• 제목/요약/키워드: Slit Mask

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Improvement of Slit Photolithography Process Reliability for Four-Mask Fabrication process in TFT LCDs

  • Min, Tae-Yup;Qiu, Haijun;Wang, Zhangtao;Gao, Wenbao;Choi, Sang-Un;Lee, Sung-Kyu
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
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    • pp.851-854
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    • 2008
  • In order to reduce the manufacturing cost of TFT LCDs and cut down an amount facilities invested, there are many LCD panel makers contributes to convert the current Five-mask manufacturing process into the noble Four-mask fabrication process. We optimized the slit mask to improve the poor process reliability.

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선택적 빔 차단을 통한 집속이온빔 가공 정밀도 향상 (Improvement of Ion Beam Resolution in FIB Process by Selective Beam Blocking)

  • 한민희;한진;김태곤;민병권;이상조
    • 한국정밀공학회지
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    • 제27권8호
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    • pp.84-90
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    • 2010
  • In focused ion beam (FIB) fabrication processes the ion beam intensity with Gaussian profile has a drawback for high resolution machining. In this paper, the fabrication method to modify the beam profile at substrate using silt mask is proposed to increase the machining resolution at high current. Slit mask is utilized to block the part of beam and transmit only high intensity portion. A nano manipulator is utilized to handle the silt mask. Geometrical analysis on fabricated profile through silt mask was conducted. By utilizing proposed method, improvement of machining resolution was achieved.

쉐도우마스크의 열변형 해석 -온도분포 (Thermal Deformation Analysis of Shadow Mask : Temperature Distribution)

  • 김현규;천현태;임세영
    • 대한기계학회논문집
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    • 제17권10호
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    • pp.2574-2581
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    • 1993
  • A Shadow mask in C. R. T. (Cathod Ray Tube) undergoes a temperature increase due to impinging electron beams emitted from guns, and thermal deformation from such temperature rise may cause the electron beams to island on the panel, and thus give rise to depolarization. Hence the analysis of temperature distribution for a shadow mask is an important procedure for designing the shadow mask. In this paper, we are concerned with nonlinear finite element analysis of the temperature distribution on a shadow mask. First of all, we replace shadow mask, containing numerous apertures of a slit type, by an orthotropic shell without apertures, and calculate the apparent thermal conductivities. Because of thermal radiation, which is one of the major heat transfer mechanism for shadow masks, the resulting finite element equation is nonlinear and solved by the Newton method. Finally numerical examples are illustrated for a 21" FST(Full Square Tube) shadow mask, and followed by discussion.sion.

국부가열에 의한 Tension Mask 의 열변형 해석 및 전자빔의 오착 예측 (Analysis of Tension Mask Thermal Deformations under Localized Heating and Prediction of Electron Beam Landing Shifts)

  • 신운서;유세준;장보웅
    • 한국정밀공학회지
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    • 제16권8호
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    • pp.138-148
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    • 1999
  • Thermal deformations of tension mask under localized heating are analyzed using finite element method and electron beam landing shifts are predicted by the analysis results. In CRT, electron beam landing shifts due to thermal deformations of the tension mask make the color purity of screen worse. In order to get the final results of thermal deformations, firstly the tension processes of the mask and following welding processes between the tensional mask and rail must be analyzed sequentially. And then, nonlinear transient thermo-elastic finite element analysis is performed on every part inside CRT including tension mask, wherein thermal radiation is a main heat transfer mechanism. Because the tension mask has numerous slits, the effective thermal conductivity and effective and effective elastic modulus is calculated, and the tension mask is modeled as a shell without slits. From the displacement results of tension mask, electron beam landing shifts is calculated directly. Experiments are performed to confirm our analysis results. Temperature distributions and beam landing shifts of tension mask are measured and the results are in good agreement with those of analyses.

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Software of Slit-Viewing Camera Module for IGRINS (Immersion GRating INfrared Spectrograph)

  • Lee, Hye-In;Pak, Soojong;Lee, Jae-Joon;Mace, Gregory;Jaffe, Daniel T.
    • 천문학회보
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    • 제41권2호
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    • pp.66.1-66.1
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    • 2016
  • We developed an observation control software for the IGRINS (Immersion Grating Infrared Spectrograph) silt-viewing camera module, which points the astronomical target onto the spectroscopy slit and sends tracking feedbacks to the telescope control system. The point spread function (PSF) is not always symmetric. In addition, bright targets are easily saturated and shown as a donut shape. It is not trivial to define and find the center of the asymmetric PSF especially on a slit mask. We made a center balancing algorithm (CBA) following the concept of median. The CBA derives the expected center position along the slit-width axis by referencing the stray flux ratios of both upper and lower sides of the slit. We compared efficiencies of the CBA and those of a two-dimensional Gaussian fitting (2DGA) through simulations from observation images in order to evaluate the center finding algorithms. Both of the algorithms are now applied in observation and users can select the algorithm.

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Development Process for Slit Mask Exchanger Mechanism Prototype (SMEM-P) of the Giant Magellan Telescope Multi-object Astronomical and cosmological Spectrograph (GMACS)

  • Lee, Hye-In;Cook, Erika;Ji, Tae-Geun;Byeon, Seoyeon;Pak, Suehee;Cynthia, Froning;Marshall, Jennifer;Depoy, Darren L.;Pak, Soojong
    • 천문학회보
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    • 제43권1호
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    • pp.68.4-69
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    • 2018
  • GMACS is one of the instruments for the Giant Magellan Telescope (GMT) which will provide wide field, multi-object, moderate resolution spectroscopy of faint targets. KHU (Kyung Hee University) is in charge of control software of GMACS. As a first step, the Slit Mask Exchange Mechanism Prototype (SMEM-P) will be used as a preliminary example to make development process between electronics and high level software. Recently, we have developed a sample program to communicate with low level devices via EtherCAT. It is expected to be a mockup design for software and control system of GMACS. In this poster, we show the development process and test operation results of control software for SMEM-P.

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선배열 슬릿마스크를 이용한 협대역 레이저 여기 표면파의 음향 비선형성 (Acoustic Nonlinearity of Narrow-Band Surface Wave Generated by Laser Beam with Line-Arrayed Slit Mask)

  • 최성호;남태형;이태훈;김정석;장경영
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제34권12호
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    • pp.1877-1883
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    • 2010
  • 선배열 슬릿 마스크를 이용하여 발생시킨 협대역의 레이저 여기 표면파의 주파수 특성을 이론적으로 분석하여 음향비선형성 분석에 영향을 미칠 수 있는 초기 고조파성분의 발생 기구를 규명하였다. 그리고 알루미늄 6061-T6 합금의 음향 비선형성에 대한 슬릿 열림폭과 레이저 세기의 영향을 단일 슬릿과 선배열 슬릿을 이용하여 실험적으로 분석하였다. 고조파 성분의 진폭은 슬릿 열림폭에 의존하는데 본 연구의 경우 슬릿 배열간격을 1.67 mm로 하여 1.75 MHz의 표면파를 발생시켰으며 이 경우 슬릿 열림폭이 0.5 mm에서 1.0 mm로 증가함에 따라 2차 고조파 성분의 진폭은 약 80 % 감소하였다. 또한 레이저 세기에 따라서 기본파 성분 진폭($A_1$)을 변화시키면서 2차 고조파 진폭($A_2$)의 변화를 실험한 결과 $A_1^2$$A_2$간에는 우수한 선형 관계를 보였으며, 이는 전형적인 음향비선형성의 특징을 잘 나타낸다.

가변 속도 이동식 마스크를 이용한 렌즈 곡면 형성 (Generation of Lens surface by moving mask lithography)

  • 이준섭;박우제;송석호;오차환;김필수
    • 한국광학회지
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    • 제16권6호
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    • pp.508-515
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    • 2005
  • MEMS 공정을 이용한 굴절렌즈 제작을 위하여, 슬릿 패턴을 갖는 마스크를 이동시키며 노광을 하는 가변 속도 이동식 마스크에 의한 노광 방법을 제안하였다. 감광제 면이 굴절렌즈의 곡면을 이루려면 감광제의 위치에 따른 노광 에너지의 분포를 조절해야 한다. 마스크의 패턴 형태와 이동 속돈 방향에 따라 감광제의 위치에 따른 노광 에너지의 분포를 이론적으로 분석하였으며, 감광제 박막에 임의의 곡면을 갖는 굴절렌즈 형상을 형성할 수 있음을 실험적으로 확인하였다. $100 {\mu}m$ 이상의 후막 감광제를 이용하거나, 혹은 곡면 형상을 갖는 얇은 감광제 형상을 마스크로 하여 이온식각을 수행하여 수백 ${\mu}m$ 정도의 최대높이를 갖는 렌즈 곡면형상을 제작 할 수 있었다.

레이저 여기 표면파의 음향비선형성을 이용한 Al6061 합금의 소성변형 평가 (Assessment of Plastic Deformation in Al6061 Alloy using Acoustic Nonlinearity of Laser-Generated Surface Wave)

  • 김정석;남태형;최성호;장경영
    • 비파괴검사학회지
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    • 제32권1호
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    • pp.20-26
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    • 2012
  • 본 연구의 목적은 비접촉식 레이저 여기 표면파의 비선형성 계측을 통하여 소성 변형된 알루미늄 합금의 소성변형을 평가하고자 하는 데 있다. 슬릿마스크와 고출력 펄스 레이저를 통한 선배열 레이저빔을 이용하여 협대역의 표면파를 발생 시켰으며, 표면파의 음향 비선형 특성을 이용하기 위하여 슬릿 마스크의 열림 폭과 간격을 변화시킴으로써 레이저 여기 표면파의 주파수 특성을 제어하였다. 스트로크 제어를 통한 인장시험을 통하여 단계별 인장 소성변형 정도를 달리하는 시험편을 제작하였다. 실험결과 인장 소성 변형율이 커짐에 따라 음향 비선형 파라미터는 증가하였으며, 경도 및 EBSD 측정결과 손상의 정도와 매우 밀접한 관계를 보였다. 결과적으로 본 연구에서의 레이저 여기 표면파의 비선형 평가기법은 알루미늄 합금의 소성변형 평가에 매우 유용할 것으로 판단된다.

Ar 이온빔 식각과 전자선리소그래피 방벙으로 제작한 고온초전도 조셉슨 접합 (Fabrication of High-T$_c$ Superconducting Josephson Junctions by Ar lon Milling and E-Beam Lithography)

  • 이문철;김인선;이정오;유경화;박용기;박종철
    • 한국초전도학회:학술대회논문집
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    • 한국초전도학회 1999년도 High Temperature Superconductivity Vol.IX
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    • pp.91-94
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    • 1999
  • A new type of high-T$_c$ superconducting Josephson junctions has been prepared by Ar ion beam etching and electron beam lithography. YBa$_2Cu_3O_{7-x}$ (YBCO) films deposited on (001) SrTiO$_3$ single crystal substrate by pulsed laser deposition were patterned by Ar ion milling with photolithography. The narrow slit with a electroresist mask, about 1000 ${\AA}$ wide, was constructed over a 3 ${\sim}$ 5 ${\mu}$m bridge of a 1200-${\AA}$-thick YBCO film by electron beam lithography. The slit was then etched by the Ar ion beam to form a damaged 600-${\AA}$-thick YBCO. Thus prepared structure forms an S-N-S (YBCO - damaged YBCO - YBCO) type Josephson junctions. Those junctions exhibit RSI-like I-V characteristics at 77 K. The properties of the Josephson junctions such as I$_c$ R$_N$, and J$_c$ were characterized.

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