Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.92-92
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- 2002
Si/SiGe Epitaxial Growth by UHV-CVD
- Song, Seok-Chan ;
- Im, Seung-Hyeon ;
- Lee, Seung-Yun ;
- Park, Tae-Seo ;
- Lee, Jong-Ho ;
- Yun, Ui-Jun ;
- Park, Jeong-U ;
- Choe, Si-Yeong ;
- Gang, Ho-Gyu
- 송석찬 (서울대학교 재료공학부) ;
- 임승현 (서울대학교 재료공학부) ;
- 이승윤 (서울대학교 재료공학부) ;
- 박태서 (서울대학교 재료공학부) ;
- 이종호 (원광대학교 전기전자 및 전기공학부) ;
- 윤의준 (서울대학교 재료공학부) ;
- 박정우 (삼성전자) ;
- 최시영 (삼성전자) ;
- 강호규 (삼성전자)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords