• 한국전자파학회:학술대회논문집
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• 한국전자파학회 2002년도 종합학술발표회 논문집 Vol.12 No.1
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• pp.3-6
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• 2002

In this paper, Thin film bulk acoustic resonate.(TFBAR) fillers tuned by gold plated on-wafer inductors are presented. The air-gap type TEBAR is used with aluminum nitride(AIN) as piezoelectric material and platinum as top and bottom electrodes. Inductor equivalent model and modified Butterworth-Van Dyke(MBVD) model are employed for the frequency tuning of fabricated TFBAR bandpass filters. Fabricated inductor has inductance of 3 nH and Q factor of about 8 at 2 ㎓. It is clearly revealed that inductor tuning can enhance the bandwidth of ladder filters and improve out-of-band rejection characteristic around 10㏈.

• 한국전자파학회:학술대회논문집
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• 한국전자파학회 2003년도 종합학술발표회 논문집 Vol.13 No.1
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• pp.173-177
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• 2003

In this paper, a new modeling methodology of thin film bulk acoustic resonate. (TFBAR) is presented. The new model is started from the Mason model that is a good model to explain the physical characteristics of TFBAR. After simplifying the modified Mason model added dielectric loss term to conventional Mason model, the improved Modified Butterworth-Van Dyke (MBVD) model similar to conventional MBVD model is complete. The proposed model has three optimization variables those are half of the MBVD model. As a result, the curve fittings for the measured data are faster and smarter than any other model.

• 한국전자파학회논문지
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• 제15권1호
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• pp.103-109
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• 2004

본 논문에서는 박막공진기에 대한 새로운 모델링 기법을 제안하고, 등가회로를 이루고 있는 각 수동소자들 값에 대한 정확한 공식을 소개하였다. 제안된 새로운 모델은 박막공진기의 물리적 수직 구조 특성을 잘 표현하고 있는 Mason모델에 대해 유전체 손실을 표현할 수 있는 저항 성분을 추가한 뒤, 임피던스 특성을 기반으로 한 단순화 과정을 통해 유도되었다. 제안된 모델은 기존의 Modified Butterworth-Van Dyke(MBVD) 모델과 비슷한 형태로 표현되지만 최적화 변수가 3개에 불과하기 때문에 측정값에 대한 훨씬 정확하고 빠른 커브 피팅(curve fitting)을 수행 할 수 있으며, 공진주파수나 반공진주파수와 같은 설계자의 의도를 반영 할 수 있는 변수들로 구성되기 때문에 여파기나 전압제어 발진기 등을 설계하는데 있어서 편리하게 이용될 수 있다.

• Journal of electromagnetic engineering and science
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• 제2권1호
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• pp.34-38
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• 2002

TFBAR filters for wireless applications are simulated and fabricated. A CAD model is used to analize the air-gap type single resonator and MBVD model is used far filter design. Aluminum nitride is used as the piezoelectric material with platinum electrodes. To verier the CAD model, simulated and measured results are compared far various top electrode thicknesses, and the agreement is within 0.5 % for the parallel resonance frequency. Various types of the ladder type band pass filters are predicted and their responses are compared with measured frequency data.

• 한국전자파학회논문지
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• 제15권3호
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• pp.284-290
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• 2004

본 논문에서는 기판상의 인덕터가 박막공진 여파기의 성능에 미치는 영향을 고찰하기 위하여 두 종류의 사다리형 박막공진 여파기를 설계 및 제작하였다. 여파기를 이루고 있는 박막공진기들의 압전물질은 AIN이고, 전극은 백금(Pt)으로 이루어졌으며 기판에 의한 오버모드(overmode) 현상을 제거하기 위하여 air-gap 형태로 제작되었다. 듀플렉서를 이루고 있는 송신용 여파기의 특성을 보이기 위해 4개의 직렬 공진기와 2개의 병렬 공진기로 이루어진 사다리형 4/2단 여파기가 제작되었으며, 수신용 여파기의 성능을 보이기 위해서는 3/4단으로 제작되었다. 여파기의 성능을 개선하기 위해 사용된 기판상의 인덕터들은 2 ㎓ 대역에서 약 5∼9 정도의 Q값 특성을 보였으며, 인덕터가 연결된 여파기는 연결되지 않은 경우에 비해 약 10∼12 ㏈ 정도의 개선된 대역외 저지특성을 보였다.

• 한국전자파학회논문지
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• 제13권10호
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• pp.1048-1053
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• 2002

본 논문에서는 2 GHz 대역의 격자형 및 평형 구조를 가지는 박막공진 여파기를 설계, 제작하고 분석하였다. 단위공진자의 앞전물질은 AIN를 사용하였고, 전극도체로는 백금을 사용하였으며, 하부도체와 기판사이에 공기층이 있는 구조로 제작되었다. 제작된 여파기들은 크기가 작고 낮은 삽입손실과 격자형의 경우 약 15 dB, 평형 구조의 경우 약 30 dB 정도의 선택도를 가진다. 격자형 및 평형 구조는 사다리형 구조와 같이 실리콘 기판위에 제작되었으며, 사다리형 구조에 비해 넓은 대역폭을 가지며 평형구조의 경우 이외의 튜닝과정 없이 RF 여파기로 사용될 수 있다.