Piezo Actuator를 이용한 초정밀 위치결정기구의 Computer Simulation 및 제어 성능평가 (Computer Simulation and Control performance evaluation of Ultra Precision Positioning Apparatus using Piezo Actuator)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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- pp.118-122
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- 2000