전자빔 경사증착을 이용한 $SiO_x$ 박막의 프리틸트각 제어
(Control of pretilt angles on $SiO_x$ Thin Film by Electron Beam Evaporation Method)
-
- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
- /
- pp.311-312
- /
- 2005