최근 광 스위치, 광학 가변 필터와 같은 광통신용 수동 소자를 구현하기 위해 실리콘 마이크로머시닝 기술을 바탕으로 한 광 MEMS(micro electro mechanical system) 기술이 각광을 받고 있다[1,2]. 특히, 실리콘 기판을 수직 식각하여 제작한 측면 저울은 2$\times$2광 스위치나 광 필터 등에서 반사 평면이나 투과평면으로 많이 이용되고 있다. 광학 평면의 거칠기 특성은 빛의 산란에 의한 광학 손실이나 평행 광 특성 유지 등과 밀접한 관계가 있다. (중략)
Cui, Hao;Zhang, Xiaoxing;Zhou, Yongjian;Zhang, Jun
Carbon letters
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제26권
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pp.61-65
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2018
Comprehensive calculations of the Rh decoration effect on zigzag CNTs with n ranging from 7 to 12 were conducted in this work to understand the effect of Rh doping on geometric structures and electronic behaviors upon metallic and semiconducting CNTs. The obtained results indicated that Rh dopant not only contributes to the deformation of C-C bonds on the sidewall of CNTs, but also transforms the electron distribution of related complexes, thereby leading to a remarkable increase of the conductivity of pure CNTs given the emerged novel state within the energy gap for metallic CNTs and the narrowed energy gap for semiconducting CNTs. Our calculations will be meaningful for exploiting novel CNT-based materials with better sensitivity to electrons and higher electrical conductivity compared with pure CNTs.
본 연구에서는 토목섬유의 일종인 지오셀과 새로 고안된 폐타이어로 제작된 타이어셀, 타이어 매트의 지반보강 효과를 비교ㆍ고찰 하였다. 동일한 밀도, 복토두께 조건에서 실험용 토조내 평판재하시험을 수행하였다. 시험결과 타이어셀과 타이어측면의 조합 보강재가 가장 큰 지지력 증가와 침하량 감소를 나타내었다. 타이어셀과 같은 높이로 만든 지오셀의 보강효과는 타이어측면으로 만든 매트와 유사한 보강효과를 나타냈다.
The model is verified thorough simulations and experiments. And then the developed model is applied to a half car model and automobile vibrations are analyzed. The effects of tire design parameters on the automobile vibration energy are investigated. The results from laboratory and field tests confirm the validity of the analytical model. The 17-DOF half-car model is built to analyze the automobile vibration. The characteristics of the nonlinear model for a shock absorber are applied to this model. The results from the present 17-DOF half car model incorporating the analytical tire model with tire design parameters, are compared with a 5-DOF half car model where the tire is modeled with linear springs. The results of the 17-DOF model are closed to experimental results. Using the 17-DOF model, the influences of tire design parameter are considered. According to the results of analyses, the vibrations at seat/body/wheel are predicted by simulation and experiment.
Finite Element Method for 3-D static loaded passenger car tire on the rigid surface is performed for studying the stiffness of tire to compare with experimental data. The tire elements used for FEM are defined each component to allow an easy change for the design parameters. Also, a hyperelastic material which is composed of tread and sidewall has been used to consider a large deformation of rubber components. The orthotropic characters of rubber-cord composite materials are used as well. The air pressure, a vertical and a lateral load are applied step by step and iterated by Modified Newton method for geometric and boundary condition nonlinear simulation. This study shows nonlinear analysis method for tire and the bearing capacity of tire due to the external force.
In this study, various hydraulic phenomena were analyzed from the dam model experiments and the analyzed results were compared with existing computation results. Sungduk dam model structures were constructed using Froude similarity law by 1:50 scale. From the measurements of hydraulic phenomena at spillway channel, an improvement method was trying to be suggested over shortcoming of existing design plan. The result of model experiment showed no big difference with that of each part's numerical interpretation. Sidewall overflows were observed, as water conveyance occurred due to the linear characteristics of spillways, which raised the necessity for improving the linear forms of spillways. Also, it was judged to be necessary improving load pressure and establishing protective structures at the riverbed grounds of downstream channels.
In this paper, the etching of Au films using photoresist masks on Si substrates was investigated using a capacitively coupled plasma etch reactor. The advantages of plasma etch techniques over current methods for Au metalization include the ability to simplify the metalization process flow with respect to resist lift-off schemes, and the ability to cleanly remove etched material without sidewall redeposition, as is seen in ion milling. The etch properties were measured for different gas mixing ratios of CF4/Ar, and chamber pressures while the other conditions were fixed. According to statistical design of experiment (DOE), etching process of Au films was characterized and also 20 samples were fabricated followed by measuring etch rate, selectivity and etch profile. There is a chemical reaction between CF4 and Au. Au- F is hard to remove from the surface because of its high melting point. The etching products can be sputtered by Ar ion bombardment.
MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술에서 실리콘 식각기술의 중요성으로 플라즈마 식각기술의 개발이 꾸준히 진행되고 있다. 이중에서 ICP(Inductive Coupled Plasma)는 기존의 증착장치에 유도결합식 플라즈마를 추가로 발생시켜 증착막의 특성을 획기적으로 개선시키는 가장 최근에 개발된 기술이며, 이용에너지를 증가시키지 않고도 이용밀도를 높이고 이용업자들에 방향성을 가할 수 있는 새로운 플라즈마 기술로, 주로 MEMS 제조공정에 응용되고 있다. 본 연구에서는 STS-ICP $ASE^{HR}$을 이용하여 식각과 증착공정을 반복하여 식각을 하는 Bosch 식각에 관하여 연구하였다 STS-ICP $ASE^{HR}$ 장비의 Platen power, Coil power 및 Process pressure에 다양한 변화를 주어 각 변수에 따른 식각속도를 관찰하였다. 각 공정별 변수를 변화시킨 결과 Platen power 12W, Coil power 500W, 식각/Passivation Cycle 6/7sec 일 경우 식각속도는 $1.2{\mu}m$/min 이었고, Sidewall profile은 $90{\pm}0.7^{\circ}$로 나타나 매우 우수한 결과를 보였다.
The interaction of incident monochromatic waves with a bottom-mounted vertical porous circular cylinder is investigated using the framework of the three-dimensional linear potential theory. The porosity of the circular cylinder is uniform vertically but varies in the circumferential direction. By adjusting the porosities of the circular cylinder, both the wave blocking performance of a porous semi-circular breakwater and the wave responses inside a circular harbor with an entrance are applied as calculation examples. It is found that the reflected waves, wave run-up, and wave forces are significantly reduced due to wall porosity, which are positive factors for a breakwater, and the amplification factor of a circular harbor at resonant frequencies is greatly reduced by a porous sidewall.
초고압케이블을 관로식으로 포설할 경우 케이블 포설장력이 증가함에 따라 측압은 커지게 된다. 측압은 지중관로 내 케이블 포설시 도르래 및 굴곡부에서 발생하는 관로 내면과 케이블 사이의 압력을 의미하며, 단심배열의 경우 곡률반경과 장력에 의존한다. 케이블의 측압을 정확하게 알고 안전성에 기초하여 장경간 포설을 한다면, 케이블 포설 시 긴 케이블 조장에 따라 접속함과 굴착개소의 감소로 이어지기 때문에 원가절감 뿐 아니라 공기 단축 차원에서도 큰 역할을 할 수 있다. 그러나 현재 케이블 측압은 포설 장력을 이용하여 계산되기 때문에 실제 측압과 오차가 발생할 수 있으며, 정확한 장력을 케이블에 인가하는것 또한 어려운 일이다. 따라서 본 논문에서는 케이블 포설시 발생하는 측압을 작용시키며, 장력을 케이블에 정확히 인가할 수 있는 측정기기 개발에 관한 내용을 정리하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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