Ar+-ion Bombardment가 Bi-계 박막의 조성과 화학 결합 상태에 미치는 영향 평가

• Park, Yun-Baek ;
• Lee, Jong-Pil ;
• Go, Jung-Gyu ;
• Hong, Tae-Eun ;
• Yun, Sang-Bae ;
• Kim, Yu-Gwon ;
• Kim, Ho-Jeong ;
• Lee, Sun-Yeong

• 박윤백 (하이닉스 반도체(주) 메모리 연구소 분석개발팀) ;
• 이종필 (하이닉스 반도체(주) 메모리 연구소 분석개발팀) ;
• 고중규 (하이닉스 반도체(주) 메모리 연구소 분석개발팀) ;
• 홍태은 (하이닉스 반도체(주) 메모리 연구소 분석개발팀) ;
• 윤상배 (하이닉스 반도체(주) 메모리 연구소 분석개발팀) ;
• 김유권 (하이닉스 반도체(주) 메모리 연구소 분석개발팀) ;
• 김호정 (하이닉스 반도체(주) 메모리 연구소 분석개발팀) ;
• 이순영 (하이닉스 반도체(주) 메모리 연구소 분석개발팀)

• Published : 2002.06.27

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