Development of Structured Hybrid Illumination System and Optimum Illumination Condition Selection for Detection of Surface Defects on Silicon Wafer in Solar Cell (태양전지 실리콘 웨이퍼의 표면결함 검출을 위한 구조적 하이브리드 조명시스템의 개발 및 최적 조건 선정)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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- v.36 no.5
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- pp.505-512
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- 2012