동시증착에 의한 Si(111)-7$\times$ 7 기판 위에 $TiSi_2$ 에피택셜 성장
(In situ Epitaxial Growth of the $TiSi_2$ on si(111)-7$\times$ 7 Substrate by Codeposition)
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- 한국진공학회지
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- 제3권4호
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- pp.405-413
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- 1994