JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제1권2호
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pp.132-139
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2001
We considered the uniformity of fabricated micromirror arrays by characterizing the fabrication process and calculating the appropriate driving voltages of micromirrors used as virtual photomask in maskless photolithography. The uniformity of the micromirror array in terms of driving voltage and optical characteristics is adversely affected by factors, such as the air gap between the bottom electrode and the mirror plate, the spring shape and the deformation of the mirror plate or torsion spring. The thickness deviation of the photoresist sacrificial layer, the misalignment between mirror plate and bottom electrode, the aluminum deposition condition used to produce the spring and the mirror plate, and initial mirror deflection were identified as key factors. Their importance lies in the fact that they are related to air gap deviations under the mirror plate, asymmetric driving voltages in left and right mirror directions, and the deformation of the Al sring or mirror plate after removal of the sacrificial layer. The plasma ashing conditions used for removing the sacrificial layer also contributed to the deformation of the mirror plate and spring. Driving voltages were calculated for the pixel operation of the micromirror array, and the non-uniform characteristics of fabricated micromirrors were taken into consideration to improve driving performance reliability.
본 연구에서는 와핑과 두 단면중심의 불일치에 의해 발생하는 기하중심의 이 동을 고려한 등매개변수보요소를 개발하여 스프링단면의 응력해석을 수행하고 그 결과 를 다음과 같이 검증할 것이다.우선 본 연구에 사용된 보요소가 이 두 효과를 효과 적으로 표현하고 있는지를 확인하기 위해서 간단한 비틀림실험과 비교할 것이다. 또 한 2차원문제에 대해서 입체요소를 이용한 결과와 비교하고, 원통형 스프링모델의 해 석결과를 Nagaya의 해석결과와 비교함으로써 실제 스프링해석에 효과적으로 적용될 수 있음을 보일 것이다.
This paper presents a case study on the tribological failure analysis of a clutch system for a manual transmission car. The clutch systems are composed of clutch disk, clutch pressure plate, flywheel rubbing surface, coil and diaphragm springs, release bearing and lever, clutch spline and shaft. The purpose of a clutch system is to transmit and disconnect the driving power of engines by frictional farce from a rubbing surface of a flywheel to a clutch disk and clutch pressure plate with a minimum power loss. In this study, many tribological failure cases based on the wear phenomena and thermal distortions have been presented, which are collected from the car repair shop and maintenance center. The triboiogicai failures are mostly come from the driving conditions, overloading of a car, and especially driving style and personal habit of a car driver.
The influence of torsional rigidity of hinged flexible appendage on the linear dynamics of flexible spacecrafts with liquid on board was analyzed by considering the spacecraft's main body as a rigid tank, its flexible appendages as two elastically supported elastic beams, and the onboard liquid as an ideal liquid. The meniscus of the liquid free surface due to surface tension was considered. Using the Lagrangian of the spacecraft's main body (rigid tank), onboard liquid, and two beams (flexible appendages) in addition to assuming the system moved symmetrically, the coupled system frequency equations were obtained by applying the Rayleigh-Ritz method. The influence of the torsional rigidity of the flexible appendages on the spacecraft's coupled vibration characteristics was primary focus of investigation. It was found that coupled vibration modes especially that of appendage considerably changed with torsion spring parameter ${\kappa}_t$ of the flexible appendage. In addition, variation of the main body displacement with system parameters was investigated.
Recently, there are a number of studies over dynamic analysis for minimizing vibration of flexible structures such as solar panel for agility of high-agility satellite. The traditional studies perform dynamic analysis of a solar panel assumed as rigid structure since the stiffness of solar panel is higher than the stiffness of solar panel's hinge spring. However, there are vibrations that have modes of bending and torsion when high-agility satellite rotate speedily. This vibrations result in delaying safety time of satellite or degrading image quality. This paper presents dynamic analysis's technique of satellites including the spring hinge of solar panel and flexible structural solar panel's effects described as the linear equation of motion using Lagrange's theorem, and verifies the validity of an established dynamic analysis's technique of satellites by comparing the finite element method. In addition high-agility satellite's dynamic characteristics of a torque profile are analyzed from the established dynamic analysis's technique of satellites.
한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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pp.564-568
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2006
Smooth picture module is operated by vibration to tilt the light from the DMD (digital micro mirror device) of DLP projection TV, which makes the screen of the TV smoother and DMD chip cost lower. To satisfy the vibration characteristics of smooth picture module, it is designed by optimizing moment of inertia, spring constant and damping coefficient, using structural and fluid dynamic simulation that showed a good agreement with experimental data. To reduce the material cost and moment of inertia, engineering plastic is used and the reliability is estimated. A VCM (voice coil motor) type actuator for smooth picture has to satisfy performance requirements such as higher driving force, lower power consumption, and lower cost. The initial design and optimization for VCM was performed using FE analysis. It allowed us to optimize the design of magnetic circuit of the proposed actuator to obtain higher force while maintaining a lower cost.
In this study, we fabricated Al mirror driven by electromagnetic force. Because the mirror has Ni staple joint, it reduces the deflection angle of torsion spring for the maximum deflection of mirror. Therefore the magnetic field for maximum deflection can be reduced, By additional electrostatic force, the deflection angle of mirror plate can be increased to $90^{\circ}$. The fabricated mirror is actuated by electromagnetic force of a simple solenoid. The maximum deflection angle by magnetic field is about $86^{\circ}$ with $1.2{\times}10^4$ A/m.
A numerical method is presented for the dynamic analysis of military tracked vehicles of high mobility. To compute the impulsive dynamic contact forces which occur when a vehicle passes on a ground obstacle, the track is modeled as the combination of elastic links interconected by pin joints. The mass of each track link, the elastic elongation of a track link between pin joints by the track tension, and the elastic spring effects on the upper and lower surfaces of each track link have been considered in the equations of motion. And the chassis, torsion bar arms, and road wheels of the vehicle are modeled as the rigid multi bodies connected with kinematic constraints. The contact positions and the contact forces between the road wheels and track, and the ground and the the track are simultaneously computed with the solution of the equations of motions of the vehicle consisting of the multibodies. The iterative scheme for the solution of the multi body dynamics of the tracked vehicle is presented and the numerical simulations are conducted.
In this study, three dimensional(3-D) orifice model was developed fur automobile trunk hinge. Using that model the flow analysis was conducted to estimate pressure tendency of orifice model according to the variations in the design factors such as oil viscosity and orifice size.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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