$Cl_{2}/BCl_{3}$ /Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구
(Study of the Etched ZnO Thin Film Surface in the $BCl_{3}/Ar/Cl_{2}$ Plasma)
-
- 한국표면공학회:학술대회논문집
- /
- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
- /
- pp.264-265
- /
- 2009