• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제16권3호
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• pp.45-51
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• 2009

본 연구에서는 습식 방법으로 진행 되는 BGA 현상 공정에 있어 기존의 수평 장비를 대체하여 수직 장비를 개발하였다. 지그를 이용하여 기판을 수직 방향으로 고정한 후 습식 공정을 진행함으로써 기존 수평 장비의 단점인 롤러와 기판 표면 회로 패턴의 충돌로 인한 회로 패턴 손상 문제를 원천적으로 제거하고자 하였다. 개발된 수직 장비의 공정 특성을 수평 장비와 비교 평가 하기 위하여 유니포미터 측정, 회로 패턴 손상 평가 및 불량 평가의 실험을 수행하였다. 평가 결과 수직 장비의 유니포미티 특성은 수평 장비와 동일한 수준이며 중력 방향의 액흐름에 대한 공정 특성 영향은 미미한 것으로 확인 되었다. 또한, 수평 장비 대비 $3{\sim}4{\mu}m$ 더 미세한 회로 패턴에 대해여 손상 없이 공정을 진행 할 수 있음을 확인 할 수 있었다.

• 전기전자학회논문지
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• 제23권1호
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• pp.107-111
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• 2019

FPD(Flat Panel Display) WET(습식) 장비의 히터 사용은 필수로 사용된다. 히터 사용에 따른 단선과 과열로 인한 전기사고가 다발하여 안전적인 전기 계통도 및 인터락이 필요하다. 따라서 본 논문에서는 FPD WET장비에 들어가는 전기 계통도 및 인터락을 제안하였다. 레벨센서, 과열방지기, SSR heater sink와 같은 하드웨어 인터락을 넣었으며, 전기 계통도로써는 ELB-MC-SSR-EOCR-Heater로 구성되어 있다. 인터락 발생시 마그네틱 컨텍터(MC)가 오프되어 Heater의 전원을 차단하는 방식이다. 전기적 과전류 보호장치인 EOCR 과전류, 부족전류, 단선 체크를 하면서 히터에 이상 있을 시 MC를 차단하는 인터락이 구성되어 있다. 이러한 회로 구성 및 인터락은 WET 장비 뿐만 아니라 히터가 들어가는 어떠한 장비에도 유용할 것으로 보인다.

• 한국진공학회지
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• 제18권4호
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• pp.310-317
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• 2009

BGA 제조용 습식 현상 공정에 있어 기존의 수평 장비를 대체하여 수직 장비를 새로이 개발하였다. 수직 장비의 장점은 기판 표면의 소프트한 드라이필름 회로 패턴의 요철과 장비 구동부와의 직접적인 접촉을 배제함으로써 현상 공정 진행 중 회로 패턴의 손상을 최소화할 수 있다는 것이다. 본 연구에서는 개발된 수직 장비의 공정 특성을 최적화하기 위하여 다구찌 실험을 수행하였다. 수직 장비에 병렬로 동시 투입되는 2장의 기판에 대하여 공정 특성을 동일하게 하기 위해 적절한 잡음인자 및 제어가능인자를 선정하여 망소특성치 실험을 수행하였다. 실험 결과 현상 약품액의 온도 및 현상 스프레이에 노출되는 시간이 주요한 제어가능인자인 것으로 평가되었다. 최종적으로 회로 패턴의 손상 없이 현상 공정을 진행할 수 있는 최소 회로 선폭이 선형패턴의 경우 수평 장비 $13.8{\mu}m$ 대비 수직 장비는 $10.4{\mu}m$로, 닷 패턴의 경우 수평 장비 $22.1{\mu}m$ 대비 수직 장비는 $16.3{\mu}m$로 각각 향상된 결과를 얻을 수 있었다.

• 한국농업기계학회:학술대회논문집
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• 한국농업기계학회 1996년도 International Conference on Agricultural Machinery Engineering Proceedings
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• pp.711-714
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• 1996

The energy saving base technological processes were substantiated and high efficient equipment for the wet fractionation of the leafstalk biomass of the annual and perennial sown grasses into the multipurpose products was designed.

• 한국정보처리학회논문지
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• 제6권5호
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• pp.1385-1392
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• 1999

본 논문에서는 웨이퍼를 세정하는데 사용되는 Wet Station 장비의 상태를 감지하고, 이를 간접적으로 제어하기 위한 모니터링 시스템의 설계에 관하여 기술한다. 대부분의 기존 모니터링 시스템은 하드웨어 및 소프트웨어에 의존되어 있다. 제시한 모니터링 시스템의 기본 설계 목표는 사용자의 편의성과 시스템의 이식성을 제공하는 것이다. 이러한 요구조건을 만족시키기 위하여, 본 논문에서는 IBM PC 호환 기종의 윈도우즈 NT 환경에서 GUL 기능과, TCP/IP 통신 프로토콜을 기본으로 한 EtherNet 보드를 이용하여 시스템을 설계하였다.

• 한국해양공학회지
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• 제6권2호
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• pp.113-124
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• 1992

The offshore industry created a need for quality wet weld repairs. Wet welding is a fast method of repair providing sound, structural quality welds. It requires less support equipment than a similar underwater dry weld repair or the alternative mechanical connections. Compared to welds made in air, underwater wet welds are plagued by increased hardness due to rapid quenching by the surrounding water. In this paper is described the experimntal study of improving the cooling rates of wet welds of TMCP steel plate by shielding around weld arc surroundings. The principal results of this experimental investigation can be summarized as follows : By shielding around weld arc surrounding, the cooling rates resulting from wet welds on TMCP steel plate could be lower than that of nonshielded wet welds and the fesibility on high quality of mecanical properties of wet weld on TMCP steel plate was carried out with shielded weld arc surrounding.

• 환경위생공학
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• 제17권4호
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• pp.1-9
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• 2002

In order to define about concern with discharge and water-quality, it is calculated drought flow, low flow, normal flow and wet flow in Chungju watershed from flow duration analysis. Water quality modeling study is performed for forecasting at upstream of Chungju lake. It is devided method of modeling into before and after the equipment of environmental treatment institution. And it is estimated the change of water quality. Before the equipment of environmental treatment, BOD concentration is increased from 23000 to 2006 years at all site and decrease on 2012 years. The rate of increasing BOD concentration is showed height between 2000 years and 2003 years most of all site. And after the equipment of environmental treatment, it is showed first grade of BOD water quality in most of sample site beside Jucheon river. The result of water quality modeling using drought flow showed that a lot of pollution occurred. And water quality using wet flow is good, so much discharge make more improve water quality than little discharge.

• 한국정밀공학회지
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• 제28권2호
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• pp.193-201
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• 2011

Clamp type transferring mechanism for package substrate's wet processes was newly developed instead of conventional roller type transferring mechanism. Clamp type transferring mechanism has the advantages of reducing the panel deflection and of minimizing the contact problem between the panel and the transferring mechanism. Individual clamp of the mechanism has two distinct mechanical functions which are perfectly fixing a panel during the transferring and generating adequate tension for the panel. To determine the mechanical parameters of the clamp, panel deflection simulation was conducted and the result was verified by the panel deflection measurement. Also, fixing angle of a clamp could be determined by the free body force analysis of individual clamp. Finally clamp type transferring mechanism was actually manufactured and the transferring performance was verified during the water spraying condition of the package substrate's wet processes.

• 드라이브 ㆍ 컨트롤
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• 제17권1호
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• pp.76-80
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• 2020

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
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• pp.186-191
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• 2003