• 제목/요약/키워드: SI 방향

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기판의 결정 방향 및 증착 변수가 다이아몬드 박막의 배향성에 미치는 영향 (The influence of crystalline direction of substrate and depostion conditions on the orientation of diamond films)

  • 이태훈;서수형;박진석
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1542-1545
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    • 2002
  • Experimental works were performed to implement the hetero-epitaxial growth of diamond films on the (100)- and (111)-oriented Si substrates. The deposition process used to prepare diamond films consisted of a bias-enhanced nucleation(BEN) step, accompanied with a growth step using a microwave plasma CVD system. The highly oriented diamond films were deposited under the growth condition of relatively low methane concentrations and high temperatures. Material properties and surface morphologies of deposited diamond films were improved by the addition of carburization step into the deposition process.

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Molybdenum 게이트를 적용한 저온 SLS 다결정 TFT 소자 제작과 특성분석에 관한 연구 (Low Temperature Sequential Lateral Solidification(SLS) Poly-Si Thin Film Transistor(TFT) with Molybdenum Gate)

  • 고영운;오재영;김동환;박정호
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.2014-2016
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    • 2002
  • Liquid crystal displays(LCDs)의 스위칭 소자로써 thin film transistors(TFTs)를 적용하기 위해서 저온 공정이 가능하도록 molybdenum 금속을 게이트에 사용하여 저온 다결정 TFTs 소자를 제작하였다. 또한, 채널 길이 방향으로 결정을 성장시켜 결정립이 큰 다결정 실리콘을 얻을 수 있는 sequential lateral solidification(SLS) 결정화 방법을 사용하였다. SLS-TFT 소자를 $2{\mu}m$에서 $20{\mu}m$까지의 다양한 채널 길이와 폭으로 제작한 후 각 소자들의 I-V 특성 곡선과 소자의 물성 분석을 위해 필요한 변수들을 구하여 이들의 전기적인 특성을 비교, 분석하였다. 제작된 소자들로부터 측정된 이동도는 $100{\sim}400Cm^2$/Vs, on/off 전류비는 약 $10^7$, off-state 전류는 약 $100{\times}10^{-12}A$로 대체적으로 우수한 특성을 보였다.

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동적 베이지안 네트워크 기반 실외 감시카메라의 객체검출 보정 시스템 (A Correction System of Objects Detected from Outdoor Surveillance Cameras based on Dynamic Bayesian Network)

  • 이시혁;조성배
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
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    • 한국정보과학회 2012년도 한국컴퓨터종합학술대회논문집 Vol.39 No.1(B)
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    • pp.402-404
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    • 2012
  • 감시카메라의 성능이 향상됨에 따라 감시 카메라를 적용한 다양한 분야에 자동탐지 시스템의 적용 사례가 증가하고 있다. 하지만 동적인 상황이 빈번히 발생하는 실외환경에서의 감시카메라는 빛이나 날씨 등에 의해 불확실성을 일으킬 수 있다. 본 논문에서는 발생한 불확실성을 시계열로 보정하기 위한 방법으로 동적 베이지만 네트워크 기반의 시스템을 제안한다. 객체의 속도와 레이블, 방향 등을 시계열로 고려해 발생한 불확실한 상황에 대해 객체 검출을 보정하였다. 또한 실제 비디오 영상을 이용한 실험 및 평가를 수행하여 그 유용성을 입증하였다.

2축 로드셀 기반 스크레치테스터의 제작 및 평가

  • 이정일;김종호;이효직;오희근;박연규;강대임
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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    • pp.170-170
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    • 2004
  • 박막의 접착강도를 측정하기 위하여 수직력과 수평력을 동시에 측정할 수 있는 0.1∼100 N 용량의 2축 로드셀에 기반을 둔 스크레치 테스터를 개발하였다. 반도체용 Si wafer 기판 위에 Au나 Al 등의 금속이 관은 박막으로 증착된 제품을 table에 고정시킨 후, 2축 로드셀(x, z)이 장착된 하중센서의 선단에 Diamond Tip을 장착하여 기판과 박막에 하중(z-axis)을 증가시키면서 동시에 wafer를 x축 방향으로 이동시킨다. 이런 방식으로 시료의 표면을 긁으면 박막이 벗겨져 나가 Diamond Tip이 기판에 닿을 때 서로 다른 경도차에 의해 진동이 발생하게 되고, 이 진동을 Acoustic Emission 센서에서 감지하여 Crack 발생 시점의 Load와 Stroke를 찾아내게 된다.(중략)

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고온초전도 전력케이블 개발동향 및 국내의 연구개발 방향 (The Present Technical Trend and the Future Direction of HTS Power Cable R&D)

  • 황시돌;현옥배;최효상;김혜림;김상준
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 E
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    • pp.2054-2056
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    • 1999
  • We surveyed the recent technical trends concerning high-Tc superconducting(HTS) Power cable R&D around the world, and proposed the course the HTS power cable R&D in Korea should take. The HTS power cable R&D in Korea need be started as soon as posible with focusing on the development and field test of the economical HTS conductors.

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배전선로의 조류고장 대책 및 향후 추진방향 (The Countermeasure and Future Work on Bird-failure in Distribution Lines)

  • 위홍철;조시형
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 D
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    • pp.813-815
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    • 1997
  • 최근의 전력품질은 양적인 요구에서 질적인 요구로 변화하고 순간적인 전압강하나 정전이 사회에 미치는 영향이 크게 되었다. 배전선로 신뢰도 향상을 통한 안정적 전력공급을 위해 조류고장 방지에 대한 대책을 지금까지 다양한 방법으로 시도하였으나 조류고장은 여전히 중가추세에 있다. 조류고장 원인을 분석하면 길조로 인식되고 있고 자연한경보호 의식이 고조되면서 까치수가 급증하고 지역개발에 의해 교목이 감소하면서 전주애 둥지를 짓고 둥지재료도 나무가지 및 철선을 이용하여 둥지재료와 전선과의 접촉으로 전선단선동 고장복구에 장시간을 요하게 된다. 조류피해 방지대책의 종류와 시행상 문제점을 분석하고 까치집을 철거하지 않고 까치와 공존 공생할 수 있는 환경 신화적이고 과학적인 배전설비 구축으로 조류고장의 근원적 해소로 양질의 전력공급에 최선을 다하고자 한다.

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양방향 통신을 이용한 무선수위제어기의 성능개선 (Improving of the performance with Wireless Water Level Control by using the Full-Duplex Communication Module)

  • 양시창;문채주;장영학;정해덕;김의선
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기기기 및 에너지변환시스템부문
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    • pp.157-159
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    • 2004
  • 기존의 수위 제어기는 단 방향 무선 통신을 이용함으로써 오류가 발생한 정보의 수신 시에 정정 능력이 없었다. 그리고 대부분의 관정이 산간 오지에 설치됨으로써 태양전지와 보조 배터리를 전원으로 사용하기 때문에 소모 전력의 절감이 큰 과제였다 또한 송신기와 수신기의 채널 변경 시에는 전문가의 도움을 받아야만 가능하였다. 본 연구에서는 수위 제어기에 마이크로 컨트롤러를 채용하고 양방향 통신 방식을 이용함으로써 잘못 수신된 정보를 정정할 수 있도록 하고, 전력 소모가 많은 송신기의 전원을 관리하며, 일반 사용자도 DIP 스위치를 이용하여 채널을 변경할 수 있는 수위제어 시스템을 구현하고자 하였다.

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매엽식 방법을 이용한 웨이퍼 후면의 박막 식각

  • 안영기;김현종;구교욱;조중근
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회
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    • pp.177-181
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    • 2006
  • 반도체를 만드는데 있어서 여러가지 박막을 형성하는 공정이 있다. 이때 가장 많이 쓰이는 방법이 CVD(Chemical Vapor Deposition)방법이나 PVD(Physical Vapor Deposition)방법이다. 이들 방법으로 막을 형성하게 되면, 웨이퍼 이면에도 막이 형성되게 된다. 웨이퍼 후면에 증착된 막은 공정 특성상 두께분포가 균일하지 못하고 다음 공정 중에 웨이퍼 전면을 오염시킬 수 있다. 후면의 박막이 있는 상태로 웨이퍼가 batch 방식의 습식공정이 진행되면, 후면의 박막이 떨어져 나와서 웨이퍼 전면을 오염시키게 된다. 또한 공정에 따라서 기판전면은 식각 시키지 않고 후면만 식각 시키는 경우가 발생하는데, 이때 웨이퍼 아래에 설치된 노즐을 사용하여 웨이퍼 후면의 박막을 식각할 수 있다. 본 연구는 노즐에서 약액이 분사되는 방향과 위치를 조절하여 매엽식 장비에서 웨이퍼 후면의 막을 균일하게 식각 시킬 수 있는 노즐을 제작하고 웨이퍼 후면의 $Si_{3}N_{4}$막을 분당 $1000{\AA}$이상 식각 하였으며 균일도를 5% 이하로 하였다.

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울진 원자력 5&6호기 Motor Operated Valve의 Equalizing Bypass Pipe Line에 대한 피로수명예측

  • 이진구;황인현;이억섭
    • 한국산업안전학회:학술대회논문집
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    • 한국안전학회 2001년도 공동학술대회
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    • pp.219-224
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    • 2001
  • 본 연구는 울진 원자력발전소 5&6호기 Class 1680, Parallel Gate 16-inch, Motor Operated Valve (Valve ID No. SI-653 and 654)에 부착되는 Equalizing Bypass Pipe Line (EBPL)이 밸브 시스템에 발생시키는 진동하중에 의한 영향을 동적 피로안정성 관점에서 규명하기 위하여 수행된 것이다. Equalizing Bypass Line Part의 최종 설계된 형상을 Fig. 1에 나타내었다. 본 해석을 위하여 운용 중 발생되는 부착부의 잔류진동 레벨이 3축 방향 가속도로 측정되었다. 본 연구에서는 해당 시변 가속도 데이터를 바탕으로 정확한 시간-응력 이력을 얻기 위하여 시간영역에서 천이 진동해석 (Transient Vibration Analysis)을 수행하였으며, 이를 실제적인 피로해석에 활용하였다. 시간영역에서의 천이 진동해석 및 피로해석을 위해 상용유한요소 해석프로그램인 ANSYS (Version 5.6)를 활용하였다.(중략)

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GaN 미소결정의 형상에 미치는 결정 극성의 영향

  • 김병훈;이수민;정수진
    • 한국결정학회:학술대회논문집
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    • 한국결정학회 2002년도 정기총회 및 추계학술연구발표회
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    • pp.21-21
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    • 2002
  • 극축을 따라 나타나는 결정학적 이방성이 결정성장에 미치는 영향을 알아보기 위해서 SiO₂막 위에서 GaN 미소결정들을 성장시켰다. 미소결정을 구성하는 면들은 PBC이론이 예측한 바와 같이 {10-11], {0001}, {10-10}이었다. 극축인 c축을 따라서 현저한 성장의 이방성을 관찰할 수 있었으며 (0001)면이 매우 빨리 성장 하여 사라지는 현상을 확인하였다. 이것은 sp3결합에서 나타나는 고립전자쌍이 (000-1)면의 성장을 저지함으로서 나타나는 현상이라고 생각된다. 성장 중 결정표면의 전자상태에 따라 수소흡착이 일어날 수 있는데, 특히 {10-11}면과 같은 한 개의 전자로 이루어진 sp3결합 팔은 매우 많은 양의 수소를 흡착하여 {10-11}면의 성장을 저지한다. 따라서 +c축 방향의 경우 빨리 성장하고 수소흡착을 위한 전자가 없는 (0001)면 대신 {10-11}면이 외형상 매우 중요한 면으로 나타나게 된다. 저온에서는 {10-10}, {10-12}면들도 나타났으며 극축을 따라 나타나는 쌍정을 대부분의 미소결정 성장과정에서 관찰 하였다. r-plane 사파이어 기판 위에서 성장시킨 GaN 미소 결정을 통하여 극성과 GaN의 성장속도 차이를 확인할 수 있었다.

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