Influence of Sputtering Condition on the Deposition Rate of Transition Metal Thin Film in RF Magnetron Sputtering (RF 마그네트론 스파터링에서 스파터링 조건이 천이금속 박막의 증착속도에 미치는 영향)
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- Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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- 1991.11a
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- pp.86-87
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- 1991