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Si/SiGe Epitaxial Growth by UHV-CVD

  • 송석찬;임승현;이승윤;박태서;이종호;윤의준;박정우;최시영;강호규
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집
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    • pp.92-92
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    • 2002
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