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Temperature Dependent Octahedral Tilting Behaviors of Monoclinic and Tetragonal SrRuO3 Thin Films

  • Lee, Sung Su;Seo, Okkyun;Kim, Jaemyung;Song, Chulho;Hiroi, Satoshi;Chen, Yanna;Katsuya, Yoshio;Sakata, Osami
    • Journal of the Korean Physical Society
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    • 제73권10호
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    • pp.1529-1534
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    • 2018
  • We used in-situ synchrotron X-ray scattering to investigate phase transformations of octahedral tilted monoclinic $SrRuO_3$ (MSRO) and tetragonal SRO (TSRO) thin films on $SrTiO_3$ (STO) substrates. The octahedral tilted MSRO thin films were highly crystalline and the monoclinic distortion angle was $0.45^{\circ}$. The phase transition temperature from the MSRO to TSRO phase occurred at approximately $200^{\circ}C$ as a second order transition. Conversely, no phase transformations of the TSRO thin film occurred within the range from RT to $250^{\circ}C$. The octahedral $RuO_6$ rotation was strongly affected by the phase transformation in the SRO thin films.

저온 공정 온도에서 $Al_2O_3$ 게이트 절연물질을 사용한 InGaZnO thin film transistors

  • 우창호;안철현;김영이;조형균
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.11-11
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    • 2010
  • Thin-film-transistors (TFTs) that can be deposited at low temperature have recently attracted lots of applications such as sensors, solar cell and displays, because of the great flexible electronics and transparent. Transparent and flexible transistors are being required that high mobility and large-area uniformity at low temperature [1]. But, unfortunately most of TFT structures are used to be $SiO_2$ as gate dielectric layer. The $SiO_2$ has disadvantaged that it is required to high driving voltage to achieve the same operating efficiency compared with other high-k materials and its thickness is thicker than high-k materials [2]. To solve this problem, we find lots of high-k materials as $HfO_2$, $ZrO_2$, $SiN_x$, $TiO_2$, $Al_2O_3$. Among the High-k materials, $Al_2O_3$ is one of the outstanding materials due to its properties are high dielectric constant ( ~9 ), relatively low leakage current, wide bandgap ( 8.7 eV ) and good device stability. For the realization of flexible displays, all processes should be performed at very low temperatures, but low temperature $Al_2O_3$ grown by sputtering showed deteriorated electrical performance. Further decrease in growth temperature induces a high density of charge traps in the gate oxide/channel. This study investigated the effect of growth temperatures of ALD grown $Al_2O_3$ layers on the TFT device performance. The ALD deposition showed high conformal and defect-free dielectric layers at low temperature compared with other deposition equipments [2]. After ITO was wet-chemically etched with HCl : $HNO_3$ = 3:1, $Al_2O_3$ layer was deposited by ALD at various growth temperatures or lift-off process. Amorphous InGaZnO channel layers were deposited by rf magnetron sputtering at a working pressure of 3 mTorr and $O_2$/Ar (1/29 sccm). The electrodes were formed with electron-beam evaporated Ti (30 nm) and Au (70 nm) bilayer. The TFT devices were heat-treated in a furnace at $300^{\circ}C$ and nitrogen atmosphere for 1 hour by rapid thermal treatment. The electrical properties of the oxide TFTs were measured using semiconductor parameter analyzer (4145B), and LCR meter.

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홍천 철-희토류광상 모암의 암석화학 (Petrochemistry of the Hongcheon Fe-REE ore deposit in the Hongcheon area, Korea)

  • 박중권;이한영
    • 암석학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.135-153
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    • 2003
  • 선캠브리아기 변성퇴적암류를 관입하고 있는 탄산염암에 배태하는 홍천 철-희토류 광상은 자철석, 안케라이트, 능철석, 마그네사이트, 스트론티아나이트 등의 다양한 탄산염광물과 모나자이트, 아지린휘석, Na가 섬석 및 황화광물들이 산출되어 이들 암석의 지화학적특성과 성인을 규명하고자 주 원소, 미량원소, 희토류원소 및 산소-탄소의 안정동위원소의 광물 및 암석화학연구가 이루어졌다. 각 원소(주원소, 미량원소, 희토류원소)들을 본 연구지역의 탄산염암과 유사한 철질 카보나타이트(ferro-carbonatite)와 비교하면 주 원소에서는 농집된 FeO와 결핍된 CaO가 관찰되며, $SiO_2$가 증가하면서 $TiO_2$$A1_2O_3$증가, CaO, FeO, MgO 및 $P_2O_{5}$의 약한 감소가 인지되나 분산되어 뚜렷한 경향은 아니다. 미량원소는 Nb, Zr 및 Zn이 철질 카보나타이트보다 결핍되어 나타나며, $SiO_2$의 증가에 따른 V 및 Ni의 증가, U 및 Rb의 미약한 증가가 확인되나 타 원소들은 분산되어 뚜렷한 경향을 나타내지 않는다. 희토류원소는 전희토류(TREE)함량이 매우 높고 La, Ce, Pr, Nd 및 Sm 같은 경희토류의 농집, 그리고 결핍된 중희토류로 인하여 높은 La/Lu 값을 보이고 있다. 안케라이트, 스트론티아나이트 및 전암의 산소 및 탄소 안정동위원소 결과는 본 암이 화성기원의 카보나타이트용융체에서 유래된 것으로 나타난다. 홍천 철-희토류 광상 탄산염암의 암석화학적 특성은 일반적인 철질 카보나타이트와는 차이가 있으며 러시아 Kovdor 및 핀랜드 Sokli 지역에서 산출되는 카보나타이트의 일종인 포스코라이트(phoscorite)의 암석화학성분과 매우 유사하다.

ECU 커먼레일 디젤기관에 있어서 매연 및 NOX 배출물 동시 저감용 일체형 요소-SCR 촉매필터 시스템의 특성에 관한 연구 (A Study on Characteristics of an Integrated Urea-SCR Catalytic Filter System for Simultaneous Reduction of Soot and NOX Emissions in ECU Common-rail Diesel Engines)

  • 배명환
    • 한국자동차공학회논문집
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    • 제22권4호
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    • pp.111-120
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    • 2014
  • The aim of this study is to develop an integrated urea-SCR catalytic filter system for reducing soot and $NO_X$ emissions simultaneously in diesel engines. In this study, the characteristics of exhaust emissions relative to reactive activation temperature under four kinds of engine loads are experimentally investigated by using a four-cycle, four-cylinder, direct injection type, water-cooled turbo intercooler ECU common-rail diesel engine with the integrated urea-SCR $MnO_2-V_2O_5-WO_3/TiO_2/SiC$ catalytic filter system operating at three kinds of engine speeds. The urea-SCR reactor is used to reduce $NO_X$ emissions, and the catalytic filter system is used to reduce soot emissions. The reactive activation temperature is very important for reacting a reducing agent with exhaust emissions. The reactive activation temperatures in this experiment is applied to 523, 573 and 623 K. The fuel is sprayed by the pilot and main injections at the variable injection timing between BTDC $15^{\circ}$ and ATDC $1^{\circ}$ according to experimental conditions. It is found that the $NO_X$ conversion rate is the highest as 83.9% at the reactive activation temperature of 523 K in all experimental conditions of engine speed and load, and the soot emissions shown by the average reduction rate of approximately 93.3% are almost decreased below 0.6% in all experimental conditions regardless of reactive activation temperatures. Also, the THC and CO emissions by oxidation reaction of Mn, V and Ti are shown in the average reduction rates of 70.3% and 38% regardless of all experimental conditions.

대기입자 중 미량원소의 정량을 위한 기기 중성자방사화분석과 유도결합플라즈마 질량분석법의 비교 평가 (Comparative Assessment of INAA and ICP-MS for the Determination of Trace Elements in Airborne Particulate Matter)

  • 임종명;이진홍;정용삼
    • 대한환경공학회지
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    • 제28권10호
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    • pp.1038-1045
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    • 2006
  • 본 연구는 INAA와 ICP-MS의 두 가지 분석방법을 NIST SRM 2783과 실제의 대기입자 시료에 동시에 적용하고 그 결과를 비교하고자 하였다. NIST SRM 2783을 INAA와 ICP-MS로 분석하여 비교한 결과, INAA의 분석결과가 ICP-MS보다 정확하고 정밀한 것으로 나타났다. 또한, 공단지역에서 채취한 PM10 시료를 대상으로 역시 두 방법으로 분석하여 비교한 결과, 농도비의 평균이 Ba, Cu, K, Mg, Na, Sb는 $0.9{\sim}1.1$, Al, Co, Fe, Mn는 $0.8{\sim}1.2$, Se, Ti, Zn는 1.3 이상으로 나타났다. PM10 시료의 분석 대상 원소가 매우 넓은 농도범위를 보임에도 불구하고 회귀분석 및 paired t-test와 Wilcoxon signed-rank test 결과, 13종의 미량원소 중 Al, Ba, Co, Cu, Fe, K, Mn, Na, Sb는 두 방법 간의 분석결과가 잘 일치하는 것으로 나타났다.

사육기간에 따른 신품종 및 상용토종닭의 육질특성 비교분석 (Effects of the Raising Period on Meat Quality in Two New Strains of Korean Native Chicken)

  • 이성윤;박지영;정사무엘;정종현;남기창
    • 한국가금학회지
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    • 제48권4호
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    • pp.207-216
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    • 2021
  • 본 연구는 Golden Seed Project에서 개발 중인 토종닭 후보라인과 상용토종닭인 한협 3호의 품질특성을 비교분석하여 후보라인들의 사육기간에 따른 이용가능성을 확인하기 위해 실시되었다. (주)하림 실험농장(전북 김제시)에서 5주, 12주간 동일한 조건에서 사육된 토종닭(CON: 한협 3호, CL1: 신품종 후보계통 C, CL2: 신품종 후보계통 D) 총 600수를 하림(익산) 도계장에서 생산품과 동일한 표준 조건에서 도계한 뒤 계통별 30수씩 임의 선발하였다. 전문 가공 종업원에 의해 생산품과 동일하게 발골하였고 실험에는 다리살 부위를 사용하였다. 사육기간동안 CON과 유사한 pH를 나타내었고 12주령에서는 가장 높은 pH 값을 나타내었다. 보수력에서는 전반적으로 처리구간 유의미한 차이는 확인되지 않았으며, 5주령 계육에서 높은 보수력을 나타내었다. 지방산패도에서 CL1은 저장 7일차에 가장 높은 값을 보였고 DPPH 라디칼 소거능에서는 저장 7일에 대조구인 한협3호는 5주령에서 신계통에 비해 높은 항산화력을 나타내었지만 12주령에서는 가장 낮은 항산화력을 나타냈다. 주요 지방산 조성은 올레산(C18:1), 팔미트산(16:0), 리놀레산(18:2), 스테아르산(18:0), 아라키돈산(20:4) 순으로 나타났으며 개별지방산에서 처리구간 특이적인 차이는 발견되지 않았다. 동맥경화지수(AI)와 혈전형성지수(TI)는 5주령 계육이 12주령에 비해 낮은 수치를 보였으며, 이와 반대로 P/S함량에서는 12주령 계육이 낮은 비율을 나타내었다. 항산화 펩타이드인 anserine 함량에서는 5주령 후보라인이 대조구에 비해 높은 함량을 나타내었고, 12주령 계육이 5주령 계육보다 높은 함량을 나타냈다. 기능성 화합물인 L-carnitine과 betaine의 함량에서는 12주령때 후보계통들이 한협에 비해 높은 함량을 나타내었다. 따라서 본 연구에서는 각 계통간의 차이보다는 주로 사육기간의 차이가 높은 유의성으로 나타났으며, 사육기간이 증가함에 따라 적색도, 불포화지방산 및 ribose 함량이 낮아지고, 포화지방산, AI, TI 및 anserine 함량이 높아지는 것이 확인되었다.

미세피치용 Cu/SnAg 더블 범프 플립칩 어셈블리의 신뢰성에 관한 연구 (Reliability Studies on Cu/SnAg Double-Bump Flip Chip Assemblies for Fine Pitch Applications)

  • 손호영;김일호;이순복;정기조;박병진;백경욱
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제15권2호
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    • pp.37-45
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    • 2008
  • 본 논문에서는 유기 기판 위에 $100{\mu}m$ 피치를 갖는 플립칩 구조인 Cu(60 um)/SnAg(20 um) 더블 범프 플립칩 어셈블리를 구현하여 이의 리플로우, 고온 유지 신뢰성, 열주기 신뢰성, Electromigration 신뢰성을 평가하였다. 먼저, 리플로우의 경우 횟수와 온도에 상관없이 범프 접속 저항의 변화는 거의 나타나지 않음을 알 수 있었다. 125도 고온 유지 시험에서는 2000시간까지 접속 저항 변화가 관찰되지 않았던 반면, 150도에서는 Kirkendall void의 형성으로 인한 접속 저항의 증가가 관찰되었다 또한 Electromigration 시험에서는 600시간까지 불량이 발생하지 않았는데 이는 Al금속 배선에서 유발되는 높은 전류 밀도가 Cu 칼럼의 높은 두께로 인해 솔더 영역에서는 낮아지기 때문으로 해석되었다. 열주기 시험의 경우, 400 cycle 이후부터 접속 저항의 증가가 발견되었으며, 이는 열주기 시험 동안 실리콘 칩과 Cu 칼럼 사이에 작용하는 압축 변형에 의해 그 사이에 있는 Al 및 Ti 층이 바깥쪽으로 밀려나감으로 인해 발생하는 것으로 확인되었다.

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최적화된 Flip Angle Pattern을 사용한 Turbo FLASH MRI: Inversion-Recovery T1-Weighted Imaging에의 응용 (Turbo FLASH NRI Using Optimized Flip Angle Pattern: Application to Inversion-Recovery T1-Weighted Imaging)

  • 오창현;최환준;양윤정;이덕래;류연철;현정호;김사라;이윤;정관진;안창범
    • 대한의용생체공학회:학술대회논문집
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    • 대한의용생체공학회 1998년도 추계학술대회
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    • pp.55-56
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    • 1998
  • The 3-D Fast Gradient Echo (Turbo FLASH, Turbo Fast Low Angle Shot) sequence is optimized to achieve a good T1 contrast using variable excitation flip angles. In Turbo FLASH sequence, depending on the contrast preparation scheme, various types of image contrast can be established. While proton density contrast is obtained when using a short repetition time with a short echo time and small flip angles, T1 or T2 weighting can be obtained with proper contrast preparation sequences applied before the above proton density Turbo FLASH sequence. To maximize the contrast to noise ratio while retaining a sharp impulse response (smooth frequency domain response), the excitation flip-angle pattern is optimized through simulation and experiments. The TI (the delay after the preparation sequence which is a 180 degree inversion RF pulse in the IR T1 weighted imaging case), TD (the delay time between the Turbo FLASH sequence and the next preparation), and TR are also optimized fur the best image quality. The proposed 3-D Turbo FLASH provides $1mm\times1mm\times1.5mm$ high resolution images within a reasonable 5-8 minutes of imaging time. The proposed imaging sequence has been implemented in a Medison's Magnum 1.0T system and verified through simulations as well as human volunteer imaging. The experimental results show the utility of the proposed method.

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혼합 편광빔과 원주면렌즈를 사용한 SPPCM의 성능 개선 (Improvement of the performance of SPPCM using mixed polarized beam and cylindrical lens)

  • 이은형;김성완;김철수;김종윤;이승희;이수중
    • 전자공학회논문지D
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    • 제36D권9호
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    • pp.56-63
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    • 1999
  • Cat형 SPPCM(selfpumped phase conjugate mirror)의 응답시간을 개선시키기 위한 기존의 방법은 원주면 렌즈를 사용하여 패팅 (fanning) 빔을 증가시키는 방법이었다. 그러나, 이 경우에 SPPCM의 특성들을 개선시키기 위해서는 패닝빔을 제어해 주어야 한다. 본 논문에서는 원주면 렌즈를 사용하여 입력빔을 선형으로 광굴절 결정에 접속시켜 SPPCM의 반사율을 증가시키고 응답시간을 감소시키며, 순수한 이상 편광빔 대신 혼합 편광빔을 입사시킴으로써 출력빔의 시간 불안정도를 감소시키는 방법을 제안하였다. 광실험을 통하여 제안한 SPPCM의 반사율이 2배로 증가하고 응답시간은 1/15로 감소함을 확인하였다. 또한, 혼합 편광빔의 편광 각을 $10^{\circ}$에서 $30^{\circ}$ 사이의 각도로 하였을 때 시간 불안정도가 감소함을 확인하였다. 광실험에서 전기광학 계수가 매우 큰 $45^{\circ}-cut\;BaTiO_3$ 결정을 사용하였다.

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Resilon을 이용한 근관충전 시 레진계열의 근관실러와 자가-접착 레진시멘트에 따른 미세누출 (MICROLEAKAGE OF RESILON BY METHACRYLATE-BASED SEALER AND SELF-ADHESIVE RESIN CEMENT)

  • 함선영;김진우;신혜진;조경모;박세희
    • 대한치과보존학회:학술대회논문집
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    • 대한치과보존학회 2008년도 Spring Scientific Meeting(the 129th) of Korean Academy if Conservative Dentistry
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    • pp.204-212
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    • 2008
  • 본 연구의 목적은 Resilon을 이용한 근관충전시 methacrylate-based root canal sealer와 자기-접착 레진시멘트의 사용에 따른 치근단 미세누출을 비교해 보는 것이다. 70개 단근치를 ProFile NiTi rotary instrument와 GG drill을 이용해 근관성형 하였다. 치근을 4개의 실험군 (n = 15)과 2개의 대조군 (n = 5)으로 분류하여 측방가압법으로 충전하였다 <1군: GP + AH-26, 2군: Resilon + RealSeal primer&sealant, 3군: Resilon + Rely-X Unicem, 4군: Resilon + Biscem> 7일간 1% 메틸렌블루 용액에 침적 후 수직절단하여 치근첨부터 색소의 침투도를 측정하였다. 1 군에서 가장 적은 미세누출값이 측정되었고, 2, 3, 4군간의 통계적 유의성은 없었다. 이번 연구의 결과에 따르면, 자가-접착 레진시멘트는 Resilon을 이용한 근관충전시 sealer로 사용이 가능하리라 생각된다.

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