반도체 공정에서 발생하는 폐실리콘 슬러지의 재활용을 통한 실리카 나노입자의 제조 및 합성법에 따른 형상 및 특성 비교 연구 (A Comparative Study on Morphologies and Characteristics of Silica Nanoparticles Recycled from Silicon Sludge Waste of Semiconductor Process Based on Synthesis Methods)
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- 유기물자원화
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- 제31권3호
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- pp.5-13
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- 2023