산소 분압비에 따른 $TiO_2$ 박막의 특성평가
(The properties of $TiO_2$ thin films by oxygen partial pressure)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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- pp.154-157
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- 2003