECMP 적용을 위해 LSV (Linear sweep voltammetry)법을 통하여 알칼리 성문인 $NaNO_3$ 전해액과 산성성분인 $HNO_3$ 전해액의 전압 활성화에 의한 active, passive, transient, trans-passive 영역을 I-V 특성 곡선을 통해 알아보았고, 알칼리와 산성 성분의 전해액이 Cu 표면에 미치는 영향을 SEM (Scanning electron microscopy), EDS (Energy Dispersive Spectroscopy), XRD(X-ray Diffraction)를 통하여 전기화학적 특성을 비교 분석하였다.

• 한국물환경학회지
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• 제25권6호
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• pp.979-983
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• 2009

The mean pH of wastewater discharged from the plating process is 2, so a less amount of alkali is required to raise pH 2 to 5. In addition, if sodium sulfite is used to raise pH 5 to 9 in the secondary treatment, caustic soda or slaked lime is not necessary or only a small amount is necessary because sodium sulfite is alkali. Thus, it is considered desirable to use only $FeSO_4{\cdot}7H_2O$ in the primary treatment. At that time, the free cyanide removal rate was highest as around 99.3%, and among heavy metals, Ni showed the highest removal rate as around 92%, but zinc and chrome showed a low removal rate. In addition, the optimal amount of $FeSO_4{\cdot}7H_2O$ was 0.3g/L, at which the cyanide removal rate was highest. Besides, the free cyanide removal rate was highest when pH value was 5. Of cyanide removed in the primary treatment, the largest part was removed through the precipitation of ferric ferrocyanide: $[Fe_4(Fe(CN)_6]_3$, and the rest was precipitated and removed through the production of $Cu_2[Fe(CN)_6]$, $Ni_2[Fe(CN)_6]$, CuCN, etc. Furthermore, it appeared more effective in removing residual cyanide in wastewater to mix $Na_2SO_3$ and $Na_2S_2O_5$ at an optimal ratio and put the mixture than to put them separately, and the optimal weight ratio of $Na_2SO_3$ to $Na_2S_2O_5$ was 1:2, at which the oxidative decomposition of residual cyanide was the most active. However, further research is required on the simultaneous removal of heavy metals such as chrome and zinc.

• 한국식품과학회지
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• 제17권3호
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• pp.180-185
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• 1985

알칼리 처리와 글리세린으로 에스테르화 반응을 시킨 탈산공정에 의하여 정제한 각 미강유의 열안정성을 비교하였다. 가열중 산 값의 변화는 알칼리정제 미강유에서는 가열시간에 따라서 증가하였으나, 글리세린처리 미강유의 일부는 완만한 증가추세를, 또 일부는 가열시간이 경과함에 따라서 산 값이 감소하였다. 과산화물 값의 변화는 가열중 증가와 감소의 반복추세를 나타냈으며 알칼리 정제 미강유와 글리세린처리 미강유의 과산화물 값이 13.3 mgq/kg하였다. TBA값의 변화는 가열 10시간까지 급격하게 증가하고 그후 완만한 감소추세를 나타낸다. 가열중 글리세린처리 미강유는 착색현상이 심하였다. 알칼리정제 미강유와 글리세린 미강유의 90시간 가열 후 TG의 감소율은 $150^{\circ}C$에서는 처리방법에 따라 큰 차이가 없었으나, $150^{\circ}C$에서는 글리세린처리미강유가 알칼리정제 미강유보다 TC의 감소율이 약 2${\sim}$7% 높았다. AOM 시험에서 알칼리 정제미강유는 글리세린처리미강유보다 약 2배의 산화 안정성이 있었다.

• 한국의류학회지
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• 제1권1호
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• pp.31-37
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• 1977

The effects of surfactants and concentration of NaOH in surfactant solution on the removal of free fatty acid soil from cotton fabrics were investigated. Cotton fabrics were soiled with palm itic acid which is the most common fatty acid found in natural oily soil and washed in Lauder-ometer with various types of surfactant with or without NaOH. The rate of soil removal was estimated by analyzing palmitic acid contents in fabric before ar d after washing. Analysis of palmitic contents was made by extracting palmitic acid with azeotropic mixture of alcohol-benzene and the extracts were titrated with standard NaOH solution. It was shown that the types of surfactant are important factor in free fatty acid removal and the efficiency increases in the following order: SLS$90\%$ of initial sorption. In relation to the mechanism of detergency, the suspending and emulsifying power of surfactants were also examined. From the results of this experiments, it could be concluded that the soap formation with alkali and the suspending power of surfactant arc significant factors in free fatty acid soil removal, but the emulsifying power of it is neglizible.

• 광물과 암석
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• 제34권4호
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• pp.255-264
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• 2021

한반도는 황사의 이동 경로에 있으나, 풍화와 침식이 활발한 산악 지형에서 황사의 퇴적을 확인하기는 어렵다. 이 연구에서는 설악산 알칼리장석화강암 토양의 세립실트(< 20 ㎛)에 점토광물 특성, 광물조성, 미세조직 분석을 실시하여 산악지역 토양 내 황사퇴적물의 존재 상태를 조사하였다. 이 지역 토양 세립실트는 기반암 유래 쇄설성 입자, 황사퇴적물, 그리고 이들의 풍화물로 구성되어 있다. 토양 내 황사기원 광물로 2:1 층상규산염, 녹니석, 각섬석, 녹염석, 함칼슘사장석이 확인되었다. 기반암인 알칼리장석화강암은 석영과 알칼리장석으로 구성되며, 알칼리장석 중 앨바이트가 부분적으로 풍화되어 소량의 깁사이트와 고령토 광물이 생성되었다. 산성토양환경에서 일라이트-스멕타이트 계열 2:1 층상규산염의 팽윤성 층간에 다핵 Al 양이온 종들이 교환 및 고정되어 히드록시-Al삽입점토광물이 생성되었다. 2:1 층상규산염 총량을 기준으로 평가하면 조사한 토양 세립실트 내 황사의 양은 70% 정도로 추정된다.

• 공업화학
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• 제30권4호
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• pp.460-465
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• 2019

본 연구에서는 각종 산업시설에서 발생하는 $H_2S$를 처리하기 위하여 금속산화물 기반의 흡착제의 활성물질 최적화 및 입상형 흡착제 제조에 관한 연구를 진행하였다. 적용되는 흡착제는 금속산화물 중 높은 물리화학적 안정성과 비교적 큰 비표면적을 가지는 $TiO_2$를 이용하여 활성물질의 종류와 함량을 다르게 제조하였다. 이러한 흡착제의 물리화학적 특성과 흡착성능과의 상관관계를 확인한 결과 활성금속 중 대표적인 알칼리 물질인 KI를 첨착한 흡착제의 흡착성능이 가장 우수하였으며, 함량과 흡착성능의 관계는 비례하지 않고 volcano plot을 나타냈다. XRD, SEM, BET 분석을 통해 특정 함량 이상부터 활성물질이 표면에 노출됨을 확인하였으며, 비표면적은 $40{\sim}100m^2/g$, 기공의 부피는 $0.1{\sim}0.3cm^3/g$의 기공 특성을 가질 때 흡착성능이 가장 우수한 것으로 판단하였다. 실 공정 적용을 위해 흡착제를 입상형으로 성형 또는 세라믹 지지체에 코팅을 진행하였으며, 성형보다는 세라믹 지지체에 흡착제를 코팅하였을 때 우수한 흡착성능을 나타내는 것으로 확인하였다.

• 공업화학
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• 제9권5호
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• pp.749-753
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• 1998

고급지방산 메틸에스테르의 일종인 dodecanoic acid methyl ester (DME)에 금속 산화물인 고체촉매 (W-7)를 이용하여 고온, 고압하에서 ethyleneoxide (EO)를 5, 7, 9, 및 12 몰씩 부가반응시켜 얻은 비이온성 계면활성제인 methoxy polyoxy ethylene dodecanoate (MPD)류 4종을 높은 수율 (93~97%)로 합성하여 얻었다. DME는 구조적으로 활성수소가 없어서 일반적인 산, 알칼리 촉매에서는 반응이 어렵고 활성고체촉매를 사용해야 EO의 단위 몰수를 부가 시킬 수 있었다. 최종 생성물에 대한 것을 IR, HPLC 및 $^1H$ NMR를 이용하여 각각의 화합물에 대한 구조를 확인하였다. 이 결과 EO의 부가 몰수는 5.2, 7.1, 9.2 및 12.1 몰이었고, 각 몰의 평균 EO 분포는 polyoxyethylene alkyl ether (AE)처럼 정규분포 곡선을 나타내었다.

• Current Research on Agriculture and Life Sciences
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• 제1권
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• pp.113-140
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• 1983

This is a study on a landscape planning along the street 1~4, which are gateways to Taegu city and an important scenery. Therefore, emphasis was given to provide a bright, clean and beautiful first impression to visitors and citizens. The area is being developed for education and athletic park. Plans to construct a fountain, pergolas and a pond were set up to complement the active and passive facilities to the existing a athletic facilities in the area. Since D part in the area have alkali soil (pH 8.1), soil amendment is necessary for successful growth of trees and ground covers. When the area is filled or added with new soil for soil amendment, it will be important to use fresh soil which can support plant growth. It will be ideal to use ground covers and shrubs on the existing retaining walls along the street for keeping natural vegetation and slope stability instead of further cutting and reconstruction. It is not reasonable in technical and economic sense to remove rocks of the slope for planting trees. In order to harmonize plant color distribute, tall needle and broad leaf trees in the background as a screen, flowering trees were arranged in groups at front, and annuals were mass-planted along the footway. Natural-form-trees will be planted because they not only serve as a greenbelt but also are more economics in maintenance than formative trees.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.486-486
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• 2009

In this paper, the current-voltage (I-V) curves, such as linear sweep voltammetry (LSV) and cyclic voltammetry (CV), were employed to evaluate the effect of electrolyte concentration on the electrochemical reaction trend. From the I-V curve, the electrochemical states of active, passive, transient and trans-passive could be characterized. And then, we investigated that how this chemical affect the process of voltage-induced material removal in electrochemical mechanical polishing (ECMP) of Copper. The scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive spectroscopy EDS) analyses were used to observe the surface profile. Finally, we monitored the oxidation and reduction process of the Cu surface by the repetition of anodic and cathodic potential from cyclic voltammetry (CV) method in acid- and alkali-based electrolyte. From these analyses, it was important to understand the electrochemical mechanisms of the ECMP technology.

• 펄프종이기술
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• 제48권2호
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• pp.13-19
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• 2016

Moso Bamboo was investigated as the a raw material for pulp and paper industry. Soda-Anthraquinone (Soda-AQ) pulping, elemental chlorine free bleaching was applied. Yield of soda or soda-AQ pulp was 29.3-31.7% with Kappa number 33.0-22.8 with different cooking time or anthraquinone addition at 20% active alkali. In soda or soda-AQ pulping, 81-86% of xylan was removed, which was the main reason for lower pulp yield than hardwood species. Average fiber length of Moso Bamboo soda-AQ pulp was 1.36 mm with $15.5{\mu}m$ fiber width. Soda-AQ pulp from Moso Bamboo (P-3, lowest Kappa pulp) was bleached with 5.5-6.5% of chlorine dioxide charge as D0ED1 bleaching sequence. In 3-stages ECF bleaching, final brightness of 85.3% ISO was achieved with total chlorine dioxide 6.5%.