• 한국진공학회지
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• 제8권1호
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• pp.13-19
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• 1999

방사광을 이용한 전반사 형광 분석법으로 Si 웨이퍼 표면 금속 불순물의 검출능을 향상시켰다. 측정장치는 특정 단색광 에너지만을 선택할 수 있는 모노크로메팅부, 측정챔버안으로 유입되는 방사광은 차폐하고 원하는 크기의 단색광을 선택하는 슬릿부 그리고 Si 웨이퍼 표면에서 전반사에 의해 발생하는 형광 X-선을 검출하는 측정부로 구성되어 있다. 단색광의 에너지는 10.90 KeV로 선택하였고, 최적의 전반사 조건을 확립하기 위하여 소멸시간과 Fe의 형광 X-선의 강도비의 관계를 이용하였다. 기존 X-선원을 이용하여 관찰한 결과와 비교하였을 경우에, 최대 약 50배까지 검출감도를 향상 시킬 수 있었다. 특히, TRXFA(Total Reflection X-ray Fluorescence Analyzer)법으로는 검출하기 어려운 $5\times10^{10}\textrm{atomas/cm}^2$ 수준의 금속오염은 방사광을 이용한 TRSFA(Total Reflection Synchrotron Fluorescence Analyzer)법으로는 충분히 검출할 수 있고, $5\times10^{9}\textrm{atomas/cm}^2$금속 불순물가지 검출할 수 있는 방법 및 장치를 개발하였다. 이를 이용하여 차세대 Si 웨이퍼의 초극미량 금속 불순물 분석에 이용할 수 있는 방법으로 기대된다.

• 콘크리트학회지
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• 제19권2호
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• pp.55-60
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• 2007

• Nuclear Engineering and Technology
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• 제56권5호
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• pp.1932-1940
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• 2024

The current work deals with investigation of the gamma ray shielding properties for various natural stones from Vietnam to be applied in the radiation shielding applications. The physical and chemical properties affecting the γ-ray shielding performance were examined. The MH-300A density meter was utilized to measure the density (ρ, g/cm³) of stone samples, as well as the chemical composition of Vietnamese natural stones was measured using the X-ray fluorescence analyzer (Olympus X-5000). The study shows that the increase in Fe + Ca concentrations within the stone samples increases their density (from 2.48 to 2.86 g/cm³) accompanied with a reduction in the porosity (Φ, %) (from 8.23 to 0.15%) and water absorption (K, %) (from 3.42 to 0.05%) factors. Additionally, the increase in Fe + Ca concentrations increases the linear attenuation coefficient (μ, cm^-1) of the studied stones, where the Vietnamese marble stone (M 3.1) with the highest Fe + Ca concentration (65.97 wt%) has the highest linear attenuation coefficient which varied between 3.781 and 0.155 cm^-1 with raising the gamma ray energy between 0.040 and 1.332 MeV.

• Membrane and Water Treatment
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• 제13권2호
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• pp.73-83
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• 2022

In the present study, we compared the adsorption capacity of Pb (II) from contaminated water of used cardboard (UC) and a commercial powdered activated carbon (PAC), the latter has been characterized by different techniques, namely X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy with energy dispersive spectroscopy (SEM/EDS), wavelength dispersion x-ray fluorescence (WDXRF), infrared spectroscopy (IR) and surface area B.E.T analyzer. The effect of various parameters, such as the pH, the contact time, the amount of adsorbent, and the temperature on the adsorption of Pb (II) on both materials was investigated. The Pb (II) adsorptions are perfectly described by a pseudo-second-order model, while the intraparticle diffusion is a decisive step after the first minutes of contact. The fit to the Langmuir and Redlich-Peterson models seems perfect for these adsorption reactions. (PAC) showed a greater affinity for Pb (II) compared to (UC) and the adsorption of Pb (II) ions is strongly pH-dependent, on the other hand, the increase in temperature doesn't have much influence on the two solids. This study showed that the capacity of (UC) to adsorb Pb (II) from an aqueous solution is greater than two-thirds of that of (PAC).

• 박물관보존과학
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• 제20권
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• pp.77-92
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• 2018

석조보살좌상(신수5971)은 1974년 강원도 평창군에서 발견되었다. 2002년 국립춘천박물관이 개관하면서 옮겨진 보살상은 파손 부위가 넓어 복원이 쉽지 않았다. 본 논문에서는 3D스캐닝과 3D프린팅 기술을 활용하여 전체적인 형태와 손상정도를 파악하여 정확한 형태 복원이 불가능한 결실부를 복원하였다. 표면 장식에 사용된 안료의 종류를 파악하기 위하여 광학 현미경으로 관찰하고 이동형 X-선 형광분석기(p-XRF, Potable X-ray Fluorescence Analyzer)로 주성분을 분석한 후 보존처리하였다. 보존처리는 천연 접착제인 아교를 사용하여 열화 된 옻칠을 안정시키고 석재강화제(OH-100)를 사용하여 강화하였다. 조사 결과 불석[(沸石), 제올라이트(Zeolite)] 표면 위에 옻칠을 바르고 그 위에 금을 올리는 도금 기법과 흰색의 안료는 연백(鉛白), 적색의 안료는 연단(鉛丹)과 주사(朱砂)로 확인되었다. 3D 기술을 이용한 역설계 방법으로 복원된 결실부는 잔존 편을 대칭시켜 만들었기 때문에 남아있는 보살상의 형태와 유사하게 제작할 수 있었다. 그러나 출력물은 보살상 파손 부위가 굴곡져 있어 이격 없이 삽입하기 어려우며 출력물의 접합부 수정·보완 작업이 필요하였다. 또한 현재까지 3D 프린팅 재료의 물성연구가 부족하여 자료 수집에 어려움이 있었다. 이러한 문제점들은 향후 좀 더 연구해야할 과제이다.

• 보존과학회지
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• 제27권1호
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• pp.41-47
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• 2011

은 소지 위에 금을 도금한 은제금도금유물을 대상으로 성분분석을 위해 X선 형광 분석기를 이용하여 비파괴분석을 실시하면 소지금속인 Ag에서 전자궤도에 따라 무게백분율(wt.%)의 값이 큰 차이가 나타나는 특이점을 확인할 수 있다. 이러한 특이점을 이용하여 육안으로는 파악하기 쉽지 않은 유물에서도 은제금도금기법이 사용되었는지를 판단할 수 있는 근거를 제시하고자 재현시료를 제작하여 비교분석을 실시하였다. 그 결과 수은아말감도금법과 전기도금법으로 제작된 시료에서는 실제 유물들의 분석결과와 같은 결과를 볼 수 있었다. 하지만 금은합금시료의 경우 도금시료와는 달리 주성분들의 전자궤도에 따른 차이가 미미한 것을 확인할 수 있었다. 도금시료에서 나타나는 이러한 원인으로는 단일재료가 아닌 도금으로 인한 이중구조에 의해 도금층에서 XRF 빔을 흡수하면서 발생하는 것으로 보인다. 따라서 비파괴분석에서 나타나는 이러한 결과를 이용한다면 단면을 관찰하지 않아도 은제금도금 기법의 사용 여부를 판단할 수 있을 것으로 확인하였다.

• 보존과학연구
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• 통권20호
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• pp.81-90
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• 1999

We performed the non-destructive analysis of objects excavated at the Tomb of Mich’un-ri in Ch’ung-won. We analysed components using of Energy Dispersive X-Ray Micro-Fluorescence Analyzer. Glass bead inlaid with silver was classified as K2O-CaO-SiO2 type of glass. Purity of silver inlaid in the surface was verified above 97%.All small ear-ring were made by rolling up gold broad to a bronze wick. The composition ratio of Au : Ag has significantly higher 87 : 11 than bigear-ring. As a result of composition analysis of a welded part with big ear-ring, it contained the more Cu, Hg contents and the less Au, Ag contents than the surface of big ear-ring.

• 한국표면공학회지
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• 제29권5호
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• pp.338-344
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• 1996

This study was an investigation of plasma-induced damages on silicon substrate in the semiconductor manufacturing technology. The plasma-induced damage level on silicon substrate was analyzed and compared in various plasma etching systems. The analysis methods were therma wave, life-time recovery, SCA (Surface Charge Analyzer) and TRXF (Total Reflection X-ray Fluorescence) measurements, and the measured values were compared for each systems. In the comparison of the values which were obtained by a system that had low life-time recovery, there was not any differences in DC parameters. However, the reflesh time distribution of device of that system had decreased about 10 to 20m sec compared to a system which had high life-time recovery.

• 보존과학회지
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• 제6권1호
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• pp.3-14
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• 1997

15세기 말과 16세기 초에 철화분청을 생산했던 곳으로 잘 알려진 공주 학봉리에서 수습된 12 도편의 분청사기를 과학적으로 분석하였다. 태토와 유약의 성분은 각각 X선 형광분석기와 전자현미분석장치로 분석하였고, 미세구조분석은 광학현미경, 편광현미경, 전자현미분석장치, 그리고 X선회절분석기를 이용하였다. 태토와 유약의 성분은 학봉리에서 지리적으로 가까운 곳에 위치한 보령 용수리분청과 비교하여 통계분석을 하였으며, SPSS프로그램을 사용하였다 태토는 보령 송수리 분청에 비해 실리카와 용융제는 높게 나타났으나, 알루미나는 낮은 수치를 보였고, 유약은 실리카, 소다. 철산화물은 높은 반면, 알루미나와 칼슘산화물의 양은 낮게 나타났다. 학봉리 분청 자체도 두 그룹으로 나뉘었다. 유약은 라임계열이었으며, 태토내에는 석영, 둘레가 일부 녹은 큰 장석덩어리, 사장석, 흑운모와 철산화물과 같은 결정들이 많이 남아있음을 관찰할 수 있었다. 이러한 미세구조로 보아 원료의 수비상태가 좋지 않았고, 번조온도도 비교적 낮았음을 예측할 수 있다. 철화안료의 원료는 성분과 X선 회절분석에 의해 Mg/Fe/Al 스피넬로 확인되었다.

• 한국재료학회지
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• 제25권6호
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• pp.274-278
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• 2015

The possibility of using the chemical precipitation method of up-cycled ammonium paratungstate (APT) was studied and compared with the thermal decomposition method. $WO_3$ particles were synthesized by chemical precipitation method using a 1:2 weight ratio of APT: Di-water. For thermal decomposition, APT powder was heated for 4h at $600^{\circ}C$ in air atmosphere. The reaction products were characterized by X-ray diffraction (XRD), X-ray fluorescence spectrometer (XRF), particle size analyzer (PSA), and field emission-scanning electron microscopy (FE-SEM). Thermogravimetric analysis (TGA) of the up-cycled APT allowed for the identification of the sequence of decomposition and reduction reactions that occurred during the heat treatment. TGA data indicated a total weight loss of 10.78% with the reactions completed in $658^{\circ}C$. The XRD results showed that APT completely decomposed to $WO_3$ by thermal decomposition and chemical precipitation. The particle size of the synthesized $WO_3$ powders by thermal decomposition with 2 h of planetary milling was around $2{\mu}m$ During the chemical precipitation process, the particle size of the synthesized $WO_3$ powders showed a round-shape with ${\sim}0.6{\mu}m$ size.