• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 추계학술대회
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• pp.1098-1102
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• 2003

Vacuum vessel of the KSTAR(Korea Superconducting Tokamak Advanced Research) tokamak is a fully welded structure with D-shaped cross-section. According to the requirements of the physics design, sixteen horizontal ports, sixteen slanted ports, sixteen baking and cooling ports, and twenty-four top and bottom vertical ports are designed for the diagnostics, plasma heating, vacuum pumping, and baking and cooling. Bellows on these ports are used for flexible components to absorb the relative displacement due to the vacuum vessel thermal expansion and the electromagnetic force between the vacuum vessel and the cryostat ports. Fatigue strength evaluation was performed to decide the dimension of the bellows. In order to assure the quality of the bellows, a prototype bellows for the neutral beam injection port has been fabricated and tested prior to main fabrication. It was conformed that the prototype bellows has sufficient fatigue strength and vacuum reliability in the expected load conditions.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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• pp.49-49
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• 2000

당사는 1991년 6월에 설립된 후 반도체 장비의 국산화 개발에 주력하고 있다. Thermoelectric module typer Chiller 및 Dry gas scrubber를 국산화 하였으며 THC(Temperature & Humidity Controller)를 개발하여 국내 및 미국에 특허를 출원중에 있으며 기업 부설연구소를 통해 계속하여 각종 제품을 연구 개발하고 있다. 이외 다수의 제품을 보유하고 있으며 기업 부설연구소를 통해 계속하여 각종 제품을 연구 개발하고 있다. 이외 다수의 제품을 보유하고 있으며 진공관련 제품으로는 미국 MDC사 Vacuum components, e-beam vaporation system. ISI사 electrical and optical components, US Inc. 사 Sputter system, SBC사 Bellows. 일본 IKC사 Bellows, Vacuum components, Vacuum system을 취급하고 있다. 1998년에 경기도 및 중소기업청으로부터 유망중소기업 및 벤처기업 인증을 획득하였으며 1999년 12월에 경기도 및 중소기업청으로부터 유망중소기업 및 벤쳐기업 인증을 획득하였으며 1999년 12월 KOSDAQ에 등록하였다. 중소기업 수출기업화 사업 대상기업으로 선정되었으며 1999년 12월 KOSDAQ에 등록하였다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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• pp.306-307
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• 2014

진공용 장비의 sealing 방법으로 Cu gasket을 이용한 CF type과 O-ring을 이용한 NW type이 있다. 이중 O-ring을 이용한 sealing 방법에는 clamp를 사용하게 되는데 Al 합금으로 제작된 clamp에 bellows의 수축 시 받는 전단응력과 전단응력한계 이상의 힘을 받았을 때의 clamp 파손에 따른 역압에 의한 TMP 손상 분석.

• 한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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• 제25권4호
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• pp.32-39
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• 2023

One of the main problems faced in developing India's first HTS power cable was that of shrinkage in length of the double-walled vacuum-insulated cryostat. The shrinkage was due to the evacuation of the annular vacuum space which results in a shorter working cable length. This work reports experimentally observed contraction during evacuation and analyses corrugated pipes/bellows which house the cable core of HTS cables. The effect of corrugation geometry including length, corrugation pitch and depth, diameters of corrugated pipes and thicknesses of pipes is studied numerically to realize the degree of shrinkage due to vacuum as well as chill down. Finally, necessary length compensation and associated cost is determined to tackle the shrinkage issue.

• Journal of Welding and Joining
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• 제35권2호
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• pp.43-51
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• 2017

The automatic welding systems, have received much attention in recent years, because they are highly suitable not only to increase the quality and productivity, but also to decrease manufacturing time and cost for a given product. Automatic welding work in semiconductor or space industry to be carried out in pipe line and butt joint mostly and plasma arc welding(PAW) is actively applied. To get the desired quality welds in automated welding system is challenging, a mathematical model is needed that has complete control over the relevant process parameters in order to obtain the required mechanical properties. However, In various industries the welding process mathematical model is not fully formulated for the process parameter and on the welding conditions, therefore only partial variables can be predicted. Therefore, this paper investigates the interaction between the welding parameters and mechanical properties for predicting the weld bead geometry by analyzing the S/N ratio.

• 한국가스학회지
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• 제21권6호
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• pp.52-60
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• 2017

반도체 제조공정 중 확산공정 배기라인에 "반응 부산물인 $ZrO_2$와 TEMAZ, TMA, $O_3$ 등 미반응 물질"과 "퇴적되어 있는 분체"를 제거하여 배관 내 운송효율을 높이고자 히터 자켓을 사용하여 배관온도를 $80^{\circ}C$이상으로 올리던 중 진공펌프 후단의 신축배관이 파열되는 사고가 발생하여 사례연구를 진행하였고 사례연구를 통해 동일한 사고가 발생하는 것을 예방하고자 한다. 사고원인을 분석해보면 진공펌프 흡입 측의 틈새발생으로 외부 공기 배관유입과 히터 자켓으로 배관을 가열함으로서 미 반응된 TEMAZ가 분해되어 발생하는 가스의 부피팽창으로 배관 내 과압이 발생하였고 배관 중에서도 가장 취약한 벨로우즈에서 파열된 것으로 추정할 수 있다. 이와 같은 사고를 예방하기 위하여 배관파열사고의 원인물질로 추정되는 TEMAZ에 대한 물리적 위험성을 평가하여 배관파열사고의 원인을 규명하고 동종재해를 예방하기 위한 안전대책을 수립하고자 하는데 목적이 있다.