Sensitivity Enhancement for Thermophysical Properties Measurements via the Vacuum Operation of Heater-integrated Fluidic Resonators (가열 전극 통합 채널 공진기의 진공 환경 구동에 의한 열물성 측정의 민감도 향상)
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- Journal of Sensor Science and Technology
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- v.32 no.1
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- pp.39-43
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- 2023