반도체 공정에서 가장 많은 시간과 비용을 차지하는 공정 중 하나는 Photoresist strip 공정이다. 따라서 보다 빠르게 PR의 strip 공정을 단축하기 위한 연구가 계속 진행중에 있다. 하지만 기존 사용중인 strip용액을 대체하기 위한 물질을 찾는 것은 많은 비용을 수반한다. 본 연구에서는 PR의 strip 시간을 최대한 단축시키고 PR strip 잔여물의 빠른 제거를 위하여 기존 공정에서 사용 중인 strip 약액을 플라즈마에 의하여 활성화하는 방법(Plasma Liquid-Vapor Activation: PLVA)으로 PR strip 시간을 최대한 줄이는 방법에 대한 연구를 진행하였으며, 활성화된 strip용액이 더욱 빠른 strip율 성능을 나타내는 것을 확인하였다. 또한 PR strip에서 이온에 의한 영향을 받은 HDI-PR (high dose implanted photoresist)은 기존 strip용액으로 제거가 불가능하였다. 하지만 본 연구에서 제시한 PLVA 방법으로 활성화된 용액에서는 그 가능성을 확인하였고, 이러한 PLVA방법에 대한 물리적 연구를 위하여 HDI-PR 표면 내력의 변화를 측정하였다. 그 결과 PLVA 처리 전 후 HDI-PR의 표면 내력에 큰 변화를 확인하였다.
한국소성가공학회 1999년도 제3회 압연심포지엄 논문집 압연기술의 미래개척 (Exploitation of Future Rolling Technologies)
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pp.423-428
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1999
A high precision hot strip width control method has been developed in this study by applying interstand looper tension measuring system at finishing mill stands. As with deviation of hot rolled steel strip is closely related to abnormal increase in the interstand strip tension, on-line measuring device of looped tension and data analyzing system was developed in this study. To determine dominant factors that will cause local width shortage, the logged data sets of bar width, bar thickness, looper tension, and strip thickness along the strip length were correlated with the data set of strip width change. With the result of the correlation analysis, existing sequence control logic and parameters for looper actuator were modified for strip width quality and the gains of the looper control were refined for the stable operation during the full passage of rolled strip. The on-line tension measurement and tension feedback control for looper system improved strip travelling stability and reduced strip width deviation in the srip top end region.
In this paper, the slab method have been applied to investigate the strip casting process in which hot coil is produced from molten steel directly. In the twin roll strip casting process, molten steel supplied by the nozzle cools and solidifies due to the heat extraction effect of the rolls and hot rolling of the solidified shell takes place simultaneously. The analysis of hot rolling has been carried out by using the existing results of solidification analysis for the twin roll strip casting process. The current slab method provides basic design data such as roll separation force, rolling torque, rolling power as well as end dam separation force which are required to design strip caster. The effect of friction on the basic process parameters are investigated also. It is shown that the use of appropriate friction coefficient is important and that the characteristics of hot rolling in the twin-roll strip casting process is quite different from the conventional hot rolling processes.
We describe the looper controller design for a hot strip mill. The looper is to control the strip tension which influences on the width of the strip. It is very important to control the looper control of the hot strip mill, but difficult to control the looper, because there exists on mutual interaction among strip gauge, looper angle, and strip tension. In this paper, we present the modeling for the hot strip finishing mill to control the tension of the strip and suggest a cross control method. The cross control is a very simple method that allows non-interacting control.
We describe the looper controller design for a hot strip mill. The looper is to control the strip tension which influences on the width of the strip. It is very important to control the looper control of the hot strip mill, but difficult to control the looper, because there exists on mutual interaction among strip gauge, looper angle, and strip tension. In this paper, we present the modeling for the hot strip finishing mill to control the tension of the strip and suggest a cross control method of full-stand hot strip finishing mill. The cross control is a very simple method that allows non-interacting control.
The endless hot rolling has been focused as an innovative process technology for increasing the productivity drastically and reducing the imperfection of quality in hot rolled steel strip. To realize it in actual mill, a lots of new facilities such as bar coiler, movable LASER welder and high speed strip shear should be equipped. And also it is necessary to develop the control technique for changing the roll gap and rolling speed during rolling, which is named as Flying Gap and Speed Change control technology. To prevent a strip rupture caused by excessive tension, it is very important to minimize fluctuations in strip thickness and intension during FGSC control. In this paper, the mathematical model for FGSC control algorithm was suggested and dynamic simulation is performed to accertain the effect of suggested control method on fluctuations in strip thickness and tension. For endless hot rolling simulation, a lots of FGSC control situations, for instance - strip thickness change from strip to strip - strip width change from strip to strip - carbon content change from strip to strip are considered.
In this study, we analyzed and experimented micro-strip line inductors and capacitors for a SAW duplexer, an important devise for mobile communication. For SAW duplexers, micro-strip line lumped elements must have small impedance values, below several tens of nH or several tens of pF, and a small area pattern. In this study, we performed theoretical analysis of flat line type, meander line type, and spiral line type inductors and interdigital capacitors on a LiTaO$_3$ Piezo-crystal. We proposed a measurement method to evaluate small values of lumped elements accurately with network analyzer. In experiments, we confirmed validity of the theoretical analysis method through fabrication and characterization of micro-strip line lumped elements. The analysis method in this paper can be applied to SAW duplexers well as other microwave devices.
PURPOSES: This study is to investigate a generated traffic noise when vehicle pass over a transverse rumble strip at toll plaza of highway. METHODS: To investigate traffic noise at toll plaza of highway, Pass-by method which is the most common used for measuring traffic noise was adopted and the traffic noise at toll plaza was measured for 10 min per hour for 11hours(13:00~24:00). RESULTS: The measured traffic noise by pass-by method was changed as function of the transverse rumble strip configuration. Generally, the maximum difference among three noise measurement sections was 7 dB(A). It might be related with traffic speed. Also, the measured traffic noise was strongly generated from a passenger car which was 2 axle. It means that the most of traffic noise on the road is generated at tire/pavement interface of the passenger car. CONCLUSIONS: The traffic noise was strongly related with vehicle speed and transverse rumble strip configuration on the road. For driver safety, the transverse rumble strip is definitely necessary. However, the complaints from residents near highway was increased by traffic noise from transverse rumble strip. Therefore, To satisfy both safety and reduction of traffic noise, the development of configuration of transverse rumble strip is necessary in the further study.
남조류 독소인 마이크로시스틴은 여름철 우리나라 여러 호수들에 존재하여 물고기와 가축 그리고 인간에게 강한 독성을 나타내는 독소이다. 본 논문에서는 이러한 수중 남조류 독소, 마이크로시스틴을 정량분석하는 두가지 방법, 즉 고성능 액체크로마토그래피(HPLC) 분석법과 최근 우리 실험실에서 개발한 스트립분석법의 비교를 시도하였다. 두 분석법의 측정가능농도범위가 많이 달라 HPLC 법으로 먼저 측정한 후 시료를 물로 희석시켜 스트립분석법에 적용하였다. 서로 다른 농도의 마이크로시스틴을 함유한 7가지 물시료들을 사용하여 HPLC분석법과 스트립 분석법으로 남조류 독소 총량을 측정하였다. 그 결과 두 분석법의 정량측정결과가 매우 잘 일치하는 것을 볼 수 있었다. 두 분석법의 상관분석 결과 r 값은 0.99998 이었으며 통계적인 유의성을 나타내는 p 값은 0.00001 이었다.
A new device to detect methamphetamine (MA), amphetamine(A) and its metabolites in urine was developed using the paper strip method and the test tube method of dry chemical reagents. The reagent containing tetrabromophenolphthalein ethyl ester (TBPE) and borax. For the TBPE paper strip method, a device was prepared with a window at each end of the reagent paper strip ; one window is for the sample application, and the other window is for the methylene chloride. The diffused sample from one window reacts with reagent in the paper and produces color at the point where it meets with methylene chloride which has diffused form the other side. A positive smaple produces as red-purple color and the negative sample a greenish color, with a detection limit of 5-10 ppm. The result can be obtained within one minute. For the TBPE test tube method which contains dry reagents, the detection limit is 5 ppm and the result can be obtaineed within 30 seconds, however the carry-on is not as convenient as the paper strip method. The performance of both methods were evlauated by comparing with the results of gas chromatography (GC) and fluorescence polarizaiton immunoassay (FPIA). The results were proven that both methods were useful as primary screening reagents to detect MA in urine and in dry powder.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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