• Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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• v.6 no.2
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• pp.31-35
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• 2001

The anti-reflective anti-static(ARAS) optical film Was designed using conducting layer $TiN_x$ by Essential Macleod program. From this results, [air ${TiN_x{\mid}SiO_2{\mid}$ glass] two layer shows wide-band AR coating in the wavelength range of 450~700 nm. The $TiN_x$ thin films were prepared on the glass substrate by RF(radio-freqency) magnetron sputtering apparatus from a Ti target in agaseous mixture of argon and nitrogen with the thickness of 7~10 nm. For the films obtained, the chemical binding energy of the films was investigated by x-ray photoelectron spectroscopy(XPS) in order to analyze the chemical nature and composition of the films. In addition, we investigated the relationship between the surface resistance and the chemical nature the sheet resistance and XPS depth profiling the chemical binding of the films.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.6
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• pp.498-504
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• 1997

Cu는 AI보다 비저항이 더 낮고, 일렉트로마이그레이션 내성이 더 강하기 때문에 AI을 대체하여 사용될 새로운 상부배선 재료로 널리 연구되고 있다. 그러나 Cu는 SiO$_{2}$층을 통해 Si기판 속으로 확산하는 것과 같은 열적불안정성을 갖고 있으므로 Cu 배선을 위해서는 barrier금속을 함께 사용해야 한다. 지금까지 알려진 가장 우수한 재료는 TaSi$_{x}$N$_{y}$이다. Tasi$_{x}$N$_{y}$는 90$0^{\circ}C$에서 불량이 발생하는 것으로 보고된 바 있으나, 그것의 barrier특성과 관련하여 확인하고 또 새로 조사되어야 할 내용들이 많이 있다. 본 연구에서는 반응성 스퍼터링 테크닉을 사용하여 (100)Si 웨이퍼상에 TaSi$_{x}$N$_{y}$막을 증착하고, Cu에 대한 barrier재료로서 반드시 갖추어야 할 열적 안정성을 면저항의측정, X선 회절 및 AES 깊이분석 등에 의하여 조사하였다. 스퍼터링 공정에서 N$_{2}$/Ar기체의 유량비가 15%일때 열적 안정성이 가장 우수한 TaSi$_{x}$N$_{y}$막이 얻어졌다. Ta와 TaN은 각각 $600^{\circ}C$와 $650^{\circ}C$에서 불량이 발생하는 반면, TaSi$_{x}$N$_{y}$는 90$0^{\circ}C$에서 불량이 발생하였다. TaSi$_{x}$N$_{y}$의 불량기구는 다음과 같다:Cu는 TaSi$_{x}$N$_{y}$막을 통과하여 TaSi$_{x}$N$_{y}$/Si계면으로 이동한 다음 Si기판내의 Si원자들과 반응한다. 그 결과 TaSi$_{x}$N$_{y}$Si가 생성된다.

• KSBB Journal
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• v.24 no.2
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• pp.207-211
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• 2009

In this study, the sensing membranes for detection of pH and dissolved oxygen(DO) were prepared by immobilizing 6-aminofluorescein or ruthenium complex onto the sol-gel matrixes of GPTMS, MTMS, and TEOS and then recoated with the mixture of hydrophobic sol-gel and graphite for light insulation. The pH and DO sensing membranes recoated with the light insulation layer showed a higher sensitivity than those without light insulation layer. The sensing membranes were immobilized on the wells of 24-well microplate and used to monitor the fluorescence intensity for pH and DO in E.coli JM109 and P.pastoris X-33 fermentation processes. The change of the fluorescence intensity in the DO sensing membrane agreed with the growth patterns of microorganisms, that the membranes are valuable to monitor the DO in fermentation processes. In the case of pH monitoring, the fluorescence intensity has showed good correlation to the off-line pH data, that the pH membranes are valuable to monitor pH values in fermentations.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 1999.05a
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• pp.14-15
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• 1999

• 한국지구과학회:학술대회논문집
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• 2010.04a
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• pp.114-114
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• 2010

중성자별을 포함하는 이중성인 EXO 0331+350을 가시광선 및 자외선으로 관측하였다. EXO 0331+350은 전형적인 Be/X-선 이중성인 것처럼 보이지만 특이하게도 공전 주기상의 근일점 마다 매우 밝아지는 다른 Be/X-선 이중성들과는 확연히 다르게 밝아지는 시기가 매우 불규칙하다. 따라서 그 물리적인 기작을 연구하기 위해서는 오랜 기간의 모니터링이 필수적이다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.11 no.3
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• pp.197-202
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• 2001

M $g_{1-x}$ Z $n_{x}$O thin films with various composition x of ZnO were fabricated by a RF magnetron sputtering method, which is expected to improve the electro-optical properties of the conventional MgO protective layer for AC-PDP. Test panels with the $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O protective layer have been fabricated in order to investigate the effects of ZnO doping on the electrical characteristics of devices such as the discharge voltages and the memory gain. Experimental results revealed that test panels with the $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O(x=0.5at%) protective layer show lower firing and sustain voltages than those seen in panels with MgO protective layer by 20V. resulting in an increasement of the memory coefficient. In addition, it was found that test panels with the $Mg_{1-x}$Z $n_{x}$O protective layer show higher discharge intensity, i. e., higher plasma density, compared with panels with MgO protective layer.ve layer.layer.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SP
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• v.38 no.4
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• pp.118-118
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• 2001

본 논문에서는 블록 분류와 적응적 필터링을 이용하여 블록 기반 부호화에서의 양자화 잡음을 제거하는 후처리 방법을 제안하였다. 제안한 방법에서는 블록 분류, 적응적인 블록 간 필터링, 및 블록 내 필터링의 단계로 이루어진다. 먼저, 각 블록을 8x8 DCT 계수 분포에 따라 7개의 클래스로 분류하고, 인접한 두 클래스 정보에 따라 적응적인 블록 간 필터링을 수행한다. 그리고 에지 블록으로 분류된 블록에 대하여 에지맵을 이용한 블록 내 필터링을 수행한다. 실험결과로부터 제안한 방법이 기존의 방법에 비하여 객관적 화질 측면에서는 유사하지만, 주관적 화질 측면에서 보다 우수함을 확인하였다.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.40 no.5
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• pp.455-459
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• 2003

Tunneling spectra of B $i_2$S $r_2$Ca(C $u_{1-x}$ N $i_{x}$ )$_2$ $O_{8+}$$\delta$/ film by LPE method have been measured using break junctions. The energy gap 2$\Delta$ and 2$\Delta$/ $k_{B}$ $T_{c}$ $^{zero}$ increased with increase of ft. We obtained the energy gap Parameter 2$\Delta$(4.2 K) = 54.4~64 meV, and corresponding1y $\Delta$/ $k_{B}$ $T_{c}$ $^{zero}$=7.36~10.14, larger than the BCS value. The lattice constant c and critical temperature $T_{c}$ $^{zero}$ decrease with increase of $\chi$$_{L}$.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.7 no.2
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• pp.103-110
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• 1998

Pyroelectric infrared detectors based on La-modified $PbTiO_{3}$ (PLT) thin films have been fabricated by RF magnetron sputtering and rnicrornachining technology. The detectors form $Pb_{l-x}La_{x}Ti_{1-x/4}O_{3}$ (x=0.05) thin film ferroelectric capacitors epitaxially grown by RF magnetron sputtering on Pt/MgO (100) substrate. The sputtered PLT thin film exhibits highly c-axis oriented crystal structure that no poling treatment for sensing applications is required. This is an essential factor to increase the yield for realization of an infrared image sensor. Micromachining technology is used to lower the thermal mass of the detector by giving maximum sensor efficiency. Polymide is coated on top of the sensing elements to support the fragile structure and the backside of the MgO substrate is selectively etched to reduce the heat loss. The sensing element exhibited a very high detectivity D* of $8.5{\times}10^{8}cm{\cdot}\sqrt{Hz}/W$ at room temperature and it is about 100 times higher than the case of micromachining technology is not used. A sensing system that detects the position as well as the existence of a human body is realized using the array sensor.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.138-138
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• 2010

플렉서블 디스플레이에 사용되고 있는 기판은 광학적 투과율이 우수하고 휘어지는 폴리머 기판이 많이 활용되고 있으나 대기중의 수분 및 산소와 같은 가스성분들이 기판을 통해 침투하여 디스플레이의 수명을 감소시킨다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 투명하면서 절연특성이 뛰어나고 수분투과 방지 특성이 뛰어난 실리콘 화합물을 기반으로 하는 가스차단막의 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 실험에서는 기존의 스퍼터링 장치에 비해 저온공정이면서 구조적으로 뛰어난 박막특성을 얻을 수 있는 대향타겟식 스퍼터링(Facing Targets System, FTS)법을 이용하여 PEN기판 위에 $SiO_x$, $SiO_xN_y$, $(SiO_2)_x(ZnO)_{100-x}$ (SZO)를 단일층또는 다층으로 증착한 박막들의 광학적, 구조적 및 수분 투과 방지 특성들을 알아보았다. $SiO_x$, $SiO_xN_y$, SZO박막들의 광학적 특성을 알아보기 위해 Shimadzu사의 UV-VIS spectrophotometer 장비를 사용하여 측정한 결과 가시광 영역에서 80%이상의 높은 광투과율을 나타내었다. 박막의 수분투과 방지 특성으로 Mocon사의 Permatran W3/31 system을 이용한 투습율을 측정결과 가스 차단막이 없는 Bare PEN에 비해 PEN기판 위에 $SiO_x$와 $SiO_xN_y$ 박막들을 단층 또는 다층으로 증착한 박막의 투습율이 감소한 것을 확인 할 수 있었다. 특히 SZO 박막의 경우 다른 가스차단막들과 비교해 가장 낮은 수분투과율을 나타내었다. 이는 향후 SZO를 기반으로 한 단층박막이나 무기/무기 또는 유기/무기의 다층 박막 형태를 가지는 가스차단막이 플렉서블 디스플레이에 적용 가능할 것이라 사료된다.