• 제목/요약/키워드: Y-capacitors

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$LiNbO_3$ 강유전체 박막을 이용한 MFS 커패시터의 게이트 전극 변화에 따른 특성 (Properties of MFS capacitors with various gate electrodes using $LiNbO_3$ferroelectric thin film)

  • 정순원;김광호
    • 한국진공학회지
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    • 제11권4호
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    • pp.230-234
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    • 2002
  • 고온 급속 열처리를 행한 $LiNbO_3Si$/(100) 구조를 가지고 여러 가지 전극을 사용하여 금속/강유전체/반도체 커패시터를 제작하였으며, 제작한 커패시터의 비휘발성 메모리 응용 가능성을 확인하였다. MFS 커패시터의 C-V 특성 곡선에서는 LiNbO$_3$박막의 강유전성으로 인한 히스테리시스 특성이 관측되었으며, 1 MHz C-V 특성 곡선의 축적 영역에서 산출한 비유전율은 약 25 이었다. Pt 전극을 사용하여 제작한 커패시터에서는 인가 전계 500 kV/cm 범위에서 $1\times10^{-8}$ A/cm 이하의 우수한 누설전류 특성이 나타났다. midgap 부근에서의 계면 준위 밀도는 약 $10^{11}\textrm{cm}^2$.eV 이었으며, 잔류분극 값은 약 1.2 $\muC/\textrm{cm}^2$ 였다. Pt 전극과 A1 전극 모두 500 kHz 주파수의 바이폴러 펄스를 인가하면서 측정한 피로 특성에서 $10^{10}$ cycle 까지 측정된 잔류 분극 값이 초기 값과 같았다.

$Si_3N_4$를 이용한 금속-유전체-금속 구조 커패시터의 유전 특성 및 미세구조 연구 (A Study on the Dielectric Characteristics and Microstructure of $Si_3N_4$ Metal-Insulator-Metal Capacitors)

  • 서동우;이승윤;강진영
    • 한국진공학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.162-166
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    • 2000
  • 플라즈마 화학증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)을 이용하여 양질의 $Si_3N_4$ 금속-유전막-금속(Metal-Insulator-Metal, MIM) 커패시터를 구현하였다. 유전체인 $Si_3N_4$와 전극인 Al의 계면반응을 억제시키기 위해 티타늄 나이트라이드(TiN)를 확산 장벽으로 사용한 결과 MIM 커패시터의 전극과 유전체 사이의 계면에서는 어떠한 hillock이나 석출물도 관찰되지 않았다. 커패시턴스와 전류전압 특성분석으로부터 양질의 MIM 커패시터 특성을 보이는 $Si_3N_4$의 최소 두께는 500 $\AA$이며, 그 두께 미만에서는 대부분의 커패시터가 전기적으로 단락되어 웨이퍼 수율이 낮아진다는 사실을 알 수 있었다. 투과전자현미경(transmission Electron Microscope, TEM)을 이용한 단면 미세구조 관찰을 통해 $Si_3N_4$층의 두께가 500 $\AA$ 미만인 커패시터의 경우에 TiN과 $Si_3N_4$의 계면에서 형성되는 슬릿형 공동(slit-like void)01 의해 커패시터의 유전특성이 파괴된다는 사실을 알게 되었으며, 열 유기 잔류 응력(thermally-induced residual stress) 계산에 기초하여 공동의 형성 기구를 규명하였다.

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전기화학 커패시터 (Electrochemical Capacitors)

  • 김종휘
    • 전기화학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.36-42
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    • 2007
  • 전기 에너지를 가장 직접적으로 저장하는 기기로써 우리는 흔히 전지(battery)와 콘덴서(condenser)를 생각한다. 산업혁명 이후 과학과 기술의 엄청난 발전에 따라 여러 분야에서 다양한 문명이기의 개발과 활용이 있어왔지만 우리 생활에 밀접히 활용되고 있으며 각종 전기전자 시스템의 핵심 구성품인 이러한 전지나 콘덴서의 기술 발전 속도는 다른 분야에 비하여 상대적으로 뒤쳐진 상황이라고 볼 수 있다. 그러나 최근 10여년 동안 괄목할 만한 소재기술의 발전에 힘입어서 재래식의 콘덴서는 물론 니켈수소전지, 리튬이온전지, 리튬폴리머전지 등과 같은 최신형 2차전지들 조차도 갖지 못하는 장수명, 고출력 특성을 갖는 새로운 형식의 전기에너지 저장장치인 '전기화학커패시터(electrochemical capacitor)'의 개발이 실현되고 있다. 이에, 본 고에서는 전기화학커패시터에 대한 기본적인 이해와 이의 최신기술 동향에 대하여 간략히 소개하기로 한다.

커패시터용 복합유전체필름의 유전특성 분석 (Dielectric Characteristics of Composite dielectric Film for Pulsed Power Capacitors)

  • 박재도;곽희로;박하용;정종욱
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1661-1663
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    • 2001
  • This paper describes the dielectric characteristics of composite dielectric film for pulsed power capacitors. The relative electric permittivity(${\varepsilon}'$) and the dielectric dissipation factor(tan$\delta$) were measured for polypropylene (PP) membranes, kraft paper for capacitors(CP) and composite dielectric films(PP+CP), respectively, in a frequency range of $1{\sim}10^4$[Hz], and in temperatures ranging from -50[$^{\circ}C$] to 110[$^{\circ}C$]. As a result, the variation of the electric permittivity was observed similarly for PP and CP. Dielectric dispersion was observed in frequency domain in PP, CP and composite dielectric films.

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Studies of Electric Double Layer Capacitors Used For a Storage Battery of Dye Sensitized Solar Cell Energy

  • Kim Hee-Je;Jeon Jin-An;Sung Youl-Moon;Yun Mun-Soo;Choi Jin-Young
    • Journal of Electrical Engineering and Technology
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    • 제1권2호
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    • pp.251-256
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    • 2006
  • To design the effective usage of electric double layer capacitors (EDLCs) used for a storage device of dye sensitized solar cell (DSC) energy, we first investigated the accumulation state of electrical charges and the charge behavior in the EDLCs. Based on the results, the voltage characteristics of EDLCs connected to DSC energy were evaluated. The results showed that the charge accumulation region concentrated on the central part of the carbonaceous electrode in EDLCs and the required times for charging and discharging were almost the same.

PV 시스템 적용을 위한 새로운 에너지 저장 시스템 고찰 (A Study of New Energy Storage System for PV System)

  • 유권종;정영석;정명웅;박용성;최재호;최주엽
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 B
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    • pp.1391-1393
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    • 2002
  • There arc some problems on storage batteries which are called Secondary Battery, such as long charging time, limited cycle life, low coulomb efficiency and inaccurate residual power meter. To solve those problems, a complex system of capacitors and Super Capacitors of increased energy density. Though the capacitors alone arc not capable of delivering stable output, the accompanied circuits compensate the various characteristics all through the charge-and discharge-cycle. This paper deals with Energy Storage System with Super Capacitor for PV System Discussed in this paper are, explains the accompanied circuits of Super Capacitor which is compared with the Second Batteries.

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$ZrO_2$가 적용된 MIM Capacitor의 신뢰성 분석

  • 이소영;조성원;권혁민;한인식;박영석;박상욱;이희덕
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.73-73
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    • 2009
  • In this paper, electrical properties in $ZrO_2$-based high-k metal MIM capacitors were studied. Linear voltage coefficient of capacitance (VCC) was 72.375 ppm/V, quadratic VCC was $174.581ppm/V^2$, temperature coefficients of capacitance was $111.01ppm/^{\circ}C$ at 100kHz and $89.497ppm/^{\circ}C$ at 1MHz, which indicate the temperature dependence of electrical parameter for MIM capacitors.

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다양한 열처리 분위기에 따른 SBT 커패시터의 누설전류 특성 (Leakage Current Properties of SBT Capacitors with various Annealing Atmosphere)

  • 조춘남;오용철;김진사;신철기;최운식;김충혁;홍진웅;이준웅
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 제5회 학술대회 논문집 일렉트렛트 및 응용기술연구회
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    • pp.77-81
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    • 2003
  • The $Sr_{0.7}Bi_{2.6}Ta_2O_9$(SBT) thin films are deposited on Pt-coated electrode(Pt/$TiO_2/SiO_2$/Si) using RF magnetron sputtering method. The structural and electrical properties of SBT capacitors were influenced with annealing atmosphere. In the XRD pattern, the SBT thin films in all annealed atmosphere had (105) orientation. In the SEM images, Bi-layered perovskite phase was crystallized in all annealing atmosphere and grains largely grew in oxygen annealing atmosphere. The dielectric constant and leakage current density of capacitors annealed oxygen atmosphere are 340 and $2.13{\times}10^{-9}[A/cm^2]$ respectively.

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PCB Power-Bus에 장하된, 결합제거 커패시터와 금속선의 상관관계적 영향 연구 (Correlated Effects of Decoupling Capacitors and Vias Loaded in the PCB Power-Bus)

  • 강승택
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제17권2호
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    • pp.213-220
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    • 2006
  • 본 논문은 결합제거용 커패시터가 금속선을 포함한 타 집중 소자들과 함께 장하될 경우 PCB power-bus에 미치는 영향을 살펴본다. 향상된 PCB EMC 대책을 준비하는 일환으로 장하된 PCB power-bus 다양한 경우에 대해 전자장과 임피던스가 엄밀하게 계산되고 결과 분석이 이뤄진다.

PCB power-bus에 장하된, 결합제거 커패시터와 금속선의 상관관계적 영향 연구 (Correlated effects of decoupling capacitors and vias loaded in the PCB power-bus)

  • 강승택
    • 한국전자파학회:학술대회논문집
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    • 한국전자파학회 2005년도 종합학술발표회 논문집 Vol.15 No.1
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    • pp.429-432
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    • 2005
  • This paper investigates how the PCB power-bus structure's characteristics are influenced by the loading of decoupling capacitors that are placed close to vias, on purpose or not. It is worthwhile to see the correlated effects of the aforementioned lumped elements in that when they inevitably share one DC power-bus they will result in positive or negative changes in the PCB EMC design. The EM fields and impedance profiles are rigously calculated on the PCB power-bus cases loaded with the above components and their effects will be given to bring better PCB EMC countermeasures.

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