• 제목/요약/키워드: Temperature Sensor Array

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LTCC 기술을 이용한 MEMS 소자 진공 패키징 (Vacuum Packaging of MEMS (Microelectromechanical System) Devices using LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramic) Technology)

  • 전종인;최혜정;김광성;이영범;김무영;임채임;황건탁;문제도;최원재
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.31-38
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    • 2003
  • MEMS 소자는 현재의 전자산업환경에서 여러 요구조건을 만족시킬 수 있는 특징을 갖추고 있으며 이러한 MEMS 소자를 이용한 MEMS 구조물의 packaging 방법에 있어서는 내부 MEMS 소자의 동작을 위한 외부 환경으로부터의 보호를 위하여 Hermetic sealing에 대한 요구를 충분히 만족시켜야 한다. 본 논문에서는 이와 같은 MEMS device의 진공 패키지를 구현함에 있어서 기판내부에 수동소자를 실장할 수 있는 LTCC 기술$^{1)}$ 을 이용하여 진공 패키징하는 방법에 대하여 소개한다. 본 기술을 이용하는 경우 기존의 Hermetic sealing이외에 향후 적층 기판 내부에 수동소자를 내장시켜 배선 길이 및 노이즈 성분을 감소시켜 더욱 전기적 성능을 향상시킬 수 있는 장점이 있게된다. 본 논문에서는 LTCC기판을 이용하여 패키징 시킨 후, 내부 진공도에 영향을 줄 수 있는 계면들에서의 시간에 따른 진공도 변화로부터 leakage rate를 측정 (stacked via : $4.1{\pm}1.11{\times}10^{-12}$/Torr1/sec, LTCC 기판/AgPd/solder/Cu의 여러 가지 계면구조: $3.4{\pm}0.33{\times}10^{-12}$/ Torrl/sec)하여 LTCC 기판의 Hermetic sealing 특성에 관하여 조사하였다. 실제 적용의 한 예로 LTCC 기술을 이용하여 Bolometer를 성공적으로 진공패키징할 수 있었으며 실제 관찰된 이미지를 함께 소개한다.

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휴대용 전자 후각 장치에서 다채널 마이크로 센서 신호의 영상 정합을 이용한 가스 인식 (Vapor Recognition Using Image Matching of Micro-Array Sensor Response from Portable Electronic Nose)

  • 양윤석
    • 전자공학회논문지SC
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    • 제48권2호
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    • pp.64-70
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    • 2011
  • 휴대용 인공 전자 후각 시스템 (E-nose)의 가스 측정 환경은 실험실 내의 정교하게 제어되는 환경과 달리 온도, 농도, 기체 시료의 유속 등의 외부 요인의 변동이 매우 심하다. 이런 환경에서도 사용 가능한 단순하고 강인하고 정확한 가스 패턴 인식 알고리듬의 개발은 마이크로 바이오 센서의 발달과 함께 확대되고 있는 휴대용 및 소형 측정 진단 시스템에 있어 매우 중요하다. 본 연구에서는 PDA 기반의 휴대용 전자 후각 시스템을 활용해 실제 변화하는 환경에서 다채널 마이크로 센서로부터 감지되는 가스 신호를 수집하고, 여기에 영상 정합 기법을 적용하여 알고리듬의 강인성과 향상된 정확도를 검증하는 것을 목표로 하였다. 제안된 방법을 6종류의 가스 시료에 대한 7채널 마이크로 센서의 휴대 환경 측정 데이터에 적용하고, 기존의 최대 민감도 특징 추출 기법과 비교한 결과, 외부 환경의 변동에 영향 받지 않는 안정된 인식 성능 뿐 아니라 기존의 방법으로 구별하기 어렵던 2 종의 유사한 가스 시료에 대해서도 정확한 구분이 가능함을 보였다. 제안된 방법은 다양한 환경 변화에 노출되는 유비쿼터스 센서 네트워크 (USN)의 데이터 처리에도 쉽게 응용될 수 있을 것이며, 응용 현장에서 높은 안정성과 정확성을 요구하는 휴대용 의료 진단, 환경 감지 기술의 실용화에 큰 도움을 줄 수 있을 것으로 기대한다.

Detection Method for Bean Cotyledon Locations under Vinyl Mulch Using Multiple Infrared Sensors

  • Lee, Kyou-Seung;Cho, Yong-jin;Lee, Dong-Hoon
    • Journal of Biosystems Engineering
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    • 제41권3호
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    • pp.263-272
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    • 2016
  • Purpose: Pulse crop damage due to wild birds is a serious problem, to the extent that the rate of damage during the period of time between seeding and the stage of cotyledon reaches 45.4% on average. This study investigated a method of fundamentally blocking birds from eating crops by conducting vinyl mulching after seeding and identifying the growing locations for beans to perform punching. Methods: Infrared (IR) sensors that could measure the temperature without contact were used to recognize the locations of soybean cotyledons below vinyl mulch. To expand the measurable range, 10 IR sensors were arranged in a linear array. A sliding mechanical device was used to reconstruct the two-dimensional spatial variance information of targets. Spatial interpolation was applied to the two-dimensional temperature distribution information measured in real time to improve the resolution of the bean coleoptile locations. The temperature distributions above the vinyl mulch for five species of soybeans over a period of six days from the appearance of the cotyledon stage were analyzed. Results: During the experimental period, cases where bean cotyledons did and did not come into contact with the bottom of the vinyl mulch were both observed, and depended on the degree of growth of the bean cotyledons. Although the locations of bean cotyledons could be estimated through temperature distribution analyses in cases where they came into contact with the bottom of the vinyl mulch, this estimation showed somewhat large errors according to the time that had passed after the cotyledon stage. The detection results were similar for similar types of crops. Thus, this method could be applied to crops with similar growth patterns. According to the results of 360 experiments that were conducted (five species of bean ${\times}$ six days ${\times}$ four speed levels ${\times}$ three repetitions), the location detection performance had an accuracy of 36.9%, and the range of location errors was 0-4.9 cm (RMSE = 3.1 cm). During a period of 3-5 days after the cotyledon stage, the location detection performance had an accuracy of 59% (RMSE = 3.9 cm). Conclusions: In the present study, to fundamentally solve the problem of damage to beans from birds in the early stage after seeding, a working method was proposed in which punching is carried out after seeding, thereby breaking away from the existing method in which seeding is carried out after punching. Methods for the accurate detection of soybean growing locations were studied to allow punching to promote the continuous growth of soybeans that had reached the cotyledon stage. Through experiments using multiple IR sensors and a sliding mechanical device, it was found that the locations of the crop could be partially identified 3-5 days after reaching the cotyledon stage regardless of the kind of pulse crop. It can be concluded that additional studies of robust detection methods considering environmental factors and factors for crop growth are necessary.

수열합성법으로 합성된 산화구리 나노막대의 일산화질소 가스 감지 특성 (Nitrogen Monoxide Gas Sensing Properties of CuO Nanorods Synthesized by a Hydrothermal Method)

  • 박수정;김효진;김도진
    • 한국재료학회지
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    • 제24권1호
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    • pp.19-24
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    • 2014
  • We report the nitrogen monoxide (NO) gas sensing properties of p-type CuO-nanorod-based gas sensors. We synthesized the p-type CuO nanorods with breadth of about 30 nm and length of about 330 nm by a hydrothermal method using an as-deposited CuO seed layer prepared on a $Si/SiO_2$ substrate by the sputtering method. We fabricated polycrystalline CuO nanorod arrays at $80^{\circ}C$ under the hydrothermal condition of 1:1 morality ratio between copper nitrate trihydrate [$Cu(NO_2)_2{\cdot}3H_2O$] and hexamethylenetetramine ($C_6H_{12}N_4$). Structural characterizations revealed that we prepared the pure CuO nanorod array of a monoclinic crystalline structure without any obvious formation of secondary phase. It was found from the gas sensing measurements that the p-type CuO nanorod gas sensors exhibited a maximum sensitivity to NO gas in dry air at an operating temperature as low as $200^{\circ}C$. We also found that these CuO nanorod gas sensors showed reversible and reliable electrical response to NO gas at a range of operating temperatures. These results would indicate some potential applications of the p-type semiconductor CuO nanorods as promising sensing materials for gas sensors, including various types of p-n junction gas sensors.

태평양 Argo 자료의 지연모드 품질관리 및 검증연구 (Delayed Mode Quality Control of Argo Data and Its Verification in the Pacific Ocean)

  • 양준용;강성윤;고우진;서영상;서장원;석문식
    • 한국환경과학회지
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    • 제17권12호
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    • pp.1353-1361
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    • 2008
  • Quality control of Argo(Array for Real-time Geostrophic Oceanography) data is crucial by reason that salinity measurements are liable to experience some drift and offset due to biofouling, contamination of sensor and wash-out of biocide. The automated Argo real-time quality control has a limit of sorting data quality, so that WJO program is adopted as standardized method of Argo delayed mode quality control (DMQc) in the world that is a precise quality control method. We conducted DMQC on pressure, temperature and salinity measured by Argo floats in the Pacific Ocean including expert evaluation. Particularly, salinity data were corrected using WJO program. 4 salinity profiles of Argo delayed mode were compared with nearby in situ CTD data and other Argo data in deep layer where oceanographic conditions are stable in time and space. The differences of both salinities were lower than target accuracy of Argo. As compared with the difference of salinities before DMQC, those after DMQC decreased by 60-80 percent. Quality of delayed mode salinity data seemed to be improved correcting salinity data suggested by WJO program.

The design of a scintillation system based on SiPMs integrated with gain correction functionality

  • Lin, Zhenhua;Hautefeuille, Benoit;Jung, Sung-Hee;Moon, Jinho;Park, Jang-Guen
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제52권1호
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    • pp.164-169
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    • 2020
  • Use of SiPM has been considered as an alternative to PMT, because of its compact size, low-operating voltage, non-sensitive to electromagnetic, low costs and so on. The main limitation for the use of SiPM is due to its small sensitive area compared to PMT that limits the light collection, and therefore the sensor energy resolution. In this article we studied the effect of increasing the number of SiPM by connecting them in parallel to increase the active detection area. This allowed us to compare the different energy resolution measurements. 137Cs has been selected as reference to study the energy resolution for 662 keV gamma-rays. Another investigation was to compare the minimum detectable gamma energy under various SiPM configurations. It has been found that the use of 4 SiPM arrays can greatly improve the energy resolution up to 4% than only one SiPM array, meanwhile use of more than 2 SiPM arrays does not increase the energy resolution significantly. Thus we can conclude that for a large area of cylindrical scintillator (3 × 3 inches), the use of SiPMs are limited to a certain number or certai active area depending on the commercial SiPMs, and its cost should be less than traditional PMT for the cost-effective and compact size considerations. It is well known that the gain of SiPM varies with temperature. In this article, we also calibrated gain to guarantee the same position of photoelectric peak in response of different temperatures.

p-i-n 구조의 InSb 웨이퍼를 이용한 적외선 광다이오드의 제조 및 그 특성 (Fabrication and Characteristics of Infrared Photodiode Using Insb Wafer with p-i-n Structure)

  • 조준영;김종석;손승현;이종현;최시영
    • 센서학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.239-246
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    • 1999
  • MOCVD로 성장된 p-i-n 구조의 InSb 웨이퍼를 이용하여 $3{\sim}5\;{\mu}m$ 영역의 적외선을 감지할 수 는 고감도 광기전력 형태의 적외선 광다이오드를 제조하였다. InSb는 녹는점과 표면원자들의 증발온도가 낮기 때문에 광다이오드의 접합계면과 표면의 절연보호막으로 $SiO_2$ 박막을 원격 PECVD를 이용하여 성장시켰다. 광다이오드의 저항성 접촉을 위해 In을 증착하였고 77K의 암상태에서 전류-전압 특성을 조사하였다. 영전위 저항과 수광면적의 적($R_0A$)이 $1.56{\times}10^6\;{\Omega}{\cdot}cm^2$의 높은 값을 가졌는데 이는 BLIP 조건을 만족하는 높은 값이었다. InSb 광다이오드에 적외선을 입사 했을때 $10^{11}\;cm{\cdot}Hz^{1/2}{\cdot}W^{-1}$의 매우 높은 정규화된 검지도를 나타내었다. 높은 양자효율과 검지도로 인해 제조된 InSb 적외선 단위 셀을 적외선 array에 그 적용이 가능할 것으로 보인다.

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휠체어 추진속도 및 등받이 경사각도에 따른 둔부 압력 변화 특성 (Characteristics of the Buttock Interface Pressure According to Wheelchair Propulsion Speed and Various Back Reclined Seating Position)

  • 권혁철;공진용
    • 한국전문물리치료학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.1-10
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    • 2005
  • Pressure ulcers are serious complications of tissue damage that can develop in patients with diminished pain sensation and diminished mobility. Pressure ulcers can result in irreversible tissue damage caused by ischemia resulting from external loading. There are many intrinsic and extrinsic contributors to the problem, including interface tissue pressure, shear, temperature, moisture, hygiene, nutrition, tissue tolerance, sensory and motor dysfunction, disease and infection, posture, and body support systems. The purposes of this study were to investigate the relationship between buttock interface pressure and seating position, wheelchair propulsion speed. Seated-interface pressure was measured using the Force Sensing Array pressure mapping system. Twenty subjects propelled wheelchair handrim on a motor-driven treadmill at different velocities (40, 60, 80 m/min) and seating position used recline ($100^{\circ}$, $110^{\circ}$, $120^{\circ}$) with a wheelchair simulator. Interface pressure consists of average (mean of the pressure sensor values) and maximum pressure (highest individual sensor value). The results of this study were as follows; No significant correlation in maximum/average pressure was found between a static position and a 40 m/min wheelchair propulsion (p>.05). However, a significant increase in maximum/average pressure were identified between conditions of a static position and 60 m/min, and 80 m/min wheelchair propulsion (p<.05). No significant correlation in maximum pressure were found between a $90^{\circ}$ recline (neutral position) and a $100^{\circ}$, $110^{\circ}$, or $120^{\circ}$ recline of the wheelchair back (p>.05). No significant difference in average pressure was found between conditions of a $90^{\circ}$ recline and both a $100^{\circ}$ and $110^{\circ}$ recline of wheelchair back. However, a significant reduction in average pressure was identified between conditions of a $90^{\circ}$ and $120^{\circ}$ recline of wheelchair back (p<.05). This study has shown some interesting results that reclining the seat by $120^{\circ}$ reduced average interface pressure, including the reduction or prevention in edema. And interface pressure was greater during dynamic wheelchair propulsion compared with static seating. Therefore, the optimal seating position and seating system ought to provide postural control and pressure relief. We need an education on optimal seating position and a suitable propulsion speeds for wheelchair users.

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휘발성 유기 화합물 가스 측정을 위한 전도성 고분자 센서의 제조(製造) 및 감응(感應) 특성(特性) (The fabrication and sensing characteristics of conducting polymer sensors for Measurement of VOCs (Volatile organic compounds) gas)

  • 백지흠;황하룡;노진규;허증수;이덕동;임정옥;변형기
    • 센서학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.125-133
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    • 2001
  • 전도성 고분자 센서 (Conducting polymer sensors)는 상온에서 휘발성 유기 화합물 가스 (Volitile organic compounds gases)에 대해 감도를 가지고 있다. 화학 중합으로 제조된 전도성고분자인 polypyrrole과 polyaniline로 이루어진 8개의 센서 어레이를 이용하여 VOCs 가스에 대한 감응 특성을 살펴보았다. 화학 중합으로 합성된 각 센서들은 증류된 pyrrole, aniline과 dopant로 dodecylbenzene sulfonic acid (DBSA)와 산화제로 ammonium persulfate (APS) 그리고 증류수를 이용하여 제조되었으며, 각 센서들의 특성 부여를 위해 redoping과 dedoping은 전기화합법을 이용하여 제조하였다. Dedoping 법은 전압을 반대로 걸어주어 처음 첨가된 dopant를 전해질 속으로 빼냈으며, redoping법은 1-octanesulfonic acid sodium salt를 화합중합으로 형성된 막에 다시 첨가 시켰다. 감도와 가역성은 doping, dedoping, redoping 그리고 두께에 따라 영향을 받는다는 것을 알 수 있었다. 이들 전도성 고분자의 구조와 감도와의 관계를 scanning electron microscope (SEM), scanning probe microscope (SPM) 그리고 $\alpha$-step을 사용하여 조사하였다.

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SSBL 방식과 핑거동기 방식을 조합한 바이오텔레메터리 방식의 개발 (1) -시스템의 설계 및 제작 - (Development of Biotelemetry Method by Combining the SSBL Method and the Pinger Synchronizing Method (1) - Design and production of system -)

  • 박주삼;고탁창언
    • 수산해양기술연구
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    • 제39권3호
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    • pp.218-229
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    • 2003
  • 이상의 연구 성과를 정리하면 다음과 같다. 1) 장비의 설치 및 취급이 간편하고, 해양생물의 순간적인 상세한 행동을 비교적 쉽게 추적할 수 있는 새로운 바이오텔레메터리 방식을 개발하였다. 바이오텔레메터리 방식에서 핑거에 수온, 압력센서 등의 추가는 핑거를 부착하는 어류에 많은 부담이 되기 때문에 수신계를 고도화함으로써 행동추적을 행하는 방법으로 하였다. 이 방식은 거리-방위의 측정원리를 이용한다. 즉, 거리를 계측하기 위해서 핑거동기 방식을 이용하고, 방위를 계측하기 위해서 SSBL방식을 채용하여, 거리와 방위를 조합(SPB 방식)함으로서 대상어의 수파기에 대한 상대위치를 구한다. 최대감도방식은 어류의 상세한 위치를 특정하기가 어렵고, 음원측위방식은 항주하는 선박에 의해 넓은 범위의 추적이 곤란하며, 또한 장비의 설치나 취급이 간편하지 못하였으나, SPB 방식에 의해 이들 결점을 대폭 해결할 수 있었다. 2) 새로운 방식으로서 개발한 SPB 방식의 시스템을 설계하였으며, 시작시스템을 제작하였다. 설계에서는 SSBL 방식과 핑거동기 방식의 기술을 조합함과 동시에 각각의 기술을 고도화하여 SPB 방식에 의해 고정도 또는 광범위 검지가 가능하도록 하였다. 따라서, 수파기는 1개로 하여 어레이의 구성의 변환에 의해 검지범위 또는 방위측정정도를 선택할 수 있도록 2개의 빔 모드로 구성 하였다. 주파수는 70kHz로 하였으며, 음원음압 136dB에서 최대검지거리 258m와 457m, 검지빔폭 76$\circ$와 29$\circ$ 를 실현할 수 있었다. 전체적인 시작시스템은 핑거, 2개의 빔모드로 구성된 수파기, 2개의 빔 모드용에 각 2개의 채널로 구성된 수신기, 디지털오실로스코프, 퍼스널컴퓨터로 구축하였다. 핑거동기 방식의 이용에 따른 측정거리오차는 수온변화에 의한 송신주기의 변화를 측정하여 최소화하도록 하였다. 핑거 부근의 수온을 알 수 있다면 핑거 송신주기의 수온특성을 보정하여 74%정도 측정거리오차를 줄일 수 있지만, 장기간에 걸쳐 추적을 하기 위해서는 다른 보정방법의 개발이 필요함을 알 수 있었다.