질화물 박막을 이용한 단결정 $\beta$ -SiC의 고온 ohmic 접촉 연구
(High Temperature Ohmic Contacts to Monocrystalline $\beta$ -SiC Thin Film Using Nitride Thin Films)
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- 한국재료학회지
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- 제10권1호
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- pp.21-28
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- 2000