• Title/Summary/Keyword: X-선 구조분석

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용액공정을 이용한 AlZnSnO 박막 트랜지스터에서 Al의 효과

  • Han, Gyeong-Ju;Park, Jin-Seong;Jeong, Gwon-Beom
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.167-167
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    • 2012
  • Aluminium-zinc-tin oxide (AZTO) 박막 트랜지스터는 Spin-coating 방법으로 제작되었다. AZTO용액의 용매는 2-Methoxyethanol, 용질은 각각 Aluminium nitride, Zinc acetate dihydrate, Tin chloride가 사용되어 제작되었다. 용액의 안정성을 위해서 미량의 Mono ethyl amine이 첨가되었다. 용액의 Zn:Sn의 몰 비율은 1 : 1로 고정 되었으며 Al의 mole비를 다양하게 늘리면서 실험을 진행하였다. 이렇게 만들어진 AZTO용액은 3,000 rpm으로 30초간 Spin-coating하였으며 이후 Furnace system을 통하여 $500^{\circ}C$의 온도로 1시간 동안 후열처리 공정을 진행하였다. AZTO박막을 활성층으로 제작된 박막 트랜지스터는 Al의 비율이 늘어남에 따라 처음엔 이동도가 증가하였으나 이후 이동도가 낮아지며 소자특성이 나빠지는 것을 보였다. 이러한 현상의 원인을 알아보고자 물리적, 전기적, 광학적 분석을 통해서 Al양의 변화가 박막트랜지스터 구동에 미치는 영향을 해석하였다. 먼저 AZTO용액은 열중량측정/시차열분석법(Thermo Gravimetry/Differential Thermal Analysis)을 이용하여 spin-coating 이후 후 열처리 온도 결정 및 박막의 변화를 관찰하였으며, X-선 분광(X-ray photoelectron spectroscopy)을 이용하여 박막의 조성 및 전자구조의 변화를, 타원분광해석법(Spectroscopic Ellipsometry)분석을 통하여 밴드 갭과 전도대 이하 밴드 갭 내에 존재하는 결함상태변화를 관찰하였다. AZTO 박막 내의 Al양을 조절하는 것은 박막내의 에너지 준위의 변화를 야기하고 그로인해 박막트랜지스터의 특성을 변화킨다는 결과를 도출하였다.

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Berthierine and Nontronite from Sangdong Tungsten Deposits (상동중석광산에서 산출되는 Berthierine과 Nontronite)

  • Kim, Soo Jin;Kim, Won-Sa;Chang, Se-Won
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.1 no.2
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    • pp.104-116
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    • 1988
  • Berthierine and Nontronite are firstly identified in the Sangdong tungsten ore deposits. Quantitative and qualitative analyses by EPMA and the studies using X-ray diffraction, transmission electron microscopy, and infrared absorption spectroscopy were done to characterize berthierine and nontronite. The data from berthierine are in good agreement with those from other localities. The structural data of the Sangdong berthierine are consistent with the orthorhombic, pseudo-hexagonal form which is more common in samples with high $SiO_2$ and low $Al_2O_3$ content. Geologic features suggest that the Sangdong berthierine is diagenetic in origin. However, nontronite might be a product of hydrothermal alteration after the tungsten mineralization.

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질화물계 발광다이오드에서 InGaN/GaN 자우물구조 내 GaN 보호층에 대한 연구

  • Song, Gi-Ryong;Kim, Ji-Hun;Lee, Seong-Nam
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.425-426
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    • 2013
  • IIIN계 물질 기반의 광 반도체는 직접 천이형 넓은 밴드갭 구조를 갖고 있기 때문에 적외선부터 가시광선 및 자외선까지를 포함한 폭 넓은 발광파장 조절이 가능하여 조명 및 디스플레이 관련 차세대 광원으로 많은 관심을 받고 있다. 일반적인 청색 및 녹색 발광영역의 활성층으로는 InGaN/GaN 다중양자우물구조를 사용하고 있으나, 장파장의 녹색 발광을 얻기 위해서는 인듐의 함유량이 증가하여야 한다. 하지만, 인듐의 함유량이 증가함에 따라서 InGaN/GaN 다중양자우물 구조내에서 인듐의 편석현상의 발생이 용이하게 되어 계면 특성을 저하할 뿐 아니라, 비발광 센터를 증가하여 발광 효율을 급격히 감소시키는 원인이 되고 있다. 또한, InGaN과 GaN의 큰 성장온도의 차이에 따라 800도 부근의 저온 영역에서 성장된 InGaN층이 1,000도 이상의 고온 영역에서 GaN층이 성장시 InGaN층의 열화 현상이 급격히 발생되고 있다. 이를 억제하기 위해서 금속유기화학증착법의 성장 변수 최적화, 응력제어, 도핑 등의 편석 억제기술 및 보호층이 사용되고 있다. 본 연구에서는 인듐함유량이 증가된 녹색 InGaN/GaN 다중양자우물구조에서 InGaN 우물층 상하부에 도입된 GaN 보호층에 따라 발생되는 양자우물구조의 광학 및 결정학적 특성 분석을 통해 GaN 보호층의 역할을 분석하고자 한다. 본 연구에서는 금속유기화학증착장치를 이용하여 사파이어 기판위에 GaN 템플릿을 성장하고, n-형 GaN, InGaN/GaN 다중양자우물구조 및 p-형 층을 성장하였다. 앞선 언급하였듯이, InGaN/GaN 다중양자우물구조내에 GaN 보호층의 역할을 규명하기 위하여 샘플 A의 경우는 보호층이 전혀 없는 구조이고, 샘플 B의 경우는 InGaN 우물층의 상단부에만, 샘플 C의 경우에는 우물층 상부 및 하단부 모두에 약 2.0 nm 두께의 GaN 보호층을 형성하였다. 이 보호층의 유무에 따른 다중양자우물구조의 계면 특성을 확인하기 위한 X-선 회절을 이용하였고, 광학적 특성을 확인하고 상온 포토루미네선스법을 이용하여 녹색 발광 파장의 변화 및 발광세기를 관찰하였다. 우선적으로, 상온 포토루미네선스법을 이용하여 각 샘플의 발광특성을 확인한 바 상하부 모두에 GaN 보호층이 존재하는 샘플 C의 경우 약 510 nm 부근에서 발광이 관찰되었지만, 상단부에 GaN 보호층이 존재하는 샘플 B는 약 495 nm영역에 발광이 확인되었다. 특히, 전혀 보호층이 존재하지 않는 샘플 A의 경우 약 440 nm에서 발광하는 현상을 관찰하였다. 이는 우물층 상단부 및 하단부에 존재하는 GaN 보호층이 In의 확산을 억제하는 것으로 판단된다. 또한, 발광파장 및 세기를 확인한 바, 보호층의 존재하지 않을수록 단파장화가 발생함에도 불구하고 발광세기는 급격히 약해지는 것으로 보아 계면특성이 저하되어 비발광센터가 증가되는 것으로 판단된다. 이를 구조적으로 확인하기 위하여 X-선 회절법을 통한 ${\omega}$/$2{\Theta}$ 스캔의 결과는 In의 0차 피크가 GaN 보호층이 없을 경우 GaN의 피크 방향으로 이동하는 것으로 보아 GaN 보호층은 우물층 성장 후 GaN 장벽층을 성장하기 위해 온도를 증가시키는 과정에서 In의 확산되는 것으로 판단된다. 또한, 하부 GaN 보호층의 경우 GaN 장벽층 성장 후 온도를 감소시키는 과정에서 성장되므로, 우물층으로부터 In의 탈착현상이 아닌 장벽층과의 상호 확산으로 판단된다. 또한, 계면특성을 확인하기 위해 InGaN의 X-선 위성 피크를 확인한 바 샘플 A의 경우 매우 넓고 약한 피크가 관찰된 반면, 보호층이 존재하는 샘플 B와 C의 경우 강하고 얇은 피크가 확인되었다. 이는 GaN 보호층의 도입으로 인해 계면특성이 향상되는 것으로 판단된다. 따라서, 우리는 InGaN/GaN 다중양자우물구조에서 GaN 보호층은 상부의 열화 억제 뿐아니라, 하부의 장벽층 및 우물층 사이의 상호확산을 억제하는 GaN 보호층의 도입을 통하여 우수한 계면 특성 및 비발광센터의 억제를 얻을 수 있을 것으로 생각되며, 이는 향후 GaN계 발광다이오드의 전계 발광특성을 증가하여 우수한 발광소자를 개발할 수 있을 것으로 기대된다.

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Fabrication, Magnetic and Magnetoresistive Properties of Bi-Doped Lanthanum Manganites (Bi 첨가 란탄 망가나이트의 제조, 자기 및 자기저항 특성)

  • 김덕실;조재경
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.9 no.5
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    • pp.239-244
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    • 1999
  • Bi-doped lanthanum magnetics $(La_{0.67-x}Bi_xCa_{0.33}MnO_3(x\;=\;0,\; 0.04,\; 0.1,\; 0.2))$ samples have been prepared by standard ceramic process. The crystallinity and microstructures of the samples have been investigated by x-ray diffractometry and optical microscopy, respectively. The magnetic and magnetoresistive properties of the samples have been measured by vibrating sample magnetometery and van der Pauw method, respectively, at the temperatures ranging of 100 K~300 K with applied magnetic field of 0.4~0.5 T. Good crystallinity and high Curie temperature (275 K) have been obtained for the Bi-doped samples with small dosage (x = 0.04, 0.1) even they were sintered at 120$0^{\circ}C$, which is about 20$0^{\circ}C$ lower than normal sintering temperature of 140$0^{\circ}C$. The Bi-doped samples with the small dosage showed lower relative electrical resistivity and higher magneto-resistive ratio compared to the undoped sample in the most temperatures measured. The Bi-doped samples also exhibited large magnetoresisitve ratio (maximum of 15% for x = 0.1) at room temperature even under a weak magnetic field of 0.4 T.

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Electrical Doping of Graphene Films by Hybridization of Nickel Nanoparticles

  • Lee, Su-Il;Song, U-Seok;Kim, Yu-Seok;Cha, Myeong-Jun;Jeong, Dae-Seong;Jeong, Min-Uk;Jeon, Cheol-Ho;Park, Jong-Yun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.403-403
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    • 2012
  • 그래핀(graphene)은 우수한 전기적, 물리적인 특성을 지닌 물질로써 다양한 분야에서 이를 활용하려는 노력들이 활발히 진행되고 있다. 그중 그래핀을 채널로 이용하는 전계효과 트랜지스터(field effect transistor)로의 응용에 있어, 가장 핵심적인 도전과제는 전하농도(carrier concentration)의 제어 및 에너지 밴드갭(energy bandgap) 형성이라 할수 있다. 최근 다양한 물질을 이용한 도핑을 통해 이를 해결하기 위한 노력들이 진행되고 있는 추세이다. 본 연구에서는 열화학 기상 증착법(Thermal chemical vapor deposition)을 통해 합성된 단일층의 그래핀에 염화니켈 나노입자의 분산액을 스핀코팅 한후 열처리를 통해 그래핀-니켈 나노입자의 하이브리드 구조를 제작하였다. 제작된 그래핀-니켈 나노입자 하이브리드 물질의 구조적 특징을 주사 전자 현미경(Scanning electron microscope)과 원자힘 현미경(Atomic force microscopy)을 통하여 확인하였다. 또한 니켈 분산액의 농도와 도핑효과 와의 상관관계를 라만분광법(Raman spectroscopy)과 이온성 용액법(Ionic liquid)을 이용한 전계효과 특성분석을 통해 조사하였다. 나노입자의 형성 메커니즘은 X-선 광전자 분광법(X-ray photoelectron spectroscopy)을 통하여 규명하였다.

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Preparation of $Pb(Sc_{1/2}Ta_{1/2})O_3$, by the molten salt synthesis method (용융염 합성법에 의한 $Pb(Sc_{1/2}Ta_{1/2})O_3$의 제조)

  • Park, Kyung-Bong;Kim, Tae-Huei
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.15 no.3
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    • pp.99-103
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    • 2005
  • Lead scandium tantalate powders were prepared by a molten salt synthesis method using NaCl-KCl as a flux. Variations in phase formation and particle morphology were investigated for the temperature range from $700^{\circ}C\;to\;800^{\circ}C$. $Pb(Sc_{1/2}Ta_{1/2})O_3$, with pure perovskite phase was formed at $750^{\circ}C$ fur 2 hrs and the prepared powder had the cubic-like morphology and the average particle size below $0.5{\mu}m$. The results were discussed with respect to DTA, X-ray diffraction, and microstructural characterization data.

A Comparative Study on the Structural Characteristics of the Stabilized Soils with Ca, Al System Admixtures. (Ca, Al계 안정처리토의 구조적 특성의 비교)

  • Jeong, Du-Yeong;Choe, Gil-Yeol;Lee, Byeong-Seok
    • Geotechnical Engineering
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    • v.2 no.3
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    • pp.5-14
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    • 1986
  • The results of stabilization process in silty.clays and sand-silts, which were, respectively, treated with Calcium hydroxide of the Calcium series and Aluminium Sulphate of the Aluminium series are follows. 1) In the former case used calcium hydrate and calcium cabonate for silty-clays, calcium aluminnium cabonate oxide hydrate and calcium carbonate for sandy-silts were produced 2) In the latter case used Aluminium Sulphate, by X-ray diffraction test, it was found that Aluminium Oxide was produced both in silty-clays and sandy-silts 3) As the results of stabilization process, in the former case, unconfined compression strength was increased greatly but in the latter case it was little increased.

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Crystallographical Characteristics of Solar Salts Produced from Jeonnam Area by X-Ray Diffraction Technique (X선 회절법에 의한 전남지역 천일염의 결정학적 특성)

  • Jeong, Byung-Jo;Kim, Yong;Kim, Chang-Dae;Hyun, Seung-Cheol;Ham, Gyung-Sik
    • Journal of the Korean Society of Food Science and Nutrition
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    • v.38 no.9
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    • pp.1284-1288
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    • 2009
  • Identification of various inorganic compound crystals contained in solar salts, which are produced from 12 areas of Jeonnam, was firstly made by the X-ray diffraction (XRD) technique. The analysis of the XRD spectra was carried out on the basis of Joint Committee on Powder Diffraction Standards (JCPDS) data and the results of Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDX) measurements. In particular, the analysis of the XRD spectra supported that each solar salt contains $Na_2S$ (Shinan Jeungdo and Sinui), $KMgCl_3$ (Shinan Bigeum), $Ca(ClO_3)_2$ (Shinan Docho), $CaAl_4O_7$ (Haenam Songji), $CaSiO_3$ and $CaCl_2$ (Goheung) as inorganic compound crystals, which have not been reported for the solar salts. Also, the XRD results indicated that the solar salts maintain a cubic NaCl crystal structure without any change of lattice parameters etc. However, it was shown in the Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM) images that an external form of the solar salts has a lamination layer shape of a cubic structure, which is different from a simple cubic form for the purified salts and the reagent NaCl.

Determination of stoichiometric Ca/P ratio in biphasic calcium phosphates using X-ray diffraction analysis (X-선 회절분석을 이용한 biphasic calcium phosphate 분말의 화학양론적 Ca/P 비율 확인)

  • Song, Yong-Keun;Kim, Dong-Hyun;Kim, Tae-Wan;Kim, Yang-Do;Park, Hong-Chae;Yoon, Seog-Young
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.20 no.2
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    • pp.93-100
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    • 2010
  • The calcium to phosphate ratio (Ca/P) in biphasic calcium phosphates powders using X-ray diffraction analysis (XRD) was characterized. The BCP powders with various stoichiometric Ca/P molar ratio were synthesized with coprecipitation process and calcination. Compositions of the powders with Ca/P molar ratio between 1.5 and 1.67 were subjected to starting Ca/P molar ratio, pH = 10, and thermal treatment up to $900^{\circ}C$. The structural, morphological and chemical characterizations for BCP powders with stoichiometric Ca/P ratio were carried out with scanning electron microscope (SEM) and inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy (ICP-AES) and a phase quantification was investigated by XRD. The solubility of HAp, $\beta$-TCP, and BCP powders was tested in the phosphate buffer solution (PBS) at $36.5^{\circ}C$ and pH = 7.4.

Preparation of Nanocomposite Metal Powders in Metal-Carbon System by Mechanical Alloying Process (기계적 합금화 방법에 의한 금속-카본계에서의 나노복합금속분말의 제조)

  • Kim, Hyun-Seung;Lee, Kwang-Min
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.8 no.4
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    • pp.328-336
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    • 1998
  • In metal-carbon system with no mutual solubility between matrix and alloying elements as solid or liquid phases, Cu-C-X nanocomposite metal powders were prepared by high energy ball milling for solid-lubricating bronze bearings. Elemental powder mixtures of Cu-lOwt.%C- 5wt. %Fe and Cu- lOwt. %C- 5wt. %Al were mechanically alloyed with an attritor in an argon atmosphere, and then microstructural evolution of the Cu-C-X nanocomposite metal powders was examined. It has been found that after 10 hours of MA, the approximately 10$\mu\textrm{m}$ sized Cu-C- X nanocomposite metal powders can be produced in both compositions. Morphological characteristics and microstructural evolution of the Cu-C-X powders have shown a similar MA procedure compared to those of metal-metal system. As a result of X - ray diffraction analysis, diffraction peaks of Cu and C were broaden and peak intensities were decreased as a function of MA time. Especially, the gradual disappearance of C peaks in the X- ray spectra is proved to be due to the lower atomic scattering factor of C. The calculated Cu crystallite sizes in Cu- C- X nanocomposite metal powders by Williamson- Hall equation were about lOnm size, on the other hand, the observed ones by TEM were in the range of 10 to 30nm.

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