Oxidation behavior and microstructural characteristics of nano-sized Sn powder were studied. DTA-TG analysis showed that the Sn powder exhibited an endothermic peak at $227^{\circ}C$ and exothermic peak at $560^{\circ}C$ with an increase in weight. Based on the phase diagram consideration of Sn-O system and XRD analysis, it was interpreted that the first peak was for the melting of Sn powder and the second peak resulted from the formation of $SnO_2$ phase. Microstructural observation revealed that the $SnO_2$ powder, heated to $1000^{\circ}C$ under air atmosphere, consisted of agglomerates with large particle size due to the melting of Sn powder during heat treatment. Finally, fine $SnO_2$ powders with an average size of 50nm can be fabricated by controlled heat treatment and ultrasonic milling process.
Our investigation aimed to reduce the leakage current of $Ta_2O_5$ thin film capacitor by layering SnOz thin film layer under Ta thin film, thereby supplying extra oxygen ions from the $SnO_{2}$ underlayer to enhance the stoichiometry of $Ta_2O_5$ during the oxidation of Ta thin film. Tantalum was evaporated by e-beam or sputtered on p-Si wafers with various deposition temperatures and was oxidized by dry--oxygen at the temperatures between $500^{\circ}C$ and $900^{\circ}C$. Aluminum top and bottom electrodes were formed to make Al/$Ta_2O_5$/p-Si/Al or $Al/Ta_2O_5/SnO_2$p-Si/AI MIS type capacitors. LCR meter and pico-ammeter were used to measure the dielectric constants and leakage currents of the prepared thm film capacitors. XRD, AES and ESCA were employed to confirm the crystallization of the thin f~lm and the compositions of the films. Dielectric constant of $Ta_2O_5$ thin film capacitor with $SnO_{2}$ underlayer was found to be about 200, which is about 10 times higher than that of $Ta_2O_5$ thin film capacitor without $SnO_{2}$ underlayer. In addition, higher oxidation temperatures increased the dielectric constants and reduced the leakage current. Higher deposition temperature generally gave lower leakage current. $Ta_2O_5/SnO_2$ capacitor deposited at $200^{\circ}C$ and oxidized at $800^{\circ}C$ showed significantly lower leakage current, $10^{-7}A/\textrm{cm}^2$ at $4 \times 10^{5}$V/cm, compared to the one without $SnO_{2}$ underlayer. XRD showed that $Ta_2O_5$ thin film was crystallized above $700^{\circ}C$. AES and ESCA showed that initially the $SnO_{2}$, underlayer supplied oxygen ions to oxidize the Ta layer, however, Sn also diffused into the Ta thin film layer to form a new $Ta_xSn_YO_Z$ , ternary oxide layer after all.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.17
no.2
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pp.104-108
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2016
To research the correlation between oxygen vacancy and the electrical characteristics of ZTO, which is made by using a target mixed ZnO:SnO2=1:1, the ZnO, SnO2 and ZTO were analyzed by PL, XPS, XRD patterns and electrical properties. It was compared with the electron orbital spectra of O 1s in accordance with the electrical characteristics of ZnO, SnO2 and ZTO. The electrical characteristics of ZTO were improved by increasing the annealing temperatures, due to the high degree of crystal structures at a high temperature, and the physical properties of ZTO was similar to that of ZnO. The amorphous structure of SnO2 was increased with increasing the temperature. The Schottky contact of oxide semiconductors was formed using the depletion region, which is increased by the electron-hole combination due to the annealing processes. ZnO showed the Ohmic contact in spite of a high annealing temperature, but SnO2 and ZTO had Schottky contact. As such, it was confirmed that the electrical properties of ZTO are affected by the molecules of SnO2.
The electrical contact characteristics including temperature rise, contact resistance and arc erosion rate of the $Ag-SnO_2$ materials with increased $SnO_2$ content were investigated during the repeated make-and-break operations. The thickness of arcing melting layer reduces by half and the arc erosion rate decreases more than 70% under 10000 times operations at AC 10 A with the $SnO_2$ content increasing from 15 wt.% to 45 wt.%, on one hand, temperature rise and contact resistance increase obviously but could be reduced to the same order of conventional $Ag-SnO_2$ materials by increasing the contact force. The microstructure evolution and the effect of $SnO_2$ on the arc erosion, contact resistance were analyzed.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2012.02a
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pp.313-313
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2012
ZnO and $SnO_2$, well-known wide direct band-gap semiconductors, have been considered as the most promising functional materials due to their highly sensitive gas sensing and excellent optical properties. ZnO/$SnO_2$ epitaxial hetrostructure exhibited unique luminescence properties in contrast with individual tetra-pod ZnO and $SnO_2$ nanostructures. Polycrystalline $SnO_2$-based samples $Zn_xSn_{1-x}O_2$(x=0, 0.01, 0.03, 0.05) were prepared by solid state reaction and eco-friendly hydrothermal techniques. Scanning electron microscopy equipped with electron dispersive x-ray spectra confirms the formation of near stoichiometric $Zn_xSn_{1-x}O_2$ nanorods of diameter ~10 nm. X-ray diffraction analysis revealed the rutile structure, except for x=0.07, which may have a small part of $Zn_2SnO_4$ as a secondary phase.
The effects of various supports on the activity and the selectivity for the ethylene oxidation was investigated over$ Ag/{\alpha}-Al_2O_3$ and $Ag/SnO_2$ by Auger, EPR spectroscopy and reaction studies. The results indicate that over $Ag/SnO_2$ catalyst O- chemisorbed on $SnO_2 $participates in the complete oxidation of ethylene lowering the selectivity for the formation of ethylene oxide.
In order to investigate the effect of $SnO_2$ on the growth of 123 phase in Y-Ba-Cu-0 system, O.1Sn-doped 123+Sn compact was coupled with Sn-free 123 compact by placing the former on the latter. In case of the coupled samples which were held at $1100^{\circ}C$ for 24hr and then at $970^{\circ}C$ for lhr, 123 phase grew from the surface of O.1Sn-doped 123+Sn compact toward the inner of Sn-free 123 compact. In case of the coupled samples which were held at $1100^{\circ}C$ for 48hr and then at $970^{\circ}C$ for lhr, it was not the 123 phase but Ba-Y-Sn grains that were observed. Ba-Y-Sn grains with a shape of bar was composed of Ba : Y : Sn=5 : 3 : 2, approximately.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.13
no.5
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pp.241-246
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2003
The transparent conducting thin film of ATO (antimony-doped tin oxide) was successfully fabricated on$SiO_2$/glass substrate by a sol-gel dip coating method. The crystalline phase of the ATO thin film was identified as SnO$_2$ major phase and the film thickness was about 100 nm/layer at the withdrawal speed of 50 mm/minute. Optical transmittance and electrical resistivity of the 400 nm-thick ATO thin film which was annealed under nitrogen atmosphere were 84% and $5.0\times 10^{-3}\Omega \textrm{cm}$, respectively. It was found that the $SiO_2$ layer inhibited Na ion diffusion and the formation of impurities like $Na_2SnO_3$ or SnO while increasing Sb ion concentration and higher ratio of $Sb^{5+}/Sb^{3+}$in the film. Annealing at nitrogen atmosphere leads to the reduction of $Sn^{4+}$ as well as $Sb^{5+}$ resulting in decrease of the electrical resistivity of the film.
Kim, Jin-Yeol;Kim, Eung-Ryeol;Lee, Jae-Ho;Kim, Soon-Sik
Journal of Information Display
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v.2
no.1
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pp.38-42
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2001
Thin films of $In_2O_3-SnO_2$(ITO), $SnO_2$, and $SiO_2$ were prepared on the PET substrate by DC magnetron roll sputtering. 135 nm thick ITO film on $SiO_2$/PET substrate has sheet resistance as low as 55 ${\Omega}/square$ and transmittance as high as 85%. $H_2O$gas permeation through the film was 0.35 g/$m^2$ in a day. These properties are enough on optical film for the plastic LCD substrate or touch panel. Both refractive index and sheet resistance of ITO was found to be very sensitive to $O_2$ flow rate. Oxygen flow conditions have been optimized from 4 to 5 SCCM at $10^{-3}$torr. It is also shown that both thickness of $SnO_2$ and refractive index of $SiO_2$ decrease as $O_2$ flow rate increases.
$TiO_2-SnO_2$ nanoparticles with an average diameter of 3~5 nm were synthesized by hydrolysis of titanium tetraisopropoxide (TTIP) and tin chloride to depress the photocatalytic activity of $TiO_2$ nanoparticles. Organic-inorganic hybrid coating solutions were prepared by reacting the $TiO_2-SnO_2$ nanoparticles with 3-glycidoxypropyl trimethoxysilane (GPTMS) by the sol-gel method. The hard coating films with high refractive index were obtained by curing thermally at $120^{\circ}C$ after spin-coating the coating solutions on the polycarbonate (PC) sheets. The coating films from $TiO_2-SnO_2$ nanoparticles showed an improved pencil hardness of 3H compared to 2H of the coating films from $TiO_2$ nanoparticles. Besides, the refractive index of the coating films from $TiO_2-SnO_2$ nanoparticles enhanced from 1.543 to 1.623 at 633 nm as the Sn/Ti molar ratio increased from 0 to 0.5.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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