• 제목/요약/키워드: WET DEPOSITION

검색결과 266건 처리시간 0.027초

실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구 (A study on wet etching for silicon membrane construction formation)

  • 김동수;정원채
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(2)
    • /
    • pp.237-240
    • /
    • 2001
  • In this paper, we have presented processing technique about wet etching for silicon membrane construction formation. In order to make selective etching of backside silicon wafer, we used Si$_3$N$_4$ layer by PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). We have measured the surface thickness in backside silicon wafer after anisortropic wet etching with KOH:distilled water solutions. Through this experiment, we acquired the etching rate for 1.29${\mu}{\textrm}{m}$/min. The average rough of Si-membrane frontside and backside was 0.26${\mu}{\textrm}{m}$, 0.90${\mu}{\textrm}{m}$, respectively.

  • PDF

Semiempirical model for wet scrubbing of bubble rising in liquid pool of sodium-cooled fast reactor

  • Pradeep, Arjun;Sharma, Anil Kumar
    • Nuclear Engineering and Technology
    • /
    • 제50권6호
    • /
    • pp.849-853
    • /
    • 2018
  • Mechanistic calculations for wet scrubbing of aerosol/vapor from gas bubble rising in liquid pool are essential to safety of sodium-cooled fast reactor. Hence, scrubbing of volatile fission product from mixed gas bubble rising in sodium pool is presented in this study. To understand this phenomenon, a theoretical model has been setup based on classical theories of aerosol/vapor removal from bubble rising through liquid pools. The model simulates pool scrubbing of sodium iodide aerosol and cesium vapor from a rising mixed gas bubble containing xenon as the inert species. The scrubbing of aerosol and vapor are modeled based on deposition mechanisms and Fick's law of diffusion, respectively. Studies were performed to determine the effect of various key parameters on wet scrubbing. It is observed that for higher vapor diffusion coefficient in gas bubble, the scrubbing efficiency is higher. For aerosols, the cut-off size above which the scrubbing efficiency becomes significant was also determined. The study evaluates the retention capability of liquid sodium used in sodium-cooled fast reactor for its safe operation.

전기영동법에 의해 제조된 Pt/C 촉매 전극의 전기화학적 특성 (Electrochemical characteristic of Pt/C Electrode Catalyst prepared by Electrophoresis Method)

  • 송재창;김정현;김윤수;윤정모;이홍기;유연태
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집
    • /
    • pp.146.2-146.2
    • /
    • 2010
  • PEMFC를 구성하는 여러 부품 중 핵심부품은 MEA(Membrane Electrode Assembly)으로서 실제 연료전지 반응이 일어나며 연료전지의 성능을 결정하는 부품이다. 그러나 PEMFC의 특성 상 촉매로 귀금속인 Pt가 사용됨에 따라 경제성이 확보된 MEA의 성능을 얻기 위해선 현재 Pt 담지량을 0.3mg/$cm^2$ 이하로 크게 감소시키면서 Pt촉매의 고분산화와 미반응 사이트의 감소가 필요하다. 본 연구에서는 Pt 촉매의 미반응 사이트를 줄이고자 전기영동법에 의해 카본전극(carbon black + GDL) 상에 Pt 나노입자를 직접 석출시켜 Pt/C 촉매 전극을 제조 하였다. 본 실험에서는 가장 좋은 Pt 나노입자의 석출거동을 나타낸 30mA/$cm^2$, pH 2, duty cycle 25% 조건을 기준으로 하여 electro-deposition time을 통한 석출량 제어와 carbon paper의 wet proofing 정도에 따른 Pt의 석출거동을 조사하였으며, 종래의 방법으로 제조한 Pt/C 촉매전극의 전기화학적 특성과 비교 분석하였다. 전기영동 석출법에 사용된 Pt나노입자는 $H_2PtCl_6{\cdot}6H_2O$로부터 화학적 환원법으로 합성한 2~3nm 입경을 갖는 Pt콜로이드를 사용하였으며, magnetic stirring과 항온 ($20^{\circ}C$)을 유지하여 실험하였다. 전기영동 석출량 제어는 electro-deposition time을 5~25분까지 5분 간격으로 나누어 실험하였고 카본전극을 구성하는 carbon paper의 wet proofing 정도가 Pt 나노입자 석출거동에 미치는 영향을 조사하기 위하여 20, 40, 60%의 서로 다른 wet proofing 값을 갖는 carbon paper를 사용하여 Pt/C 촉매 전극을 제조하였다. 전기영동법으로 석출된 카본블랙 전극 상 Pt나노입자의 분산도와 담지량는 각각 FE-SEM과 TGA 장비를 사용하여 측정하였고, 제조된 Pt/C 촉매 전극의 전기화학적 촉매 특성은 cyclic voltammetry(CV)법으로 측정하였다.

  • PDF

Chemical Composition Characteristics of Precipitation at Two Sites in Jeju Island

  • Kang, Chang-Hee;Kim, Won-Hyung;Lee, Won
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
    • /
    • 제24권3호
    • /
    • pp.363-368
    • /
    • 2003
  • The major ionic components of precipitation collected at the 1100 Site of Mt. Halla and Jeju city have been determined. The reliability of the analytical data was verified by the comparison of ion balances, electric conductivities and acid fractions; all of their correlation coefficients were above 0.94. Ionic strengths lower than $10^{-4}$ M were found in 53% of the 1100 Site samples and 28% of the Jeju city samples. Compared with other inland areas, the wet deposition of $Na^+,\;Cl^-\;and\;Mg^{2+}$ was relatively larger, but that of $NH_4^+,\;nss-SO_4^{2-}$(non-sea salt sulfate) and $NO_3^-$ was lower. Especially the wet deposition increase of $Ca^{2+}$ in the spring season supports the possibility of the Asian Dust effect. The acidification of precipitation was caused mostly by $SO_4^{2-}\;and\;NO_3^-$ in the Jeju area, and the organic acids have contributed only about 7% to the acidity. The neutralization factors by NH₃were 0.47 and 0.48, and that of CaCO₃was 0.31 and 0.25 at the 1100 Site and Jeju city, respectively. Investigation into major influencing sources on precipitation components by factor analysis showed that the precipitation at the 1100 Site had been influenced mostly by an anthropogenic source, followed by soil and seawater sources. The precipitation at Jeju city was mainly influenced by oceanic sources, followed by anthropogenic and soil sources.

스퍼터링 증착 조건에 따른 금속 박막의 습식 식각율 (The Wet Etching Rate of Metal Thin Film by Sputtering Deposition Condition)

  • 허창우
    • 한국정보통신학회논문지
    • /
    • 제14권6호
    • /
    • pp.1465-1468
    • /
    • 2010
  • 습식 식각은 식각용액으로서 화학용액을 사용하는 공정으로 반응물이 기판표면에서 화학반응을 일으켜 표면을 식각하는 과정이다. 습식 식각 시 수${\mu}m$의 해상도를 얻기 위해서는 그 부식액의 조성이나, 에칭시간, 부식액의 온도 등을 고려하여야 한다. 본 실험에서 사용한 금속은 Cr, Al, ITO 로 모두 DC sputter 방법을 사용해서 증착하여 사용하였다. Cr박막은 $1300{\AA}$ 정도의 두께를 사용하였고, ITO (Indium Tin Oxide) 박막은 가시광 영역에서 투명하고 (80% 이상의 transmittance), 저저항 (Sheet Resistance : $50\;{\Omega}/sq$ 이하) 인 박막을 사용하였으며, 신호선으로 주로 사용되는 Al등의 증착조건에 따른 wet etching 특성을 조사하였다.

습성강하물 중의 오염물질의 농도와 부하 - 충북 청주시를 중심으로- (The Concentrations and Loads of Pollutant in Wet Deposition in Cheongju)

  • 김진수;오승영;오광영;이종진;김선종;조재원;간종범;정구영
    • 한국수자원학회논문집
    • /
    • 제37권11호
    • /
    • pp.959-967
    • /
    • 2004
  • 충북 청주시에 위치한 충북대학교에서 강수에 따른 습성강하물 중의 TN, TP 및 COD의 농도와 오염부하를 조사하였다 강수사상에 대한 샘플은 1998년에서 2003년까지 채집되었다. 오염물질의 강수량가중평균 농도는 TN이 0.60mg/L, TP가 0.014mg/L, COD는 4.8mg/L이었는데, 이는 각각의 산술평균보다 26, 18, 14% 작게 나타났다. TN, TP 및 COD의 농도는 강수량이 증가함에 따라 감소하는 경향을 나타냈다. 모든 수질항목은 됨에 가장 많이 나타났는데, 이는 풍식 및 황사에 의한 먼지, 꽃가루 등 때문으로 생각된다. 습성강하물의 평균 연간부하는 TN 7.9kg/ha$\cdot$yr, TP 0.19kg/ha$\cdot$yr, COD 53.9ka/ha$\cdot$yr로 나타났는데, 이를 일본에서 보고된 각각의 연간부하와 비교하면 TN과 TP는 비슷했으나, COD는 약간 놀게 나타났다.

한국에서 분진 및 금속원소의 건식 침착속도 추정에 관한 연구 (Studies on Estimating Dry Deposition Velocities for Atmospheric Aerosol and Metal Elements in Korea)

  • 김성천;김동술
    • 한국대기환경학회지
    • /
    • 제12권1호
    • /
    • pp.101-112
    • /
    • 1996
  • Dry and wet deposition is an impertant removal mechanism of the amobient aerosol in the atmospheric environment. Since the deposition flut provides adverse impacts on various encironmental media including aquatic and ecological system as well as human health, it is essential to quantitatively estimate the removal fluxes of many air pollutants. Thus, the purposes of this experimental study are to investigate seasonal deposition flux variations of the total dustfall and various inorganic elements in the local ambient air and then to finally estimate their dry deposition velocities. To perform the study, the total of 90 dustfall samples were collected from January, 1994 thru February, 1995 in 5 different cities of Korea including Seoul, Suwon, Daejon, Kwangju, and Kangrung. Each sample was analyzed by an AAS and an ICP to determine the quantities of the 11 inorganic elements, such as Zn, Cd, Cr, K, Na, Pb, Ca, Fe, Mn, Mi, and Cu. As results, deposition fluxes, soluble/insoluble fractions, and deposition velocities for each element were extensively investigated. The resulting dry deposition velocities of some elements in Suwon were estimated by ranges of 0.57 .sim. 0.87 cm/sec for Zn, 0.35 .sim. 0.45 cm/sec for Pb, 1.25 .sim. 3.52 cm/sec for Ca, 0.21 .sim. 0.48 cm/sec for Fe, 0.95 .sim. 9.31 cm/sec for Mn, and 2.08 cm/sec for Cu.

  • PDF