• 제목/요약/키워드: Ti substrate

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서미스터로의 응용을 위한 La0.7Sr0.3MnO3 박막의 구조적, 전기적 특성 (Structural and Electrical Properties of La0.7Sr0.3MnO3 Thin Films for Thermistor Applications)

  • 임정은;박병준;이삼행;이명규;박주석;김병철;김영곤;이성갑
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제35권5호
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    • pp.499-503
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    • 2022
  • La0.7Sr0.3MnO3 precursor solution were prepared by a sol-gel method. La0.7Sr0.3MnO3 thin films were fabricated by a spin-coating method on a Pt/Ti/SiO2/Si substrate. Structural and electrical properties with the variation of sintering temperature were measured. All specimens exhibited a polycrystalline orthorhombic crystal structure, and the average thickness of the specimens coated 6 times decreased from about 427 nm to 383 nm as the sintering temperature increased from 740℃ to 830℃. Electrical resistance decreased as the sintering temperature increased. In the La0.7Sr0.3MnO3 thin films sintered at 830℃, electrical resistivity, TCR, B-value, and activation energy were 0.0374 mΩ·cm, 0.316%/℃, 296 K and 0.023 eV, respectively.

서미스터 소자로의 응용을 위한 솔-젤법으로 제작한 (La0.7Sr0.3)(Mn1-xFex)O3 박막의 구조적, 전기적 특성 (Structural and Electrical Properties of (La0.7Sr0.3)(Mn1-xFex)O3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method for Thermistor Devices)

  • 육지수;이삼행;이명규;박주석;김영곤;이성갑
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제37권2호
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    • pp.164-168
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    • 2024
  • (La0.7Sr0.3)(Mn1-xFex)O3 (LSMFO) (x = 0.03, 0.06, 0.09, 0.12) precursor solution are prepared by sol-gel method. LSMFO thin films are fabricated by the spin-coating method on Pt/Ti/SiO2/Si substrate, and the sintering temperature and time are 800℃ and 1 hr, respectively. The average thickness of the 6-times coated LSMFO films is about 181 to 190 nm and average grain size is about 18 to 20 nm. As the amount of Fe added in the LSMFO thin film increased, the resistivity decreased, and the TCR and B25/65-value increased. Electrical resistivity, TCR and B25/65-value of the (La0.7Sr0.3)(Mn0.88Fe0.12)O3 thin film are 0.0136 mΩ-cm, 0.358%/℃, and 328 K at room temperature, respectively. The resistivity properties of LSMFO thin films matched well with Mott's VRH model.

안경렌즈코팅용 소형 Sputter Coating System 설계 및 제작에 관한 연구 (Design and Fabrication of Sputter Coating System for Ophthalmic Lens)

  • 박문찬;정부영;김응순;이종근;주경복;문희성
    • 한국안광학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.53-58
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    • 2008
  • 목적: 안경렌즈용 소형 suptter coating system을 설계하고 제작하고자 한다. 방법: sputter system의 target 설계에 있어서 Essential Macleod thinfilm design software를 이용해 AR 코팅과 mirror 코팅이 동시에 설계 가능한 Si target 을 결정하였으며. 그 후 sputtering 장비를 제작하였다. 결과: $SiO_2$$Si_3N_4$의 5층 박막으로 구성되는 AR 코팅의 최적조건은 [air|$SiO_2$(81.3)|$Si_3N_4$(102)|$SiO_2$(19.21)|$Si_3N_4$(15.95)| $SiO_2$(102)|glass] 이였다. Mirror 코팅의 경우, blue color 코팅의 최적조건은 [air|$SiO_2$(56.61)|$Si_3N_4$(135.86)|$SiO_2$(67.64)| $Si_3N_4$(55.4)|$SiO_2$ (53.53)|$Si_3N_4$(51.28)|glass] 이고, green color 코팅의 최적조건은 [air|$SiO_2$(66.2)|$Si_3N_4$(22.76)|$SiO_2$(56.58)| $Si_3N_4$(140.35) |$SiO_2$(152.35)|$Si_3N_4$(70.16)|$SiO_2$(121.87)|glass] 이였으며, gold color 코팅의 최적조건은 [air|$SiO_2$(83.59)|$Si_3N_4$(144.86) |$SiO_2$(11.82)|$Si_3N_4$(129.93)|$SiO_2$(90.01)|$Si_3N_4$(88.37)|glass] 이였다. 결론: 코팅 시간을 줄여 안경단가를 줄이기 위하여 안경렌즈 코팅 시 렌즈의 전 후면을 동시에 코팅을 해야 하기 때문에 sputtering장비 설계를 할 때 안경렌즈 전면과 후면에 동일하게 Si target을 갖춘 cathode를 사용하였고, 렌즈의 곡률을 고려하여 각 층이 동일하게 코팅이 되어야 하기 때문에 target-substrate 간의 간격은 12.5 cm에서 20 cm로 가변할 수 있도록 설계하고 제작하였다. 고품질의 안경렌즈 코팅을 위하여 고진공 펌프로 turbo pump를 이용하였으며, 코팅박막의 균일함을 얻기 위해서 치구를 회전할 수 있도록 설계하고 제작하였다.

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건어육(乾魚肉) 저장(貯藏)중의 단백질(蛋白質) 소화율(消化率) 저하요인(低下要因) (Factors Influencing on the Drop of in vitro Protein Digestibility in Dried Fish Meat)

  • 김상애;이강호;류홍수
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.45-55
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    • 1986
  • 우리나라에서 건제품(乾製品)으로 많이 이용되고 있는 갈치와 가자미의 건조(乾燥) 및 저장시(貯藏時) 일어나는 지질(脂質) 및 산화지질(酸化脂質)과 단백질(蛋白質)과의 반응(反應)이 이들 어육(魚肉)의 in vitro protein digestibility저하(低下)에 미치는 영향과 이에 수반되는 available lysine의 불용화(不溶化) 및 효소(酵素) 불소화성(不消化性) 물질(物質) 생성(生成) 정도의 변화를 실험한 결과는 다음과 같다. 가자미 및 갈치 생시료(生試料)의 소화율(消化率)은 87.63, 86.08%이었고, 일건(日乾), 열건시료(熱乾試料)는 건조(乾燥) 중 $1{\sim}2%$정도 저하(低下)되었으나 탈지시료(脫脂試料)는 각각 89.15, 87.15%로 증가하였다. 저장(貯藏) 중의 소화율(消化率)은 모든 시료(試料)에서 저하(低下)되었고 특히 갈치 열건시료(熱乾試料)는 78.00%로 심한 감소를 나타내었다. TIS함량은 생시료(生試料)에서 가자미, 갈치가 각각 0.88, 0.96mg/g solid이었으며, 탈지시료(脫脂試料)는 건조(乾燥) 및 저장(貯藏) 중 TIS함량의 증가가 적었고 소화율(消化率)은 높게 나타났다. VBN 및 PoV는 저장 10일에 저장초기의 2배(倍)정도로 증가하였고, 저장 30일에는 급격히 감소되었다. 갈변물질(褐變物質)의 형성은 저장기간이 증가함에 따라 증가되었다. 가자미 및 갈치 지질(脂質)의 주요(主要) 구성지방산(構成脂肪酸)은 $C_{18:1},\;C_{16:0},\;C_{22:6}\;C_{16:1}$등이었으며 총불포화지방산(總不飽和脂肪酸)함량은 가자미 79.2%, 갈치 67.8%이었고 저장 중 포화지방산(飽和脂肪酸)이 증가하고 불포화지방산(不飽和脂肪酸)이 감소하는 경향을 보였다. Available lysine은 갈치가 가자미보다 많았으며 저장 30일에는 저장초기량의 8.23%가 각각 손실되었다. 이상에서 수산단백식품(水産蛋白食品)은 건조(乾燥) 저장(貯藏) 중 산화지질(酸化脂質)과의 반응(反應)으로 단백질(蛋白質)의 양적(量的) 손실(損失)을 초래하였고, 비효소(非酵素)적 갈변(褐變), 지질일단백질(脂質一蛋白質)의 불용성(不溶性) 복합체(複合體) 형성(形成), available lysine의 불용화(不溶化), TIS의 생성(生成), 어육(魚肉)내의 구성지방산(構成脂肪酸)과 아미노산의 변화(變化)로 in vitro protein digestibility 저하(低下)를 비롯하여 어육(魚肉)의 갈변(褐變), 풍미손상(風味損傷) 및 영양가손실(營養價損失)등의 어육(魚肉)의 품질저하(品質低下)를 초래하는 주요인(主要因)으로 분석되었다.

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