Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.474-474
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2010
현재 반도체시장의 확장으로 인해서 기존의 300mm 웨이퍼에서 450mm의 웨이퍼를 사용하는 공정으로 변화하는 추세이다. 450mm 웨이퍼로 대면적 화되면서 기존 300mm 공정 때보다 훨씬 효율적인 플라즈마 소스 즉, 고밀도이고, 고균등화(high uniformity) 플라즈마 소스를 필요로 한다. 본 논문에서는 고밀도 플라즈마 소스인 유도 결합형 플라즈마(Inductively Coupled Plasma ; ICP)에 축 방향의 약한 자기장을 인가시킨 자화된 유도결합형 플라즈마(Magnetized Inductively Coupled Plasma : MICP)[1]를 제안하여 기존 ICP와의 차이점을 살펴보았다. 실험 방법으로 레이저 유기 형광법(Laser Induced Fluorescence : LIF)[2]을 이용하여 플라즈마 쉬스(Sheath) 내의 전기장을 외부 자기장의 변화에 따라 높이별로 측정하고 그 결과로부터 쉬스의 전기적 특성을 살펴보았다. 플라즈마의 특성상 탐침이나 전극에 전압을 인가하면 그 주위로 디바이 차폐(Debye Shielding)현상이 일어나서 플라즈마 왜곡이 일어난다. 그렇기에 플라즈마, 특히 플라즈마 쉬스의 특성을 파악하기 위해서 레이저라는 기술을 사용하였다. 레이저는 고가의 장비이고 그 사용에 많은 경험지식(know-how)를 필요로 하지만 플라즈마를 왜곡시키지 않고, 플라즈마의 밀도, 온도, 전기장 등 많은 상수(parameter)들을 얻어 낼 수 있다. 또한 3차원적으로 높은 분해능을 가지고 있는 장점이 있다. 강한 전기장이 있는 곳에서 입자들의 고에너지 준위가 전기장의 세기에 비례하여 분리되는 Stark effect[3] 이론을 이용하여 플라즈마 쉬스내의 전기장을 측정하였다. 실험은 헬륨가스 700mTorr 압력에서 이루어졌다. 기판의 파워를 50W에서 300W까지 변화시키면서 기판에 생기는 쉬스의 전기장의 변화를 살펴보았고, 자기장을 인가한 후 동일한 실험을 하여 자기장의 유무에 따른 플라즈마 쉬스의 전기장 변화를 살펴보았다. 실험결과 플라즈마 쉬스의 전기장의 변화는 기판의 파워와 플라즈마 밀도에 크게 의존함을 알았다. 기판의 파워가 커질수록 쉬스의 전기장은 커지고, 기판에 생기는 Self Bias Voltage역시 음의 방향으로 커짐을 확인 하였다. 또한 자기장을 걸어주었을 경우 쉬스의 두께가 얇아짐으로써 플라즈마의 밀도가 증가했음을 확인 할 수 있었다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.106.1-106.1
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2013
When strong static magnetic field is applied to the TMP, it is expected that the presence of the magnetic field might retard the velocity of the blades which results in the change of the pumping speed of the TMP. However, such effect of the magnetic field on the TMP has not been well characterized. Thus, under the strong magnetic field, monitoring pumping speed as well as generated heat, pressure, and vibration of the TMP may be an important issue to understand the magnetic field tolerance of the TMP and the development of magnetic shielding technique for the key components of the pump. For this purpose, magnetic field generation system to the vertical direction by a circular current source was firstly designed and suggested [K. Baik et al., 44th Annual Conf. KVS, 22(1), 153, (2012)]. In the current study, another magnetic field generation systems are presented to apply the magnetic field to the horizontal and radial directions by the rectangular current sources and the permanent magnets respectively. Such systems were made to generate at least 50 Gauss of magnetic field along the vertical direction and at least 25 Gauss of magnetic field along the horizontal or radial direction. Current study introduces the evaluation system of the magnetic field along the vertical, horizontal, and radial directions and presents the measured experimental results of the magnetic field when such systems are combined with the equipment where TMP will be installed.
In this paper, test-bed for the evaluation of wireless communication system on a small launch vehicle is proposed. The proposed test-bed consists of antenna test-coupler, RF attenuators, and RF switch modules. The antenna test-coupler isolates antennas for each band and transmits / receives wireless signals. The RF attenuator and switch are used for path selection of testing signal path. In design and measurement result of the antenna test-coupler, the antenna test-coupler has shielding effect higher than 39.3, 47.1, 56.1 dB at UHF-, S-, X-band. Through testing on small launch vehicle wireless communication system, we were able to successfully transmit and receive data between each test system and launch vehicle with antenna path switching.
Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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v.52
no.4
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pp.30-36
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2015
The formulation of calculation method for electromagnetic inducing current by aerial power distribution line is established. Nearby telecommunication cables can be induced due to the leakage of neutral current because the neutral line of power distribution is grounded at every 50 m distance. By the existing calculation method, the neutral line is regarded as a shielding conductor and the neutral current roles as an inducing current. So the error range to real measurement value is largely extended because the changing effect of leakage current flowing in the ground is not reflected. The leakage current returns to the power substation through the ground and is cumulated as being closer to the substation. When this practical inducing mechanism is applied, the deviation rate of calculation can be drastically reduced within about 100 % range compared to 1000 % of the exsiting method.
Silver coated copper powders were prepared by a chemical reduction method with controlling the deposition process variables such as the feeding rate of the silver ionic solution and concentration of the reductants at room temperature. The characteristics of the products were evaluated by scanning electron microscope (SEM), X-ray diffractometer (XRD), atomic absorption spectrophotometer (AA) and a 4 probe resistivity measurement system. The optimum condition of the preparation of Ag coated Cu powders was at 0.05 M of potassium sodium tartrate and 2 ml/min of the feeding rate of the silver ionic solution. Our method successfully produced dense, uniform, and well-dispersed Ag coated Cu powder of $2{\sim}2.5{\mu}m$ witha silver layer of 100~200 nm. Additionally, we found that thespecific resistivity of the 30 wt.% Ag coated Cu powder was similar to that of pure silver, so that the composite powder could be used as an alternative electromagnetic shielding material for silver.
Growth and yield of licorice were investigated under the different conditions of photoperiod and shading in order to establish its cultural practice for the domestic production with the aim to substitute the import. The photoperiod was adjusted to 8,10, and 12 h by shielding plants from the light with blackout curtain. Large seedlings(11-20g) appeared to be affected by photoperiod since around 65 days. Most of growth parameters, including plant height, number of leaf, fresh and dry weight of plant and root, were the highest in 12 h photoperiod among all the photoperiod levels, excepting stem diameter which was the highest in 10 h photoperiod(4.5mm). Each photoperiod was similar to each other in root length and diameter. Small seedlings(4-l0g) showed a similar trend to large seedlings. The results from field photoperiod experiment demonstrated that 12 h photoperiod was also the best among three photoperiod treatments in plant height, stem diameter, number of leaf, root length, fresh and dry weight of plant and root. The effect of shading was tested under the three levels of control (0%), half-shading (55%), and full shading (90%). Shading remarkably suppressed the growth and yield, compared to no-shading. Although plant height and root length were little affected by the shading, stem and root diameters were heavily reduced.
The controversy over the risk of the human body being affected by electromagnetic fields emitted from 60 Hz power lines continues without end. There are currently no new studies or research progress being made in this direction that is notable, and the number of civil complaints is gradually increasing. The problem is that each study produces different results, among which the effect of exposure to magnetic fields on childhood leukemia is a major one. In Korea, an electrician who was maintaining a 22.9 kV power line died of leukemia, which has recently been recognized as an occupational disease. Methods to reduce magnetic fields from power lines include shielding with wire loops, incorporating split phases and compaction techniques, installing underground power lines, converting to high-voltage direct current (HVDC), and increasing the ground clearance of transmission towers. Depending on whether a separate power supply is needed or not, there are two types of wire loops: passive loop and active loop. Magnetic field reduction is currently done through underground power lines; however, the disadvantage of this process is high construction costs. Installing passive loops, with relatively low construction costs, leads to lower magnetic field reduction rates than installing underground cables and a weakness to not solving the landscape problem. This methodological study aims at designing methods and reducing the effects of 2-wire set loops-the simplest and most practical. Since the method proposed in this study has been designed after analyzing the distribution of complex electromagnetic fields near the expected loop installation location, a practical design can be implemented without the need for any difficult optimization programming.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.26
no.4
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pp.556-561
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2022
In this paper, we present a block media communication (BMC) system which employs powerline communication to the equipments used in the welding process for ship-assembly and uses metal block as a communication medium. Inductive couplers are installed on digital feeder and pin jig. Information signal is added to the current generated by the welding gun, and applied to the block. When the welding operation starts, information generated in the field is transmitted to the monitoring server in real-time. The field test on the BMC system confirms that the transmitted data are correctly received at the server. Since the proposed system can be built without any changes to the existing welding process, it is helpful to increase competitiveness of the shipbuilding industry through smart factory of shipyards. It is also possible to quickly respond to emergency situations that may occur to workers in an electromagnetic wave shielding environment or a closed space, the effect of preventing industrial accidents will be great.
Monte Carlo simulations were used to model a portable Neutron backscattering (NBT) sensor suitable for detecting plastic anti-personnel mines (APMs) buried in dry and moist soils. The model consists of a 100 MBq 252Cf source encapsulated in a neutron reflector/shield assembly and centered between two 3He detectors. Multi-parameter optimization was performed to investigate the efficiency of Be/Zr(BH4)4 and Be/Be(BH4)2 assemblies in terms of increasing the signal-to-background (S/B) ratio and reducing the total dose equivalent rate. The MCNP results showed that 2 cm Be/3 cm Zr(BH4)4 and 2 cm Be/3 cm Be(BH4)2 are the optimal configurations. However, due to portability requirements and abundance of Be, the 252Cf-2 cm Be/3 cm Be(BH4)2 NBT model was selected to scan the center of APM buried 3 cm deep in dry and moist soils. The selected NBT model has positively identified the APM with a S/B ratio of 886 for dry soils of 1 wt% hydrogen content and with S/B ratios of 615, 398, 86, and 12 for the moist soils containing 4, 6, 10, and 14 wt% hydrogen, respectively. The total dose equivalent rate reached 0.0031 mSv/h, suggesting a work load of 8 h/day for 806 days within the permissible annual dose limit of 20 mSv.
Low-rise structures are generally immersed within the roughness layer of the atmospheric boundary layer flows and represent the largest class of the structures for which wind loads for design are being obtained from the wind standards codes of distinct nations. For low-rise buildings, wind loads are one of the decisive loads when designing a roof. For the case of cylindrical roof structures, the information related to wind pressure coefficient is limited to a single span only. In contrast, for multi-span roofs, the information is not available. In this research, the numerical simulation has been done using ANSYS CFX to determine wind pressure distribution on the roof of low-rise cylindrical structures arranged in rectangular plan with variable spacing in accordance with building width (B=0.2 m) i.e., zero, 0.5B, B, 1.5B and 2B subjected to different wind incidence angles varying from 0° to 90° having the interval of 15°. The wind pressure (P) and pressure coefficients (Cpe) are varying with respect to wind incidence angle and variable spacing. The results of present numerical investigation or wind induced pressure are presented in the form of pressure contours generated by Ansys CFD Post for isolated as well as variable spacing model of cylindrical roofs. It was noted that the effect of wind shielding was reducing on the roofs by increasing spacing between the buildings. The variation pf Coefficient of wind pressure (Cpe) for all the roofs have been presented individually in the form of graphs with respect to angle of attacks of wind (AoA) and variable spacing. The critical outcomes of the present study will be so much beneficial to structural design engineers during the analysis and designing of low-rise buildings with cylindrical roofs in an isolated as well as group formation.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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