마그네트론 스퍼터링 증착 조건에 따른 $SnO_2$ 박막의 미세구조와 가스검지특성 변화
(Effects of Process Variables on the Microstructure and Gas Sensing Characteristics of Magnetron Sputtered $SnO_2$ Thin Films)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1999년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.162-162
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- 1999