• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2003.07a
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• pp.195-198
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• 2003

본 연구에서는 MILC 및 FALC를 도핑 타입에 따른 온도별 패턴별 인가 전압별로 진행하여 현미경 및 FESEM 관찰을 함으로써 그 메커니즘을 규명하고자 하였다. LPCVD를 이용하여 $1000\;{\AA}$ a-Si 을 glass에 입힌 후 photolithography법 또는 Hard Mask법으로 Ni $200\;{\AA}$ 을 선택적으로 증착하였으며 Pt 전극을 Sputtering법으로 제작하였다. $33\;{\sim}\;200\;V/cm$의 전기장 하에서 MILC 속도가 2배 정도 증가되는 현상이 관찰되었으며 또한 인접패턴에 의해 FALC 속도가 영향을 받는 현상이 관찰되었다. 또한 전자가 움직이는 방향으로 MILC 선단영역 전후에 Void가 발생하는 영역이 존재함을 발견하였다. FESEM 분석을 통하여 FALC 영역 및 Void 영역을 관찰한 결과 도핑 종류에 따라 결정화 양상이 다른 것이 관찰되었으며 Void 분석결과 Charged vacancy가 어닐링시 결집되어 나타나는 것으로 분석할 수 있었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07c
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• pp.1542-1545
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• 2002

Experimental works were performed to implement the hetero-epitaxial growth of diamond films on the (100)- and (111)-oriented Si substrates. The deposition process used to prepare diamond films consisted of a bias-enhanced nucleation(BEN) step, accompanied with a growth step using a microwave plasma CVD system. The highly oriented diamond films were deposited under the growth condition of relatively low methane concentrations and high temperatures. Material properties and surface morphologies of deposited diamond films were improved by the addition of carburization step into the deposition process.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07c
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• pp.2014-2016
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• 2002

Liquid crystal displays(LCDs)의 스위칭 소자로써 thin film transistors(TFTs)를 적용하기 위해서 저온 공정이 가능하도록 molybdenum 금속을 게이트에 사용하여 저온 다결정 TFTs 소자를 제작하였다. 또한, 채널 길이 방향으로 결정을 성장시켜 결정립이 큰 다결정 실리콘을 얻을 수 있는 sequential lateral solidification(SLS) 결정화 방법을 사용하였다. SLS-TFT 소자를 $2{\mu}m$에서 $20{\mu}m$까지의 다양한 채널 길이와 폭으로 제작한 후 각 소자들의 I-V 특성 곡선과 소자의 물성 분석을 위해 필요한 변수들을 구하여 이들의 전기적인 특성을 비교, 분석하였다. 제작된 소자들로부터 측정된 이동도는 $100{\sim}400Cm^2$/Vs, on/off 전류비는 약 $10^7$, off-state 전류는 약 $100{\times}10^{-12}A$로 대체적으로 우수한 특성을 보였다.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 2012.06b
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• pp.402-404
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• 2012

감시카메라의 성능이 향상됨에 따라 감시 카메라를 적용한 다양한 분야에 자동탐지 시스템의 적용 사례가 증가하고 있다. 하지만 동적인 상황이 빈번히 발생하는 실외환경에서의 감시카메라는 빛이나 날씨 등에 의해 불확실성을 일으킬 수 있다. 본 논문에서는 발생한 불확실성을 시계열로 보정하기 위한 방법으로 동적 베이지만 네트워크 기반의 시스템을 제안한다. 객체의 속도와 레이블, 방향 등을 시계열로 고려해 발생한 불확실한 상황에 대해 객체 검출을 보정하였다. 또한 실제 비디오 영상을 이용한 실험 및 평가를 수행하여 그 유용성을 입증하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.170-170
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• 2004

박막의 접착강도를 측정하기 위하여 수직력과 수평력을 동시에 측정할 수 있는 0.1∼100 N 용량의 2축 로드셀에 기반을 둔 스크레치 테스터를 개발하였다. 반도체용 Si wafer 기판 위에 Au나 Al 등의 금속이 관은 박막으로 증착된 제품을 table에 고정시킨 후, 2축 로드셀(x, z)이 장착된 하중센서의 선단에 Diamond Tip을 장착하여 기판과 박막에 하중(z-axis)을 증가시키면서 동시에 wafer를 x축 방향으로 이동시킨다. 이런 방식으로 시료의 표면을 긁으면 박막이 벗겨져 나가 Diamond Tip이 기판에 닿을 때 서로 다른 경도차에 의해 진동이 발생하게 되고, 이 진동을 Acoustic Emission 센서에서 감지하여 Crack 발생 시점의 Load와 Stroke를 찾아내게 된다.(중략)

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1999.07e
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• pp.2054-2056
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• 1999

We surveyed the recent technical trends concerning high-Tc superconducting(HTS) Power cable R&D around the world, and proposed the course the HTS power cable R&D in Korea should take. The HTS power cable R&D in Korea need be started as soon as posible with focusing on the development and field test of the economical HTS conductors.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1997.07c
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• pp.813-815
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• 1997

최근의 전력품질은 양적인 요구에서 질적인 요구로 변화하고 순간적인 전압강하나 정전이 사회에 미치는 영향이 크게 되었다. 배전선로 신뢰도 향상을 통한 안정적 전력공급을 위해 조류고장 방지에 대한 대책을 지금까지 다양한 방법으로 시도하였으나 조류고장은 여전히 중가추세에 있다. 조류고장 원인을 분석하면 길조로 인식되고 있고 자연한경보호 의식이 고조되면서 까치수가 급증하고 지역개발에 의해 교목이 감소하면서 전주애 둥지를 짓고 둥지재료도 나무가지 및 철선을 이용하여 둥지재료와 전선과의 접촉으로 전선단선동 고장복구에 장시간을 요하게 된다. 조류피해 방지대책의 종류와 시행상 문제점을 분석하고 까치집을 철거하지 않고 까치와 공존 공생할 수 있는 환경 신화적이고 과학적인 배전설비 구축으로 조류고장의 근원적 해소로 양질의 전력공급에 최선을 다하고자 한다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.10a
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• pp.157-159
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• 2004

기존의 수위 제어기는 단 방향 무선 통신을 이용함으로써 오류가 발생한 정보의 수신 시에 정정 능력이 없었다. 그리고 대부분의 관정이 산간 오지에 설치됨으로써 태양전지와 보조 배터리를 전원으로 사용하기 때문에 소모 전력의 절감이 큰 과제였다 또한 송신기와 수신기의 채널 변경 시에는 전문가의 도움을 받아야만 가능하였다. 본 연구에서는 수위 제어기에 마이크로 컨트롤러를 채용하고 양방향 통신 방식을 이용함으로써 잘못 수신된 정보를 정정할 수 있도록 하고, 전력 소모가 많은 송신기의 전원을 관리하며, 일반 사용자도 DIP 스위치를 이용하여 채널을 변경할 수 있는 수위제어 시스템을 구현하고자 하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.05a
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• pp.177-181
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• 2006

반도체를 만드는데 있어서 여러가지 박막을 형성하는 공정이 있다. 이때 가장 많이 쓰이는 방법이 CVD(Chemical Vapor Deposition)방법이나 PVD(Physical Vapor Deposition)방법이다. 이들 방법으로 막을 형성하게 되면, 웨이퍼 이면에도 막이 형성되게 된다. 웨이퍼 후면에 증착된 막은 공정 특성상 두께분포가 균일하지 못하고 다음 공정 중에 웨이퍼 전면을 오염시킬 수 있다. 후면의 박막이 있는 상태로 웨이퍼가 batch 방식의 습식공정이 진행되면, 후면의 박막이 떨어져 나와서 웨이퍼 전면을 오염시키게 된다. 또한 공정에 따라서 기판전면은 식각 시키지 않고 후면만 식각 시키는 경우가 발생하는데, 이때 웨이퍼 아래에 설치된 노즐을 사용하여 웨이퍼 후면의 박막을 식각할 수 있다. 본 연구는 노즐에서 약액이 분사되는 방향과 위치를 조절하여 매엽식 장비에서 웨이퍼 후면의 막을 균일하게 식각 시킬 수 있는 노즐을 제작하고 웨이퍼 후면의 $Si_{3}N_{4}$막을 분당 $1000{\AA}$이상 식각 하였으며 균일도를 5% 이하로 하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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• 2001.11a
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• pp.219-224
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• 2001

본 연구는 울진 원자력발전소 5＆6호기 Class 1680, Parallel Gate 16-inch, Motor Operated Valve (Valve ID No. SI-653 and 654)에 부착되는 Equalizing Bypass Pipe Line (EBPL)이 밸브 시스템에 발생시키는 진동하중에 의한 영향을 동적 피로안정성 관점에서 규명하기 위하여 수행된 것이다. Equalizing Bypass Line Part의 최종 설계된 형상을 Fig. 1에 나타내었다. 본 해석을 위하여 운용 중 발생되는 부착부의 잔류진동 레벨이 3축 방향 가속도로 측정되었다. 본 연구에서는 해당 시변 가속도 데이터를 바탕으로 정확한 시간-응력 이력을 얻기 위하여 시간영역에서 천이 진동해석 (Transient Vibration Analysis)을 수행하였으며, 이를 실제적인 피로해석에 활용하였다. 시간영역에서의 천이 진동해석 및 피로해석을 위해 상용유한요소 해석프로그램인 ANSYS (Version 5.6)를 활용하였다.(중략)