This paper presents a novel method for real-time malfunction detection of plasma etching process using EPD signal traces. First, many reference EPD signal traces are collected using monochromator and data acquisition system in normal etching processes. Critical points are defined by applying differentiation and zero-crossing method to the collected reference signal traces. Critical parameters such as intensity, slope, time, peak, overshoot, etc., determined by critical points, and frame attributes transformed signal-to symbol of reference signal traces are saved. Also, UCL(Upper Control Limit) and LCL(Lower Control Limit) are obtained by mean and standard deviation of critical parameters. Then, test EPD signal traces are collected in the actual processes, and frame attributes and critical parameters are obtained using the above mentioned method. Process malfunctions are detected in real-time by applying SPC(Statistical Process Control) method to critical parameters. the Real-time malfunction detection method presented in this paper was applied to actual processes and the results indicated that it was proved to be able to supplement disadvantages of existing quality control check inspecting or testing random-selected devices and detect process malfunctions correctly in real-time.
본 논문에서는 운방전에 의해서 방사되는 자장 파형을 측정할 수 있는 루프형 자장 센서를 이용한 계측장 치를 제작하고, 뇌방전과 관측점 사이의 거리측정계를 제안하였다. 정극성과 부극성의 자장 파형에 대한 중첩 펄스의 시간 간격, 영점 교차시간과 백분율 반전답의 깊이 등의 파라미터를 뇌방전 지점과 관측 지점 사이의 거리에 따라 통계적으로 분석하였으며, 그 결과를 요약하면 다음과 같다 운방전에 의해서 발생한 자장 파형 의 파두 부분에는 수 개의 중첩 펄스가 관측되었으며, 이들 펄스 사이의 평균 시간 간격은 약 $4\mu\textrm{s}$이었다. 또 한, 양극성 특성이 명확하게 나타났으며, 백분율 반전답의 깊이는 약 57 -65 %이었다. 뇌방전 지점에서 관측 지점 사이의 거리가 증가할수록 영점 교차시간은 짧아졌다.
In this work, in order to obtain the detailed information about lightning electromagnetic pulses, the electric fields radiated from multiple lightning return strokes were measured and analyzed statistically. The electric field measuring system consists of a hemisphere antenna of 30cm in diameter, integrator and data acquisition device, and its frequency bandwidth ranges from 200Hz to 1.56MHz, and the sensitivity is 0.96㎷/V/m. The electric field signals are digitized every 200ns with the transient signal analyzer having the resolution of 12-bit and the recording length of 5 kilowords and are registered at personal computer. As a result, the electric fields produced by the first return stroke begin with a slow initial part or front, which starts just after or during the last stepped leader. On the average the rise times of the electric fields for the positive first, second and third strokes are 4.21${\mu}\textrm{s}$, 3.94${\mu}\textrm{s}$ and 2.75${\mu}\textrm{s}$, respectively, and those for the negative first, second and third strokes are 3.46${\mu}\textrm{s}$, 3.15${\mu}\textrm{s}$ and 2.79${\mu}\textrm{s}$, respectively. The zero-crossing times of the electric fields for first return strokes range from about 10 to 80${\mu}\textrm{s}$. The mean zero-crossing times for subsequent return strokes are shorter than those for first lightning return strokes.
Kim, Geon-woong;Jeong, Ji-sol;Park, Sang-yong;Choi, Hyo-sang
한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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제23권3호
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pp.51-54
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2021
The DC system has less power loss compared to the AC system because there is no influence of frequency and dielectric loss. However, the zero-crossing point of the current is not detected in the event of a short circuit fault, and it is difficult to interruption due to the large fault current that occurs during the opening, so the reliability of the DC breaker is required. As a solution to this, an LC resonance DC circuit breaker combined a superconducting element has been proposed. This is a method of limiting the fault current, which rises rapidly in case of a short circuit fault, with the quench resistance of the superconducting element, and interruption the fault current passing through the zero-crossing point through LC resonance. The superconducting current limiting element combined to the DC circuit breaker plays an important role in reducing the electrical burden of the circuit breaker. However, at the beginning of a short circuit fault, superconducting devices also have a large electrical burden due to large fault currents, which can destroy the element. In this paper, the reactor is connected to the source side of the circuit using PSCAD/EMTDC. After that, the change of the fault current according to the reactor capacity and the electrical burden of the superconducting element were confirmed through simulation. As a result, it was confirmed that the interruption time was delayed as the capacity of the reactor connected to the source side increased, but peak of the fault current decreased, the zero-crossing point generation time was shortened, and the electrical burden of the superconducting element decreased.
This paper proposed a new approach for endpoint detection of isolated speech, which proves to significantly improve the endpoint detection performance. The proposed algorithm relies on the root mean square energy (rms energy), zero crossing rate and spectral characteristics of the speech signal where the Euclidean distance measure is adopted using cepstral coefficients to accurately detect the endpoint of isolated speech. The algorithm offers better performance than traditional energy-based algorithm. The vocabulary for the experiment includes English digit from one to nine. These experimental results were conducted by 360 utterances from a male speaker. Experimental results show that the accuracy of the algorithm is quite acceptable. Moreover, the computation overload of this algorithm is low since the cepstral coefficients parameters will be used in feature extraction later of speech recognition procedure.
A Method for detection of saturation of a current transformer(CT) is proposed. The algorithm is initiated when the end point of a saturation period is detected. This detection is achieved by checking the time interval between the adjacent zero-crossing points of the second derivative of the secondary current. Once the end point of the saturation period is detected, the beginning point of the corresponding saturation period is determined by backward examination of the sum of the secondary current from the end point. The performance of the algorithm was evaluated for a-g faults on a 345 kV 100km overhead transmission line. The Electromagnetic Transient Program(EMTP) was used to generate fault current signals for different fault inception angles and different remanent fluxes. The performance evaluation shows that the proposed algorithm successfully detects the saturation period even in the presence of a remanent flux.
In this paper, we propose an efficient method not only f3r producing accurate region segmentation, solving the over-segmentation problem of watershed algorithm but also f3r reducing post-processing time by reducing computation loads. Through this proposed method, region segmentation of neighboring objects and discrimination of similar intensities were effectively obtained. Input image of watershed algorithm has used the derivative-based detectors such as Sobel and Canny. But proposed method uses the pixels-similarity-based detector, that is, SUSAN. By adopting this proposed method, we can reduce the noise problem and solve the problem of over-segmentation and not lose the edge information of objects. We also propose Zero-Crossing SUSAN. With Zero-Crossing SUSAN, the edge localization, times and computation loads can be improved over those obtained from existing SUSAN
In this paper, we describe an isolated words recognition system for Korean isolated digits based on a voiced -unvoiced decision algorithm and a frequency domain analysis. The algorithm first performs a voiced-unvoiced decision procedure for the begtinning part of each uttered work using the normalized log energy and zero crossing rate as decision parameters. Based on this decision,. each word is assigned to one of two classes. In order to identify the uttered word within each class, a dynamic time warping algorithm is applied using formant frequencies as the basis for the distance measure. We exploit a pole-zero analysis to measure formant frequencies in each frame. We have observed that pole-zero analysis can provide more accurate estimation of formant frequencies than analysis based on poles only. Experimental recognition rates of 97.3% illustrating the performance of the recognition system was achieved.
In this paper time series wave data, which were measured at the Draupner platform in the North Sea on 1995, are used to investigate statistical characteristics of nonlinear wave. Various statistical properties based on time and frequency domain are examined. The Gram-Chalier distribution fits the probability of wave elevation better than the Gaussian distribution. The skewness of wave profile is 0.393 and the kurtosis is 4.037 when the freak wave is occurred. The nonlinearity of D1520 data is higher than two adjacent wave data. AI index of the New Year Wave is 2.11 and the wave height is 25.6m. The zero crossing wave period of the New Year Wave is 12.5s which is compared to the average zero up-crossing period 11.3s. The significant steepness of wave data is 0.077 when the freak wave was occurred. H1/3/${\eta}_s$ does not increases as the kurtosis increases and the values is close to 4. The New Year Wave belongs to highly nonlinear wave data packet but the AI index is within linear focusing range.
The full-bridge inverter, widely used for single-phase photovoltaic grid-connected applications, presents a leakage current issue. Therefore, an AC bypass branch is introduced to overcome this challenge. Nevertheless, existing modulation strategies entail drawbacks that should be addressed. One is the zero-crossing distortion (ZCD) of the AC current caused by neglecting the AC filter inductor voltage. Another is that the system cannot deliver reactive power because the AC bypass branch switches at the power frequency. To address these problems, this work proposes an optimized hybrid modulation strategy. To reduce ZCD, the phase angle of the inverter output voltage reference is shifted, thereby compensating for the neglected leading angle. To generate the reactive power, the interval of the negative power output is calculated using the power factor. In addition, the freewheeling switch is kept on when power is flowing into the grid and commutates at a high frequency when power is fed back to the DC side. In this manner, the dead-time insertion in the high-frequency switching area is minimized. Finally, the performances of the proposed modulation strategy and traditional strategies are compared on a universal prototype inverter. Experimental results validate the theoretical analysis.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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