• 한국환경과학회지
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• 제16권4호
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• pp.433-440
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• 2007

The photodegradation and by-products of the gaseous toluene with $TiO_2$ (P25) and short-wavelength UV ($UV_{254+185nm}$) radiation were studied. The toluene was decomposed and mineralized efficiently owed to the synergistic effect of photochemical oxidation in the gas phase and photocatalytic oxidation on the $TiO_2$ surface. The toluene by the $UV_{254+185nm}$ photoirradiated $TiO_2$ were mainly mineralized $CO_2$ and CO, but some water-soluble organic intermediates were also formed under severe reaction conditions. The ozone and secondary organic aerosol were produced as undesirable by-products. It was found that wet scrubber was useful as post-treatment to remove water-soluble organic intermediates. Excess ozone could be easily removed by means of a $MnO_2$ ozone-decomposition catalyst. It was also observed that the $MnO_2$ catalyst could decompose organic compounds by using oxygen reactive species formed in process of ozone decomposition.

• 한국환경과학회지
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• 제25권1호
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• pp.155-161
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• 2016

In this study, field experiment, odor simulator, and dispersion modeling were used to evaluate the odor impact from J sewage sludge treatment facility. The height and flow rate of exhaust stack at this facility were 22.3 m and $100Nm^3/min$. The mean odor concentrations of the wet scrubber inlet and exhaust stack were $267{\pm}160$ and $93{\pm}44OU/m^3$, respectively. The odor removal efficiency of wet scrubber showed 65%. The odor simulator is used for the regulated standard calculation of the exhaust pipe(stack). Resulting odor emission rate(OER) by odor simulator was $2.4{\times}10^6(24,000OU/m^3)$. The forecasting result by Screen3 modeling showed that odor exhaust concentration up to $30,000OU/m^3$ was't exceeded maximum allowable emission level on site boundary($15OU/m^3$).

• 공업화학전망
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• 제22권5호
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• pp.14-24
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• 2019

전 세계적인 기후변화로 인하여 선박 내 이용되는 물과 관련된 배출 규제도 매년 강화되고 있는 추세이다. 심해지는 규제를 만족하기 위하여 다양한 선박용 수처리 기술이 개발되고 있으며, 고도화 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 선박 내에서 이루어지는 수처리 공정인 선박 평형수(ballast water)처리, 조수기(fresh water generator)를 통한 선박 내 용수 공급, 대기오염 저감을 위한 스크러버(wet scrubber) 폐세정수 처리 공정과 관련된 국제해사기구(international maritime organication, IMO)와 같은 국제적인 규제 및 특정지역과 연안에 위치한 주정부 기관의 규제 현황에 대해 문헌조사를 통해 정리하였다. 이를 바탕으로 다양한 선박 내 수자원 활용과 규제에 부합하기 위해 적용되고 있는 관련 수처리 기술을 용도별로 정리하였으며, 현재 기존기술의 효율 개선 및 신기술 도입과 관련된 연구 현황을 정리하였다. 이러한 선박 내 수처리 현황 및 향후 적용될 기술개발연구를 바탕으로 지속가능한 해양환경 조성 및 기후변화 대응이 가능할 것으로 기대된다.

• 수산해양기술연구
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• 제52권3호
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• pp.248-256
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• 2016

The main purpose of this paper was to analyze the removal characteristics of gas/particulate phase pollutants for the present system. Experimentally, we performed to estimate the pressure drop and air pollution removal efficiency with physical variables such as stage number, tube velocity, tube diameter, water spray ($NH_4OH$), and so on. It was concluded that the pressure drop was shown below $111mmH_2O$ lower than that of the existing scrubber (centrifugal spray chamber, over 200 mmAq) at inlet velocity 3.46 m/s and 5 stage. The particular removal efficiency of this system was to be significantly higher at 99.8% in comparison with that of the existing scrubber for 5 stage, inlet velocity 3.46 m/s and $NH_4OH$ (aq) 300 mL/min. It was estimated that the removal efficiencies of $SO_2$ and $NO_2$ were 80% and 70% at system inlet velocity 2.07 m/s and $NH_4OH$ (aq) 300 mL/min respectively. Additionally, the present collection system was to be considered as an effective compact system for simultaneous removal of air pollutants (gas/particulate) due to much higher removal efficiency and appropriate pressure drop without a demister.

• Tribology and Lubricants
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• 제31권6호
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• pp.239-244
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• 2015

Chemical mechanical polishing (CMP) is one of the most important processes for enabling sub-14 nm semiconductor manufacturing. Moreover, post-CMP defect control is a key process parameter for the purpose of yield enhancement and device reliability. Due to the complexity of device with sub-14 nm node structure, CMP-induced defects need to be fixed in the CMP in-situ cleaning module instead of during post ex-situ wet cleaning. Therefore, post-CMP in-situ cleaning optimization and cleaning efficiency improvement play a pivotal role in post-CMP defect control. CMP in-situ cleaning module normally consists of megasonic and brush scrubber processes. And there has been an increasing effort for the optimization of cleaning chemistry and brush scrubber cleaning in the CMP cleaning module. Although there have been many studies conducted on improving particle removal efficiency by brush cleaning, these studies do not consider the effects of brush contamination. Depending on the process condition and brush condition, brush cross contamination effects significantly influence post-CMP cleaning defects. This study investigates brush cross contamination effects in the CMP in-situ cleaning module by conducting experiments using 300mm tetraethyl orthosilicate (TEOS) blanket wafers. This study also explores brush pre-treatment in the CMP tool and proposes recipe effects, and critical process parameters for optimized CMP in-situ cleaning process through experimental results.

• 한국습지학회지
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• 제17권2호
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• pp.118-123
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• 2015

제강산업의 냉연 산회수 설비공정을 검토하였고, 공정에서 발생되는 염화수소 가스를 처리하기 위하여 마이크로버블이 발생되는 DIWS 시스템을 운전하였다. 염화수소 가스의 대기배출허용기준을 만족하기 위해서는 추가공정의 도입이 필요한 것으로 나타났다. DIWS 장치로 유입되는 평균 염화수소 가스의 농도는 22.3 ppm, 배출가스의 농도는 0.59 ppm으로 평균 제거율은 97.3%였다. TMS 장치에 의한 10시간 5분 간격 측정에서도 평균 0.69 ppm으로 안정적이었으며, 수동으로 측정하여 TMS 장치의 신뢰도를 검증하였다.

• 한국응용과학기술학회지
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• 제32권2호
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• pp.296-301
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• 2015

The experiment was performed for in order to remove NOx which is generated in the Ship's engine. it was performed test in order to remove NOx which is generated in the Ship's engine. It was used as the oxidizing agent sodium chlorite. Use the oxidizer is nitrogen monoxide was oxidized to nitrogen dioxide. and was tested pH adjustment to increase the efficiency of oxidizing. An aqueous solution of sodium hydroxide was used for the nitrogen dioxide absorbent. Low concentration of the solution, it showed a high efficiency. improves the absorption efficiency by add additives.

• 한국대기환경학회지
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• 제8권4호
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• pp.262-268
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• 1992

The trend of international concerns on environmental conservation and domestic demand of ambient air quality improvement, specially on sulfur dioxide level has resulted in the establishment of mid-term strategy of environmental improvement and stepwise strengthening of emission regulations in this decade in Korea. Development of flue gas desulfurization(FGD) process is becoming an essential task to be accomplished especially for the power plants and large industrial facilities. This study is an initial stage researc focusing on the mass transfer principles in wet type FGD process and the effects of operating variables of a jet bubbling scrubber utilizing limestone slurry on sulfur dioxide removal efficiency. Experimental results showed this type of scrubbing system has some advantages in terms of mass transfer mechanism and removal efficiency. More rigorous research is needed for the reaction system and the comparison with existing FGD processess for the possible development of a process which is compatative in view of installation cost and treatment of by-products.

• 공업화학
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• 제30권6호
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• pp.712-718
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• 2019

가스화(gasification)는 바이오매스로부터 에너지를 얻을 수 있는 방법 중 하나로 열화학적 변환을 통해 수소, 일산화탄소, 메탄 등으로 조성된 가연성 가스인 'producer gas'를 생산할 수 있다. 하지만 producer gas와 함께 타르(tar)를 비롯한 ash 등의 입자상 물질이 함께 생성돼, 발전 터빈이나 연소 엔진 등에 유입되어 고장을 일으키거나 배관 등에 축적되어 막힘 현상 등을 야기하므로 제거가 필요하다. 본 연구에서는 producer gas 중 타르 및 입자 제거를 위해 오일 스크러버(oil scrubber)와 집진장치를 도입하였다. 흡수용매로써 타르를 효과적으로 제거가 가능한 대두유를 사용하였고, 스크러버의 용매 온도에 따라 제거효율이 어떻게 변화하는지 실험을 통해 관찰하였다. 집진장치에는 타르로 인한 필터 눈 막힘 현상 등의 문제를 방지하기 위해 pre-coating 기술을 도입하였다. Pre-coating에 사용할 물질로써 분말 소석회와 목탄계 활성탄(wood char)을 사용하였으며, 타르(tar)를 비롯한 입자 평균 제거 효율은 소석회를 pre-coating 물질로 사용 시 86%, 활성탄의 경우 80%로 나타났다. 스크러버와 집진장치를 동시에 사용한 경우에는 평균 제거효율이 소석회는 88%, 활성탄의 경우 83%로 나타났다.

• 공업화학
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• 제29권5호
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• pp.510-518
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• 2018

최근에 반도체 산업의 지속적인 발전에 따라 반도체 생산공정에서 발생하는 다양한 오염가스를 처리하는 기술에 대한 관심도 늘어나고 있다. 이처럼 반도체 공정 후 배출되는 폐가스를 제거하는 장치 중의 하나로서 다양한 종류의 스크러버 시스템이 사용되고 있다. 이러한 스크러버 시스템 내 열분해반응기 성능은 폐가스 내 오염원 제거효율과 전반적인 운전안정성에 영향을 미치기 때문에 열분해 반응기의 효율적인 설계가 매우 중요하다. 본 연구에서는 수치해석 방법을 기반으로 반응기 내 폐가스의 열유동 특성을 파악하고자 하였다. 해석기법을 검증하기 위해 온도분포에 대한 해석결과를 실험결과와 비교하였다. 온도결과에 대한 해석과 실험은 약 1.27~2.25% 수준의 낮은 오차를 보였으며 이를 통해 해석결과의 타당성을 확보하였다. 검증된 해석기법을 이용하여, 기존 반응기의 성능개선을 위한 설계 가이드라인을 제시하기 위해 폐가스 형상 변화에 따른 해석을 수행하여 기존모델 및 수정모델에서 폐가스의 거동특성을 비교분석하였다. 본 연구에서 수행한 결과는 다양한 스크러버 시스템 내 열유동 특성을 분석하는데 기초자료로 활용될 수 있을 것으로 기대한다.