Preparation of Ferroelectric PZT Thin Film by Sol-Gel Processing; (I) Synthesis of Stable PZT Sol Using Chelating Agent and Preparation of Its Thin Film (졸-겔법에 의한 강유전성 PZT 박막의 제조;(I) 킬레이팅 에이전트를 이용한 안정화 PZT 졸의 합성 및 박막의 제조)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.31 no.7
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- pp.804-812
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- 1994