• 제목/요약/키워드: Vacuum Characteristics

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$Co_{90}Fe_{10}$ 박막 및 $Co_{90}Fe_{10}/SiO_2$ 다층박막의 고주파 자기특성 (High Frequency Magnetic Characteristics of $Co_{90}Fe_{10}$ Thin Films and $Co_{90}Fe_{10}/SiO_2$ Multilayers)

  • 윤의중;진현준;박노경;문대철;김좌연
    • 한국자기학회지
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    • 제8권5호
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    • pp.300-307
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    • 1998
  • Co90Fe10 단일박막층은 고진공 RF magnetron sputtering 장비를 이용하여 여러 가지 기판(glass, Si, polyimide) 위에 적층되었고 ~1000$\AA$ 두께를 가진 Co90Fe10 박막은 우수한 고주파 자기특성을 나타내었다. 10$\times$[100 nm co90Fe10/ 100 nm SiO2] 다층 박막의 자화값은 예측된 값과 거의 일치하였으며 Han값(=124 Oe)도 예측된 30$\leq$Han$\leq$125 Oe 범위 내에 있음을 알 수 있었다. 자성 다층 박막의 자화율(=$\mu$,=$\mu$,-j$\mu$r")의 주파수 특성은 자성 다층 박막과 도체로 이루어진 층상구조를 갖는 microstrip line을 network analyzer에 연결하여 전송 특성(S11, S21 파라미터)을 측정함으로써 얻어졌다. $\mu$,"의 주파수 특성은 S-파라미터로 분석되는 magnetic absorption으로부터 얻어졌다. 또한 $\mu$r'의 주파수 특성은 Kramers-Kronig 관계식을 사용하여 $\mu$r"의 주파수 특성으로부터 계산되었다. 이와 같이 얻어진$\mu$r의 주파수 특성 (static 자화율, 공진 주파수)은 계산에 의해서 얻어진 값들과 잘 일치된다는 것을 확인하였다.일치된다는 것을 확인하였다.

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진공 증착법에 의하여 제작한 Europium complex 유기 박막 전기발광소자의 광학적.전기적 특성에 관한 연구. (Studies on the Optical and the Electrical Characterization of Organic Electroluminescence Devices of Europium Complex Fabricated with PVD(Physical Vopor Deposition) Technique)

  • 이명호;이한성;김영관;김정수
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제48권5호
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    • pp.285-295
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    • 1999
  • Electroluminescent(EL) devices based on organic materials have been of great interest due to their possible applications for large-area flat-panel displays. They are attractive because of their capability of multi-color emission, and low operation voltage. An approach to realize such device characteristics is to use active layers of lanthanide complexes with their inherent extremely sharp emission bands in stead of commonly known organic dyes. In general, organic molecular compounds show emission due to their $\pi$-$\pi*$ transitions resulting in luminescence bandwidths of about 80 to 100nm. Spin statistic estimations lead to an internal quantum efficiency of dye-based EL devices limited to 25%. On the contrary, the fluorescence of lanthanide complexes is based on an intramolecular energy transfer from the triplet of the organic ligand to the 4f energy states of the ion. Therefore, theoretical internal quantum efficiency is principally not limited. In this study, Powders of TPD, $Eu(TTA)_3(phen) and AlQ_3$ in a boat were subsequently heated to their sublimation temperatures to obtain the growth rates of 0.2~0.3nm/s. Organic electrolumnescent devices(OELD) with a structure of $glass substrate/ITO/Eu(TTA)_3(phen)/AI, glass substrate/ITO/TPD/Eu(TTA)_3(phen)/AI and glass substrate/ITO/TPD/Eu(TTA)_3(phen)/AIQ_3AI$ structures were fabricated by vacuum evaporation method, where aromatic diamine(TPD) was used as a hole transporting material, $Eu(TTA)_3(phen)$ as an emitting material, and Tris(8-hydroxyquinoline)Aluminum$(AlQ_3)$ as an electron transporting layer. Electroluminescent(EL) and current density-voltage(J-V) characteristics of these OELDs with various thickness of $Eu(TTA)_3(phen)$ layer were investigated. The triple-layer structure devices show the red EL spectrum at the wavelength of 613nm, which is almost the same as the photoluminescent(PL) spectrum of $Eu(TTA)_3(phen)$.It was found from the J-V characteristics of these devices that the current density is not dependent on the applied field, but on the electric field.

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플라즈마 블라스팅, 공압파쇄, 진공추출이 활용된 지중 토양정화공법의 정화제 주입에 따른 투수성 개선 연구 (A Study on the Effect of Improving Permeability by Injecting a Soil Remediation Agent in the In-situ Remediation Method Using Plasma Blasting, Pneumatic Fracturing, and Vacuum Suction Method)

  • 이근춘;송재용;강차원;장현식;장보안;박유철
    • 지질공학
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    • 제33권3호
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    • pp.371-388
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    • 2023
  • 지층구성이 복잡하고 저투수성의 토양이 분포하는 경우 정화효율은 급격히 저하되고 실질적인 정화가 이루어지지 않거나 정화기간이 증가하는 등의 문제가 발생한다. 효율적인 정화를 위해서는 투수성이 개선되어 오염된 구간으로 정화제 주입하여 오염물질과 충분한 접촉이 이루어져야 한다. 본 연구는 균열형성과 효과적인 정화제 유도를 위해 플라즈마 블라스팅, 공압파쇄, 진공추출을 복합적으로 활용하는 PPV 공법의 유체 전달특성을 분석하고 기존공법과의 비교를 통해 개선효과를 평가하였다. 연구는 TPH(Total petroleum hydrocarbons)로 오염된 실제 오염부지에 대한 정화제 전달효과를 확인하기 위한 실증시험을 수행하였으며 정화제의 전달특성과 영향범위 등을 산정하기 위해 주입량과 주입시간을 모니터링하고, 정성적인 지중환경 변화요인을 확인하고자 전기비저항탐사를 수행하였다. 또한, 투수시험을 수행하여 각 공법에 대한 투수성 변화를 평가하였다. 정화제의 주입량 모니터링 결과, 주입량은 대조군 대비 실험군의 주입량이 약 4.74~7.48배 증가하였고, 단위 시간 당 주입 유량(L/min)은 약 5.00~7.54배 실험군의 전달률이 빠른 것으로 분석되었다. 전기비저항탐사 결과, 실험군의 비저항변화비는 대조군과는 달리 지표까지 영향을 주어 비저항값이 전체적으로 감소하는 경향을 보인다. 따라서 실험군은 지표 상부에 분포하는 토사층까지 과산화수소 등의 유체 확산이 이루어져 저비저항 변화비가 감소하는 것을 볼 수 있으며 주입정과 추출정 사이의 수평적 변화비는 약 1.12~2.38배 비저항값이 감소되었다. 투수성의 경우, 대조군과 실험군 모두 유사한 초기 투수성을 보였으나 과산화수소의 정화기작 영향으로 투수성이 감소하는 특성을 나타내는 것으로 확인되었다. 수리전도도의 변화를 정량적으로 평가하면, 대조군은 시험 종료 후 초기 수리전도도 대비 21.1%의 수리전도도를 나타내어 투수성이 급격히 저하되는 양상을 보였으나 실험군은 실험종료 후 초기치 대비 81.3%로 초기 수리전도도와 근접한 값을 나타내는 것으로 파악되었다. 현장조사로 확인된 수리전도도와 정화재 주입실험을 통한 정화제 주입용량(m3/hr), 토양특성분석(함수비, 밀도)을 통한 공극률(%)의 분석을 통해 영향반경(ROI)을 산정산 결과, PPV 공법의 영향반경(ROI)은 대조군에 비해 평균 220% 개선되는 것으로 확인되었다. 이와 같은 성과는 PPV 공법 적용으로 인하여 기존공법 대비 보다 넓은 범위에 걸쳐 효율적인 정화제 전달이 가능하고 정화기작에서 나타나는 투수성 저해요인을 상당부분 극복할 수 있으며, 약 2배 이상의 영향반경 증대를 통해 정화효율을 높일 수 있음을 지시하는 중요한 지표로 볼 수 있다.

액상증착법에 의한 산화막 형성에 관한 연구 (Study on the Formation of SiO2:F films Using Liquid Phase Deposition)

  • 이상국;김철주
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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    • pp.1559-1562
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    • 1999
  • We formed $SiO_2:F$ films by low-temperature process called Liquid Phase Deposition(LPD) and investigated its electrical and physical properties. Because of the use of room-temperature and no special vacuum apparatus for forming $SiO_2:F$ films, this technique can have some advantages related with the application to dielectric interlayer for multilevel structure in ULSI devices. The growth rate 100nm/hr was obtained at the growth solution of 2.5mol/l. The P-etch rate showed a similar or better tendency compared with $SiO_2$ films formed by CVD, Sputter, E-beam evaporator etc.. The fourier transform infrared (FTIR) spectra revealed that the contained fluorine atoms exist uniform throughout the formed $SiO_2$ films. The Scanning Electron Microscope images showed that LPD-$SiO_2$ films could be stably grown on silicon substrates and the good step-coverage could also be obtained, which indicates that the LPD-$SiO_2$ films have some possibility of the application to planarization and interlayer dielectric films which are vitally necessary to achieve the multilevel interconnection in ULSI. The I-V characteristics has some distinct differences according to the concentration of growth solution.

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벤젠에 대한 활성탄 및 제올라이트 13X를 충진한 흡착탑에서 탈착 특성 (Characteristics of Desorption for Benzene in Activated Carbon and Zeolite 13X Packed Bed)

  • 강성원;서성섭;민병훈
    • 공업화학
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    • 제17권2호
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    • pp.201-209
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    • 2006
  • 활성탄과 제올라이트 13X를 충진시킨 흡착탑에 흡착질인 벤젠을 포화 흡착시킨 후 여러 가지 탈착 방법에 대한 효율을 살펴보았다. 뜨거운 수증기에 의한 탈착, 세정 기체에 의한 탈착, 진공에 의한 탈착 등을 실험하였고, 그 결과 뜨거운 수증기에 의한 탈착이 가장 좋은 탈착 방법으로 판단되었다. 또한 뜨거운 수증기는 흡착탑 내의 온도를 상승시키면서 탈착을 야기시키고 수증기 탈착 과정 이후에는 건조 공정이 수반되어야만 효율이 높아짐을 알 수 있었다. 건조 공정이 수반되지 않을 경우는 수증기가 추후에 흡착을 방해하는 결과를 초래하였다. 진공에 의한 탈착은 효과가 매우 적은 것으로 나타났는데 이로부터 벤젠의 경우에 압력 변화에 의한 탈착 보다는 온도 변화에 의한 탈착이 더 효과적인 것으로 판단되었다. 세정 기체에 의한 탈착에서는 진공 탈착과 함께 이루어질 때 좋은 탈착 성능이 나타남을 알 수 있었다.

FRICTION UNITS FOR THE MOON

  • Drozdov, Yu.N.
    • 한국윤활학회:학술대회논문집
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    • 한국윤활학회 2002년도 proceedings of the second asia international conference on tribology
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    • pp.389-396
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    • 2002
  • In XXI century it is necessary to expect the recommencement and development of activities on mastering the Moon. In the long term it is construction of manned lunar bases with industrial, astrophysical, procuring, repair equipment and services. Interplanetary flights from the Moon demand smaller power expenditures, than from the Earth, therefore it is favourable to use its surface for the construction of space-vehicle launching sites. Flights of devices in libration points in the system 'Earth - Moon' are considered. Experience of engineering system creation for the Moon displays the great complexity in provision of serviceability and reliability of friction units. Open friction units should operate under following conditions on the Moon: pressure of environment (vacuum) $p\;>10\;^{-10}$ Pa; wide range of temperature change $+150^{\circ}C\;...170^{\circ}C$; high evaporability of lubricants; influence of temperature gradients and warping of constructions; sublimation of elements of constructional materials; irradiation of different physical nature; effect of micrometeorites; reduced gravitation; influence of abrasive particles of lunar ground; requirements on minimization of size and weight characteristics of a construction (high tension); undesirability (impossibility) of application of liquid and plastic lubricants; vibration, shock, acoustic loadings during start and landings to the Earth; difficulties in repair-regenerative operations in conditions of the Moon etc. Adhesive interaction of conjugated surfaces is the principal reason of possible failures of rubbed units on the Moon. In the research of the Moon automatic interplanetary stations of 'Luna' (USSR), 'Surveyer', 'Apollo' (USA) series were used. Stations executed functions of flying, landing, artificial satellites of the Moon, moon-rovers and manned spacecrafts such as 'Apollo'. The experimental- theoretical researches carried out in the sixtieth years on tribology for conditions of the Moon appeared to be rather useful to engineering of an outer space exploration and the decision of complex problems for the friction units operating in extreme conditions on the Earth. For the creation of highly loaded friction units for the long service life on the Moon it is required not only to use accumulated experience and designed technologies, but also to carry out wide scientific research.

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Electrical Switching Characteristics of Ge1Se1Te2 Chalcogenide Thin Film for Phase Change Memory

  • Lee, Jae-Min;Yeo, Cheol-Ho;Shin, Kyung;Chung, Hong-Bay
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제7권1호
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    • pp.7-11
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    • 2006
  • The changes of the electrical conductivity in chalcogenide amorphous semiconductors, $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$, have been studied. A phase change random access memory (PRAM) device without an access transistor is successfully fabricated with the $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$-phase-change resistor, which has much higher electrical resistivity than $Ge_{2}Sb_{2}Te_{5}$ and its electric resistivity can be varied by the factor of $10^5$ times, relating with the degree of crystallization. 100 nm thick $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$ thin film was formed by vacuum deposition at $1.5{\times}10^{-5}$ Torr. The static mode switching (DC test) is tested for the $100\;{\mu}m-sized$ $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$ PRAM device. In the first sweep, the amorphous $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$ thin film showed a high resistance state at low voltage region. However, when it reached to the threshold voltage, $V_{th}$, the electrical resistance of device was drastically reduced through the formation of an electrically conducting path. The pulsed mode switching of the $20{\mu}m-sized$ $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$ PRAM device showed that the reset of device was done with a 80 ns-8.6 V pulse and the set of device was done with a 200 ns-4.3 V pulse.

청정도 가스 이송용 재료의 특성과 전해연마에 관한 연구 (A Study on the Characteristics of Electro Polishing and Utility Materials for Transit High Purity Gas)

  • 이종형;박신규;양성현
    • 한국산업융합학회 논문집
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    • 제7권3호
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    • pp.259-263
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    • 2004
  • In the manufacture progress of LCD or semiconductor, there are used many kinds of gas like erosion gas, dilution gas, toxic gas as a progress which used these gas there are required high puritize to increase accumulation rate of semiconductor or LCD materials work progress of semiconductor or LCD it demand many things like the material which could minimize metallic dust that could be occured by reaction between gas and transfer pipe laying material, illumination of the surface, emition of the gas, metal liquation, welding etc also demand quality geting stricted. Material-Low-sulfur-contend (0.007-0010), vacuum-arc-remelt(VAR), seamless, high-purity tubing material is recommend for enhance welding lower surface defect density All wetted stainless steel surface must be 316LSS elecrto polishinged with ${\leq}0.254{\mu}m$($10.0{\mu}in$) Ra average surface finish, $Cr/Fe{\geq}1.1$ and $Cr_2O_3$ thickness ${\geq}25{\AA}$ From the AES analytical the oxide layer thickness (23.5~36 angstroms silicon dioxide equivalent) and chromum to iron ratios is similar to those generally found on electropolished stainless steel., molybdenum and silicon contaminants ; elements characteristic of stainless steel (iron, nickel and chromium); and oxygen were found on the surface Phosphorus and nitrogen are common contaminants from the electropolish and passivation steps.

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국산 모시섬유의 침지조건에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study of Retting Conditions of Domestic Ramie Fiber)

  • 이전숙;최경은
    • 한국가정과학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.27-34
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    • 2003
  • We investigated the bacterial and chemical retting conditions of ramie grown in Hansan. Bacterial retting was done in troughs at a temperature of 30${\pm}$2$^{\circ}C$ for 1, 2, 3, 4, 5, 6 and 10 days. Chemical retting(CR) was done at the different conditions using sodium silicate (Na$_2$SiO$_3$), sodium carbonate(Na$_2$CO$_3$) and sodium hydroxide(NaOH) as alkali solutions. The retting solution was boiled during 1. 2, 4 and 6 hours respectively at the different concentration(0.5, 2.0, 4.0, 6.0. 8.0 %) with decorticated ramie stems submerged in it. The treated ramie was then rinsing with running tap water thoroughly, which was further soaker in 0.5% acetic acid (v/v) solution for three minutes and washed thoroughly with distilled water. Finally ramie was dried for 2 hours in vacuum oven at 100 $^{\circ}C$. To know change of ramie fiber characteristics retted at the different conditions, weight loss, fiber bundle strength were tested and color, texture, luster etc. were also sensually evaluated. The results were as follows. $.$ Weight loss of ramie retted in each alkali solutions were about 10%, 20% and 30% in sodium silicate, sodium carbonate and sodium hydroxide, respectively. $.$ Chemical retting was faster than bacterial retting, but the color of chemically retted ramies were worse than that of bacterially retted ramies. $.$ The combination of bacterial and chemical processing showed some merits. A combination of either 2 or 3 days of bacterial and then chemical retting might provide the best quality ramie. $.$ Ramie fiber became cottonized ramie when retted in 8% NaOH solution for 6-8hours.

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플라즈마 중합법에 의한 유기 감광체 박막의 제조와 광전도 특성 (Preparation and Photo Conducting Characteristics of Plasma Polymerized Organic Photorecepter)

  • 박구범
    • 전자공학회논문지T
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    • 제36T권3호
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    • pp.19-25
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    • 1999
  • 플라즈마 중합법과 dip-coating법에 의해 이층형 유기 감광체를 제조하였다. 알루미늄 기판위에 장벽 층으로 Al₂O₃막을 만들었고, 전하 생성층으로 H₂ phthalocyanine(H₂Pc)를, 전하 수송층으로는 Poly 9-Vinylcarbazole을 채택하여 CGL/CTL의 이층 구조가 되도록 하였다. 플라즈마 중합법과 진공 증착법에 의해 각각 H₂ phthalocyanine 박막을 제조하여 흡광 특성을 검토한 결과 진공 증착막의 경우 613.6[nm]와 694.8[㎚]에서 흡수 피크가 관찰되었으나 플라즈마 중합막에서는 600-700[㎚]사이에서 완만한 피크가 관찰되었다. PVCz막의 표면전위는 인가한 코로나 방전 전압과 PVCz의 두께가 증가함에 따라 증가하였고, 암 감 쇠 특성과 광 감쇠 시간 그리고 잔류 시간도 PVCz의 두께의 증가와 함께 증가하였다. 15[㎛] 두께의 PVCz의 표면 전하량을 계산한 결과, 인가 전위 -600[V]에서 134[nc/㎠]이었으며 H₂Pc의 전하 생성 효율은 0.034이었다.

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