We propose a two-step lithography process to minimize edge-bead issues caused by thick photoresist (PR) coating. In the conventional PR process, the edge bead can be efficiently removed by applying an edge-bead removal (EBR) process while rotating the silicon wafer at a high speed. However, applying conventional EBR to the production of desired PR mold with unique negative patterns cannot be used because a lower rpm of spin coating and a lower temperature in the soft bake process are required. To overcome this problem, a two-step lithography process was developed in this study and applied to the fabrication of a polydimethylsiloxane (PDMS) film having super-hydrophobic characteristics. Following UV exposure with a first photomask, the exposed part of the silicon wafer was selectively removed by applying a PR developer while rotating at a low rpm. Then, unique PR mold structures were prepared by employing an additional under-exposure process with a second mask, and the mold patterns were transferred to the PDMS. Results showed that the fabricated PDMS film based on the two-step lithography process reduced the height difference from 23% to 5%. In addition, the water contact angle was greatly improved by spraying of hydrophobic nanosilica on the dual-scaled PDMS surface.
Je, Hong-Ji;Jeong, Chang-Mo;Jeon, Young-Chan;Hwang, Hie-Seong
The Journal of Korean Academy of Prosthodontics
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v.34
no.2
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pp.373-383
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1996
In order to compare the accuracy of impression method using addition silicone putty impression material, metal master die was fabricated with 4 cylindrical abutments that were similar in shape to mandibular arch. Among the 4 abutments, two(A, D) with 8mm width and 7mm height were formed in the 2nd molar regions and the other two(B, C) with 6mm width and 7mm height were on the canine regions. Impressions were taken using one-step putty wash impression technique and two-step putty wash impression technique by three different types of impression materials(Perfect, Express, Exaflex). Upon measuring the distance between the abutments on the model by three dimensional measuring machine, the percent of devitaion of the materials were obtained, rendering the following results. The results obtained are as follows : 1. There was no significant difference in accuracy in regard with the impression method between one-step putty wash impression technique and two-step putty wash impression technique using addition silicone putty impression material. 2. There were no difference in accuracy among with three different addition silicone putty impression materials. 3. All the distances between abutments on improved stone models increased in comparison with those on the metal master model.
This paper describes the locomotion of a water jumping robot which attempts to emulate the fishing spider’s ability to jump on the water surface. While previous studies of the robots mimicking arthropods living on water were focused on recreating their horizontal skating motions, here we aim to achieve a vertical jumping motion. The robot jumps by pushing the water surface with rapidly released legs which were initially bent. The motion is triggered with a latch driven by the shape memory alloy actuator. The robot is capable of jumping to the maximum height of 26mm. Jumping efficiency, defined the maximum jumping height on water over the maximum jumping height on rigid ground, is 0.26 This work represents a first step toward robots that can locomote on water with superior versatility including skating and jumping.
The Journal of the Society of Stroke on Korean Medicine
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v.14
no.1
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pp.23-30
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2013
■ Objectives This study is to examine change of gait parameters on shoes sole height(high heels, MBT shoes, house shoes) through gait analyzer. ■ Methods The subjects of this study were 12 women in their twenties. Gait analysis system is 5m in total length and gait is led to be comfortable. They put three kinds of shoes each and were led to walk 5m on gait analysis system. ■ Results There were significant differences in step length, single support and load response of gait parameters and in stride length and total double support at double support phase. ■ Conclusion Muscle activity differs in that different that shoes sole height and form because tibialis anterior muscle has strengthen and gastrocnemius has stretched. Therefore we think that patients with knee joint problem consider gait parameters when shoes select.
YBCO step-edge Josephson junction were fabricated on sapphire substrates. The steps were formed on R-plane sapphire substrates by using Ar ion milling with PR masks. The step angle was controlled in the wide range from 25$^{\circ}$ to 50$^{\circ}$ by adjusting both the Ar ion incident angle and the photoresist mask rotation angle relative to the incident Ar ion beam. CeO$_2$ buffer layer and in-situ YBa$_2Cu_3O_{7-{\delta}}$ (YBCO) thin films was deposited on the stepped R-plane sapphire substrates by pulsed laser deposition method. The YBCO film thickness was varied to obtain the ratio of film thickness to step height in the range from 0.5 to 1. The step edge junction exhibited RSJ-like behaviors with I$_cR_n$ product of 100 ${\sim}$ 300 ${\mu}$V, critical current density of 10$^3$${\sim}$ 10$^5$ A/ cm$^2$ at 77 K.
We have fabricated and tested a simple circuit of the rapid single-flux-quantum(RSFQ) four-stage shift register using a single layer high-T$_c$ superconducting (HTS) YBa$_2Cu_3O_{7-x}$ (YBCO) thin film structure with 9 step-edge Josephson junctions. The circuit includes two read superconducting quantum interference devices(SQUID) and four stages. To establish a robust HTS RSFQ device fabrication process, we have focussed the reproducible process of sharp and straight step-edge formation as well as the ratio of film thickness to step height t/h. The spread of step-edge junction parameters was measured from each13 junctions with t/h=l/3, l/2, and 2/3 at various temperatures. We have demonstrated the simplified operation of the shift register at 65 K..
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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v.21
no.3
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pp.246-255
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1997
The wave washer springs are expected to behave non-linearly between forces and displace¬ments due to contractions of the height and due to expansions in radial direction. To find out the non -linearity of wave washer springs, the three dimensional plate analysis theory using the finite element method is adopted in this paper. The wave washer springs are considered to be three dimensional plate structures rather than frame structures, because their thickness is normally much smaller than their width. The displacements of nodal points due to small increment of force are calculated by the finite element method and the calculated nodal displacements are added to X - Y Z coordinates of nodal points. The new stiffness matrix of the system using the new coordinates of nodal points is adopted to calculate the another nodal displacements, that is, the step by step method is used in this paper. The relations between the increments of forces and displacements in each step are recorded and plotted in chart. The experimental results are compared with the calculated chart and it is shown that there are good coincidences between measured values and calculated ones.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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v.26
no.12
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pp.1674-1680
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2002
An experimental study was made of a large-scale vortical structure over a backward-facing step. The Reynolds number based on the step height was R $e_{H}$ =33,000. To recognize the large-scale vortex, three components of velocity were measured. The measurements were performed in the recirculation zone (x/H=4.0) and the reattachment zone(x/H=7.5). To measure the wall pressure fluctuations in a turbulent flow over a backward-facing step, a 32-channel microphone array was installed beneath the wall in the streamwise and spanwise directions. From the measured pressure field, the size of large-scale vortex was obtained. As a detailed study, a conditionally-averaging technique was employed to characterize the coherent structure of the large-scale vortex. To see the relationship between the flow field and the relevant spatial mode of the pressure field, the spatial box filtering (SBF) was examined. A cross-correlation between velocity and pressure fluctuations was performed to identify the structure and the length scale of the large-scale vortex.x.
Kim, Sanghee;Kang, Thomas H.K.;Kim, Jae-Yo;Park, Hong-Gun
Earthquakes and Structures
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v.7
no.5
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pp.891-906
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2014
The purpose of this study is to propose a modification factor to reflect the lateral stiffness modification when a step is located in flat plates. Reinforced concrete slabs with steps have different structural characteristics that are demonstrated by a series of structural experiment and nonlinear analyses. The corner at the step is weak and flexible, and the associated rotational stiffness degradation at the corner of the step is identified through analyses of 6 types of models using a nonlinear finite element program. Then a systematic analysis of stiffness changes is performed using a linear finite element procedure along with rotational springs. The lateral stiffness of reinforced concrete flat plates with steps is mainly affected by the step length, location, thickness and height. Therefore, a single modification factor for each of these variables is obtained, while other variables are constrained. When multiple variables are considered, each single modification factor is multiplied by the other. Such a method is verified by a comparative analysis. Finally, a complex modification factor can be applied to the existing effective slab width.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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