Analysis of one- and two-dimensional boron distribution in implanted $BF_2$ silicon
(실리콘에 $BF_2$ 로 이온주입후에 Boron 이온의 일차원 및 이차원적인 분포해석)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2006.11a
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- pp.99-100
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- 2006