• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.11 no.2
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• pp.147-150
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• 1994

Ultra thin films of HDSM-CuPc(Tetra-3-hexadecylsulphamoylcopperphthalocya-nine) were formed on various substrates by Langmuir-Blodgett method, where HDSM-CuPc was synthesized by attaching long-chain alkylamine(hexa-decylamine) to CuPc. The reaction product was identified with FT- IR, UV-visible absorption spectroscopies, elemental analysis and thin layer chromatography. The formation of ultrathin films of HDSM-CuPc was confirmed by FT-IR and UV-visible spectroscpies.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2003.07a
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• pp.408-411
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• 2003

최근 활발하게 연구가 진행되고 있는 마이크로 인덕터는 자기 데이터 저장을 위한 헤드, 자기장 센서, 마이크로 변압기와 휴대폰의 수동 소자와 같은 다양한 분야에 이용되고 있다. 마이크로 인덕터를 제작하기 위해 UV-LIGA 공정을 개발하였다. 도금 공정을 이용하여 마이크로 인덕터의 철심과 구리선 제작하였다. 도금 공정을 위해 필요한 마이크로 몰드는 여러 종류의 thick photoresist를 이용하여 저응력 공정으로 제작하였다. 도금 공정을 이용하여 toroid형 마이크로 인덕터를 제작하였다. 도금 공정에서 발생 할 수 있는 응력을 최소화할 수 있는 공정을 개발하였다.

• Tribology and Lubricants
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• v.26 no.3
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• pp.167-174
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• 2010

An apparatus for measuring oil oxidation was developed, which is capable of being mounted to mechanical devices for detecting power of fluorescent light reflected from oil in real time as an indication of the oil oxidation. This device has an advantage over conventional fluorescence spectrometers where the thin film is required for the measurement. Clean and used oil samples (mineral and synthetic oils) were tested by the developed apparatus that calculates a fluorescence quantum yield and a light absorption coefficient of the oil based upon the signals from the two light-receiving members and evaluates the degree of oil oxidation of test oils based on the fluorescence quantum yield. Results generally show that the developed device is able to effectively evaluate oil oxidation characteristics on-site in the field.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.05c
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• pp.31-35
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• 2004

We propose driving method of Ultraviolet sensor for fire alarms using pulse width modulation that used to fire detector with sensor of private-use detectable light energy as ultraviolet in energy of electromagnetic-wave type radiate from flame, when combustible burn with contain carbon,. Ultraviolet sensor is UV Tron using gas multiplication effect to current discharge and photoelectric effect of metal. To have high sensibility and to gain proper output voltage, it has high responsive performance. This research designed driving circuit with UV sensors and proposed method of false alarm reduced to resemble fire. the result propers the prevention and extinction of fire technique degree, certificated operation of detector.

• Journal of the KSME
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• v.37 no.12
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• pp.47-52
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• 1997

엑사이머 레이저는 Ar, Kr, Xe등의 희귀가스와 F, Cl과 같은 할로겐족 가스를 혼합하여 방전여기에 의해 발진되는 157-350mm 파장대에 자외선 레이저이다. UV레이저를 이용하면 종래의 기계 가공 공정으로 실현할 수 없는 극소형 및 초정밀의 기계구조, 센서 또는 액츄에이터를 비접촉식으로 할 수 있고 가공시 열손상이 거의 없다. 최근 제품의 소형화 및 박막화 추세에 따른 미세가공 기술의 급속한 발전을 살펴보면, Uv레이저를 이용한 실리콘 표면의 도핑(dopping)에 관한 연구, 미소전자 패키징에 레이저를 이용하는 방법뿐만 아니라, 레이저 유도에 의한 금속과 혼합물의 물질전달 현상을 활용한 마이크로 패터닝에 관한 연구도 진행되고 있다. 본 글에서는 여러가지 응용분야 중 레이저 어블레이션, 레이저유도화학에칭, 레이저 PVD등에 대하여 기술한다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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• v.41 no.3
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• pp.39-44
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• 2004

Fiber Bragg grating sensors are fabricated by core index modulation using UV laser and phasemask. Bragg wavelength of the grating is changed by the external strain. In this paper, a signal processing system of fiber Bragg grating sensor has studied in the optical wavelength domain. The system is based on the sweep semiconductor light source that consists of SLD, F-P tunable filter and etalon filter. The hysteresis effects of PZT in the F-P tunable filter are compensated. The long term measurement stability is obtained by controlling the temperature of F-P tunable filter and the SLD. We compare the strain data from fiber Bragg grating sensor and that from strain gauge at concrete hume pipe. We also get very good results for the long gauge displacement using fiber Bragg grating sensor which are identical to the data with short gauge length ordinary displacement sensor.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.22 no.4
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• pp.83-89
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• 2015

In this paper, we propose a fabrication technique for enhanced electrical properties of piezoelectric thick films with excellent patterning property using sol-infiltration and a direct-patterning process. To achieve the needs of high-density and direct-patterning at a low sintering temperature (< $850^{\circ}C$), a photosensitive lead zirconate titanate (PZT) solution was infiltrated into a screen-printed thick film. The direct-patterned PZT films were clearly formed on a locally screen-printed thick film, using a photomask and UV light. Because UV light is scattered in the screen-printed thick film of a porous powder-based structure, there are needs to optimize the photosensitive PZT sol infiltration process for obtaining the enhanced properties of PZT thick film. By optimizing the concentration of the photosensitive PZT sol, UV irradiation time, and solvent developing time, the hybrid films prepared with 0.35 M of PZT sol, 4 min of UV irradiation and 15 sec solvent developing time, showed a very dense with a large grain size at a low sintering temperature of $800^{\circ}C$. It also illustrated enhanced electrical properties (remnant polarization, $P_r$, and coercive field, $E_c$). The $P_r$ value was over four times higher than those of the screen-printed films. These films integrated on silicon wafer substrate could give a potential of applications in micro-sensors and -actuators.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2015.07a
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• pp.866-867
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• 2015

화재 및 인명사고의 약 40%이상이 아크플래시사고로 인한 원인으로 밝혀지고 있다. 이에 아크 플래시 발생으로 인한 2차 사고 방지가 산업 경제적 측면에서 중요하다고 판단하여 본 연구에서는 초고속자외선 검출 시스템을 구현하였다. 아크 플래시 신호를 광파이버 포인트 센서 및 광섬유 루프센서를 이용하여 초고속 광검출 및 고속 신호처리 컨트롤러를 이용해 차단기 트립 개시 신호 출력까지 시간을 1.5ms 이내로 출력하는 것을 목표로 하였으며 테스트베드를 통해 구축한 시스템에서 아크 발생 후 소요시간 약 1ms의 트립 개시 신호를 출력하는 초고속 아크 검출 시스템을 개발하였다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2001.02a
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• pp.14-15
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• 2001

본 강좌에서는 광통신과 센서 분야에서 최근 실용화되고 있는 중요한 소자인 광섬유 격자(fiber grating)에 대해, 그 원리와 종류, 제작 방법, 시뮬레이션 기법, 광통신용 응용 및 광섬유 격자 센서 시스템의 구현 기법 등에 대해 설명한다. 별도로 제공되는 강의록에서 이에 대해 보다 구체적으로 기술할 것인 바, 그 요약은 아래와 같다. 광섬유에 굴절률 변화 패턴을 만들 수 있다는 사실은 1978년 Hill 등에 의해 발견되었고, 1989년 Meltz 등에 의해, 자외선(UV) 레이저를 광섬유 측면에 조사하여 광섬유 코어(core)의 특정 부위에 광섬유 격자를 만드는 방법이 고안되었다. 광섬유에 격자가 새겨지는 원인에 대한 이론은 여러 가지가 있고 이들이 복합적으로 작용하지만, 중요한 요인은 산소가 빠진 게르마늄과 관련된(oxygen deficient germania related) 결함이다. 따라서, 게르마늄(Ge)이 높게 도우핑(doping)된 광섬유에 격자가 잘 새겨진다. 보통의 단일 모드 광섬유도 수소처리(hydrogenation)를 하면 자외선에 대한 광민감성(photosensitivity)을 증가시킬 수 있어 격자의 제작이 가능하다. (중략)

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2000.07c
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• pp.1760-1762
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• 2000

본 논문은 기존의 $Si_{3}N_4$, SiN 물질 대신 Pt를 사용해 HF 용액속에서 다공질 실리콘과 전극을 동시에 형성하는 기술을 개발하였다. Pt를 실리콘 웨이퍼 위에 직접 증착한 후 습식 에칭과 Lift-off 공정을 사용하여 Pt를 패터닝하였다. 습식 에칭은 에칭용액의 온도를 일정하게 유지하는 것이 중요하며, 증착한 Pt 박막이 BOE 에칭에 견디고, Lift-off 공정이 가능하기 위해서는 기판온도를 l100$^{\circ}C$ 이하로 해야한다. Pt를 사용하면 기존의 mask에서 발생하는 가장자리 부분에서의 전류 집중이 방지되기 때문에 다공질 실리콘이 일정한 깊이로 형성되고, Al대신 오믹 전극으로 사용할 수 있다. 현재 Pt를 mask와 전극으로 이용한 P-I-N UV detector, 광 바이오센서, 습도센서 제작등에 응용 연구가 진행되고 있다.