The epitaxially grown Mg-doped GaN thin film was prepared by MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) for a SAW(Surface Acoustic Wave) filter. Mg-doped GaN thin film had enough properties for a SAW filter which include crystallinity and morphology. The surface morphology and crystalline of the Mg-doped GaN thin films were characterized using AFM and an X-ray rocking curve. The SAW filter, which was fabricated by lift-off process and frequency response, was measured by HP 8753C network analyzer. Center frequency was 96.687 MHz and SAW velocity was 5801 m/s when wavelength(λ) was 60${\mu}{\textrm}{m}$. Insertion loss was over -10 dB, Q was factor over 200, and side lobe attenuation was over 22 dB which was suitable for use as a SAW filter. Electro-mechanical coupling coefficient (k$^2$) was calculated from the measured data. k$^2$ was from 1 % to 1.44 %. The fabricated SAW filter using Mg-doped GaN/sapphire structure has good qualities as a filter and will be used as a SAW filter for operating RF frequency.
CDMA base station SAW filter has been designed and fabricated successfully. Through the computer simulation, SAW filter is designed to have center frequency of 69.99MHz, ripples lower than 0.7dB and rejection level lower than 50dB. To obtain low noise band pass SAW filter, Input electrode has a apodization type and output electrode has a withdrawal type. For the fabrication of the SAW filter, Al thin film is deposited to the quartz substrates. The fabricated SAW filter has center frequency of 70.5MHz, ripples of 1dB and rejection level of 45dB.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.3
no.2
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pp.291-304
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1999
In this work, a mathematical modeling of SAW coupled mode in SAW resonator filter, which is very useful in analyzing the characteristics of periodic electrode structure such as SAW reflective array and inter-digital transducers. was considered by mathematical analytic approach. The design and simulation method for resonator filter was also proposed by equivalent transduction matrix using this mathematical modeling. In order for a designer to simulate, and to design the coupled mode SAW resonator filters effectively that could be applied to mobile communication system, a design simulator for coupled mode filter was implemented by graphic user interface, and it was investigated by designing and analyzing practical SAW coupled mode resonator filter from a view point of application of this simulator.
Design of SAW ladder filters has been performed by a rather trial and error method, that is, by modifying the design variables step by step until designed performance of the filter satisfies given specifications. In this work, optimal design method has been developed that automatically determines the detailed pattern of the SAW ladder filter to meet the specification once desired performance is given. As a first step for the development, the analysis tool for the SAW ladder filter has been produced by means of the Smith equivalent circuit analysis technique, and its validity has been verified through comparison of its calculation result with experimental data. With the analysis tool, we have investigated the performance variation of the filter with the change of its design factors, and the result has led to the optimal design algorithm. Validity and efficiency of the algorithm has been checked through test design of several SAW ladder filter samples on the market.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2007.11a
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pp.325-326
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2007
SAW filter was designed by optimization technique using impulse sampling. To carry out characteristics of SAW filter the uniform IDT was adapted. And SAW filter was fabricated on $LiNbO_3$ substrates to evaluate frequency response. To apply properties of photolithography, lift off method was used. Lift off method was superior to etch method in fabrication process, frequency response property was measured by network analyzer. From a measurement of acoustic property, SAW propagation velocity was 2663.5m/sec.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.14
no.5
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pp.435-443
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2001
As power durable RF SAW filters, AL-(0∼2wt%)Cu alloy multi-layered thin electrodes were deposited on 42° LiTaO$_3$ piezoelectric substrates by magnetron sputtering process, and then ladder-type RF SAW filters, satisfying the electrical specification of CDMA transmission band, were fabricated through optimizing SAW resonator structures. The temperature of film electrodes in SAW filter was increased with RF power, and reached the maxima to cause a failure of SAW filters at the cut-off frequencies of the RF filter band. As RF power increases, the electrodes of Al-Cu alloy showed higher power durability than that of pure Al. The multi-layer laminated film of Al-1wt.% Cu/Cu/Al-1wt%Cu resulted in the best power durability up to 4W of RF power. Every film electrode, however, was destroyed within seconds whenever applying a critical RF power to SAW filters, regardless of the composition and structure of film electrodes. The breakdown of film electrodes under FR power seems to believe due to the fatigue of electrodes caused by repetitive cyclic stress of surface acoustic wave, which is amplified as RF power increases.
This paper proposes GaN film as a piezoelectric material for SAW(surface acoustic wave) filters. The fabricated GaN SAW filter exhibited a very high velocity of 5800 ㎧and relatively low insertion loss of -9.9 dB without matching circuit. From Smith's equivalent circuit model, the calculated electromechanical coupling factor (K$^2$) was about 4.$\pm$03%. which is larger than those obtained from other thin film piezoelectric materials and allows the realization of wider filter fractional bandwidths.
In this paper, surface acoustic wave (SAW) bandpass filter is designed using the Fourier series approach and the I$_{0}$-shin window function. And also we studied a method to realize SAW filter using the apodized ID transducer which was fabricated with aluminum metallization of about 1500 A over .deg. thickness on Y-cut Z-propagating LiNbO$_{3}$, crystal by photolithographic technique (lift-off method). Experimental results on SAW bandpass filter responses show good agreements with the theoretical characteristics.s.
Frequency responses of the surface acoustic wave(SAW) filters are simulated by using the impulse modeling. The simulation technique of the SAW filters is to use the Fourier transformation to make a correspondence between the impulse response of the filter and the taps in the delay line. Since the Fourier series must be truncated after a finite number of terms, window functions are often used to weight the coefficients to obtain the desirable side-lobe level and bandwidth. The filter design is operated through the iterative simulation procedures. The design process is capable of yielding filters with optimized frequency response characteristics.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.4
no.2
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pp.134-138
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1994
$LiTaO_3 (LT)$ single crystals (Y, X-axis) were grown from the congruent composition, 48.65 mole %, $Li_2O$ for SAW (Surface Acoustic Wave) applications. Basic SAW filters were fabricated on the RIST prepared LT wafers (Y-cut) using phtolithography. SAW filter performance was evaluated. The results were compared of the SAW characteristics between RIST prepared LT wafer (Y-cut) and commercial Yamaju wafer (Y-cut). The SAW filter prepared on the RIST grown LT wafer was shown better SAW performances than that of Yamaju wafer.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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