• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2000년도 춘계학술대회논문집B
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• pp.555-560
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• 2000

An experimental study on pumping characteristics of various turbo-type drag pumps is purformed. The inlet pressures are measured for various outlet pressures of the test pump. The maximum compression ratios for nitrogen are 100,000(Disk-type drag pump+ turbo molecular pump), 10000(Helical-type drag pump+turbo molecular pump), 850 (Helical-type drag pump), 100(disk-type drag pump).

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.102-102
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• 2011

인공위성이 임무를 수행하는 우주환경은 지상 환경과 달리 고진공 및 극저온의 극한환경으로 지상에서는 제대로 작동하는 것으로 관찰되더라도 우주환경에서는 예상하지 못한 기능장애를 일으켜 위성의 성능에 치명적인 영향을 미치기도 한다. 이에 10-5 torr 이하의 고진공과 -180$^{\circ}C$ 이하의 극저온 환경을지상에서 모사하여 위성체의 안정성 및 신뢰성을 시험한다. 시험에는 열진공챔버라고 불리는 우주환경모사기가 사용이 되며, 기본적으로 챔버 내부 진공형성이 중요하다. 우주환경의 모사를 위해 먼저 저진공펌프로 10-2 Torr 의 저진공을 형성한 후 Turbo-molecular pump 및 Cryopump를 이용하여 10-5 Torr 이하의 고진공을 형성하게 된다. 본 논문에서는 기존 우주환경모사기에 부착된 oil type rotary pump 및 구형 turbo-molecular pump의 교체 과정을 기술한다. 특히, 저진공펌프의 경우는 챔버 내부로의 oil 역류로 인한 오염 문제를 방지하기 위하여 dry type의 펌프가 설치되었다.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2011년도 제37회 추계학술대회논문집
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• pp.827-829
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• 2011

인공위성이나 우주발사체를 개발하기 위해서는 지상에서 우주환경 성능 시험이 필요하며 이를 위해서 고고도 환경을 모사할 수 있는 진공설비가 요구된다. 본 연구에서는 터보 분자 펌프를 이용하여 목표 진공도 $1.0{\times}10-6$ torr를 유지함으로써 200 km의 고도를 모사하기 위한 진공설비를 구축하고 터보 분자 펌프 장치를 구축하여 예비 진공도 성능 실험을 수행하고 보고하였다.

• Applied Science and Convergence Technology
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• 제24권2호
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• pp.27-32
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• 2015

We analyzed the destruction patterns of a turbo-molecular pump (TMP) resulting from its sudden exposure of a foreline to the atmospheric pressure due to a destruction of the foreline connecting clamp of an ICP dry etcher for 300 mm wafers during high-vacuum operation ($5{\times}10^{-6}$ Torr). Unlike in the case of view port's breakage, the TMP's rotor module was crashed inside the chamber. The primary damage resulted from the collision of the blades and stators, and the secondary damage resulted from the breaking of the rotor - driving shaft assembly. The fixing screws of the rotor and axial shaft were bent and broken when the TMP controller output the maximum current even after the crash event. Electrical power consumption analysis of the TMP power controller confirmed it. The stress distributions were analyzed by a finite element method using CFD-ACE+ multi physics software. Rotating inertia of each parts and kinetic energies were calculated as well. 68% of the rotational kinetic energy is deposited by the rotor - shaft module.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1993년도 제4회 학술발표회 논문개요집
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• pp.4-5
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• 1993

• 한국진공학회지
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• 제2권1호
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• pp.113-120
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• 1993

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2004년도 추계학술대회
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• pp.760-765
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• 2004

One of the obstacles for a magnetic bearing to be used in the wide range of industrial applications is the failure modes associated with magnetic bearings, which we don't expect for conventional passive bearings. These failure modes include electric power outage, power amplifier faults, position sensor faults, and the malfunction of controllers. Fault-tolerant magnetic bearing systems have been proposed so that the system can operate in spite of some faults in the system. In this paper, we designed and implemented a fault-tolerant magnetic bearing system for a turbo-molecular vacuum pump. The system can cope with the actuator/amplifier faults as well as the faults in position sensors, which are the two major fault modes in a magnetic bearing system.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회B
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• pp.2725-2730
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• 2007

Turbo-type molecular drag pumps ( MDPs ) are used in the liquid crystal display ( LCD ), semiconductor and other thin film industries. Siegbahn ( disk-type ) molecular drag pumps are used as high-pressure stages in the hybrid-type turbomolecular pumps, where they can operate in the viscous, the transition and the free molecular flow regime. In this study is performed to investigate the pumping characteristics of three-stage disk-type molecular drag pump ( DTDP ) in the molecular transition flow region. The experiments are measured using five vacuum pressure gauges in the positions for rotors of DTDP. The test is performed with nitrogen gas ( $N_2$ ).

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.59-60
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• 2007

• 한국진공학회지
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• 제10권3호
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• pp.312-320
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• 2001

$10^{-9}$ Pa 대의 진공을 얻기 위한 주 배기 펌프로서 Zr-V-Fe 합금계의 비증발성 게터 펌프를 제작하고, 실온에서 수소, 중수소 및 일산화탄소에 대한 NEG 펌프의 배기 속도를 측정하였으며 $450^{\circ}C$로 활성화하면서 수소 방출 특성을 조사하였다. 그리고 터보 분자펌프, 스퍼터 이온펌프 및 크라이오 펌프 등 다른 초고진공 펌프들로 배기하면서 용기 내의 잔류기체를 분석함으로써 이들 펌프 및 NEG 펌프의 배기 성능을 비교하였다.