A study on the growth behavior of AlN single crystal according to the change of N2 in HVPE propcess (HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 N2 양의 변화에 따른 AlN 단결정의 성장 거동에 관한 연구)
-
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
- /
- v.34 no.2
- /
- pp.61-65
- /
- 2024