Kim, Chang Man;Kim, Si Hyung;Nam, Ki Chang;Kim, Sang Hee;Song, Kwang Soup
Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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v.49
no.9
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pp.322-327
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2012
Parallel-plate-type scanning sensors have been commercially used for X-ray imaging sensors. In this study, we manufactured the scan typed 1D X-ray image sensor that can be used to obtain scanning images, by using the plasma display panel (PDP) fabrication process. We fabricated drift and pixel electrodes in the glass chamber and injected Xe gas at atmospheric pressure. We evaluated the intensity of a pixel signal depending on the bias voltage on the drift electrode and investigated the characteristics of shielding effect on the single pixel using lead (Pb). The adsorption rate of X-ray photon is low (4%) on the soda lime glass (1.1mm) and the electrical signal detected on the X-ray sensor was increased in the high bias voltage. We acquired digital X-ray scanning image with our DAS (data acquisition system) and sensor scanning system.
In order to maximize dynamic range and to minimize image lag in digital X-ray imaging, diminishing residual parasitic capacitance in photodiode in pixels is critically necessary. These requirements are more specifically requested in dynamic X-ray imaging with high frame rate and low image lag for industrial 2D/3D automated X-ray inspection and medical CT imaging. This study proposes duoPIXTM X-ray imaging sensor for the first time that is composed of reset thin film transistor, readout thin film transistor and photodiode in a pixel. To verify duoPIXTM X-ray imaging sensor, designing duoPIXTM pixel and imaging sensor was executed first then X-ray imaging sensor with 105 ㎛ pixel pitch, 347 mm × 430 mm imaging area and 3300 × 4096 pixels (13.5M pixels) was fabricated and evaluated by using module tester and image viewer specifically for duoPIXTM imaging sensor.
In order to satisfy the requirements of dynamic X-ray imaging with high frame rate and low image lag, minimizing parasitic capacitance in photodiode and overlapped electrodes in pixels is critically required. This study presents duoPIXTM dynamic X-ray imaging sensor composing of readout thin film transistor, reset thin film transistor and photodiode in a pixel. Furthermore, dynamic X-ray detector using duoPIXTM imaging sensor was manufactured and evaluated its X-ray imaging performances such as frame rate, sensitivity, noise, MTF and image lag. duoPIXTM dynamic X-ray detector has 150 × 150 mm2 imaging area, 73 um pixel pitch, 2048 × 2048 matrix resolution(4.2M pixels) and maximum 50 frames per second. By means of comparison with conventional dynamic X-ray detector, duoPIXTM dynamic X-ray detector showed overall better performances than conventional dynamic X-ray detector as shown in the previous study.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.14
no.9
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pp.2083-2090
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2010
This paper presents a 3-D visualization technique using stereo radioactive images to provide efficient inspection of fast moving cargo objects. The proposed technique can be used for such objects which CT or MRI cannot inspect due to restricted scan environment. Stereo radioactive images are acquired from a specially designed equipment which consists of a X-ray source, linear radioactive sensors, and a moving stage. Two radioactive sensors are installed so that rectified stereo X-ray images of objects are acquired. Using the stereo X-ray images, we run a matching algorithm to find the correspondences between the images and reconstruct 3-D shapes of real objects. The objects are put in a parallelepiped box to simulate cargo inspection. Three real objects are tested and reconstructed. Due to the inherent ambiguity in the stereo X-ray images, we reconstruct 3-D shapes of the edges of the objects. The experimental results show the proposed technique can provide efficient visualization for cargo inspection.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.11
no.9
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pp.3422-3427
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2010
In this paper, we presents a sensor calibration technique using stereo X-ray images to provide efficient inspection of fast moving cargo objects. Stereo X-ray scanned images are acquired from a specially designed equipment which consists of a X-ray source, dual-linear array detector, and a conveyor system. Dual detector is installed so that rectified stereo X-ray images of objects are acquired. Using the stereo X-ray images, we carry out a sensor calibration to find the correspondences between the images and reconstruct 3-D shapes of real objects. Using the Image acquired from the stereo detectors with varying distances, we calculated the GCP(ground control point)of the image. And we figure out the error by comparing calculated GCP and GCP of the real object. The experimental results show the proposed technique can enhance the accuracy of stereo matching and give more efficient visualization for cargo inspection image.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.22
no.3
s.168
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pp.7-14
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2005
본 논고에서는 microfocus X 선 발생장치와 평판형 영상센서를 이용한 micro-CT 시스템의 개발과 그 응용에 대해 소개하였다. 개발과 관련하여서는 영상센서 및 시스템의 동작원리뿐만 아니라 성능평가 결과에 대해서도 간단히 언급하였는데, 이와 같은 성능평가는 추후 개선된 혹은 새로운 설계 및 제작을 위해서는 필수적으로 수반되어야 할 부분이다. 개발된 micro-CT 시스템의 응용분야 소개와 관련하여서는 몇 가지 획득 영상을 토대로 바이오 영상과 산업용 영상에 관하여 언급하였다. 바이오 영상분야에서는 현재 세계적으로 유수 의료기기업체에서 이미 제작하여 판매하고 있으며, 대부분 X선 영상증배관 혹은 CCD(charge-coupled device)를 X 선 영상획득 센서로 사용한 반면, 본 논고에서 소개한 시스템은 평판형 영상센서를 사용했다는 점에서 차별성이 있다. Micro-CT 시스템의 산업용 영상분야로의 적용은 이제 시작 단계이며, 기존 라미노그라피 시스템을 대체하거나 혹은 새로운 응용으로 자리매김할 것으로 기대된다.
The important requirement of industrial dynamic X-ray detector operating under high tube voltage up to 450 kVp for 24 hours and 7 days is to obtain significantly high radiation resistance. This study presents the radiation resistance characteristics of various thin film transistors (TFTs) with a-Si, poly-Si and IGZO semiconducting layers. IGZO TFT offering dozens of times higher field effect mobility than a-Si TFT was processed with highly hydrogenated plasma in between IGZO semiconducting layer and inter-layered dielectric. The hydrogenated IGZO TFT showed most sustainable radiation resistance up to 10,000Gy accumulated, thus, concluded that it is a sole switching device in X-ray imaging sensor offering dynamic X-ray imaging at high frame rate under extremely severe radiation environment such as automated X-ray inspection.
Han Ki-Seo;Yeom Jin-Su;Ryu Kwang-Ryol;Hur Chang-Wu
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2006.05a
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pp.239-242
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2006
골다공증은 해면골의 골소주 두께 감소 및 파단에 기인한 전체적인 골질이 저하되는 질병이다. 골다공증을 예방과 조기진단을 하기 위해서는 골밀도를 측정하여야 한다. 보다 나은 이미지를 얻기 위해 Digital X-Ray로 골밀도를 측정하여 영상 처리하기 위한 방법을 제시한다. 먼저 디지털 센서에서 증감지와 렌즈간 거리가 가까워서 증감지의 중심과 주변부의 광 경로차이가 발생하므로 왜곡이 발생하는데 이를 균일화하여야 한다. 그리고 X-Ray장비의 조건에 따라 영상에 많은 차이를 보이므로 영상의 밝기를 보정하는 과정이 필수적이다.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.12
no.7
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pp.1235-1242
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2008
In this paper, x-ray image sensor of photon counting type having a $32{\times}32$ pixel array is designed with $0.18{\mu}m$ triple-well CMOS process. Each pixel of the designed image sensor has an area of loot $100{\times}100\;{\mu}m2$ and is composed of about 400 transistors. It has an open pad of an area of $50{\times}50{\mu}m2$ of CSA(charge Sensitive Amplifier) with x-ray detector through a bump bonding. To reduce layout size, self-biased folded cascode CMOS OP amp is used instead of folded cascode OP amp with voltage bias circuit at each single-pixel CSA, and 15-bit LFSR(Linear Feedback Shift Register) counter clock generator is proposed to remove short pulse which occurs from the clock before and after it enters the counting mode. And it is designed that sensor data can be read out of the sensor column by column using a column address decoder to reduce the maximum current of the CMOS x-ray image sensor in the readout mode.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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