Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.02a
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pp.409-409
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2011
All solid-state thin film lithium batteries have many applications in miniaturized devices because of lightweight, long-life, low self-discharge and high energy density. The research of cathode materials for thin film lithium batteries that provide high energy density at fast discharge rates is important to meet the demands for high-power applications. Among cathode materials, lithium manganese oxide materials as spinel-based compounds have been reported to possess specific advantages of high electrochemical potential, high abundant, low cost, and low toxicity. However, the lithium manganese oxide has problem of capacity fade which caused by dissolution of Mn ions during intercalation reaction and phase instability. For this problem, many studies on effect of various transition metals have been reported. In the preliminary study, the Sn-substituted LiMn2O4 thin films prepared by pulsed laser deposition have shown the improvement in discharge capacity and cycleability. In this study, the thin films of LiMn2O4 and LiSn0.0125Mn1.975O4 prepared by RF magnetron sputtering were studied with effect of deposition parameters on the phase, surface morphology and electrochemical property. And, all solid-state thin film batteries comprised of a lithium anode, lithium phosphorus oxy-nitride (LiPON) solid electrolyte and LiMn2O4-based cathode were fabricated, and the electrochemical property was investigated.
Rare-earth zirconates, such as lanthanum zirconates and gadolinium zirconates, have been intensively investigated due to their excellent properties of low thermal conductivity as well as chemical stability at high temperature, which can make these materials ones of the most promising candidates for next-generation thermal barrier coating applications. In this study, three compositions, lanthanum/gadolinium zirconates with reduced rare-earth contents from stoichiometric $RE_2Zr_2O_7$ compositions, are fabricated via solid state reaction as well as sintering at $1600^{\circ}C$ for 4 hrs. The phase formation, microstructure, and thermo-physical properties of three oxide ceramics are examined. In particular, each oxide ceramics exhibits composite structures between pyrochlore and fluorite phases. The potential of lanthanum/gadolinium zirconate ceramics for TBC applications is also discussed.
Microstructural investigations of $(1-x)NdAlO_3-xCaTiO_3$ (NACT) complex perovskite compounds were carried out using X-ray diffractometry, neutron diffraction and transmission electron microscopy. When $0.3{\leq}x{\leq}0.9$, NACT had not only the 1 : 1 chemical ordering of cations but also the antiphase and inphase tilting of oxygen octahedron and the antiparallel shift of cations. Both the antiphase boundaries and the ferroelastic domains were present in the microstructure. The long and straight ferroelastic domains became degenerate as x decreases. When x was smaller than 0.3, the chemical ordering was absent and the antiphase tilting of oxygen octahedron was observed. The defects like tangled dislocations and the second phase were also found in the microstructure.
Park, Gil-Soo;Seo, Sang-Won;Choi, Woo-Beom;Kim, Jin-Sang;Nahm, Sahn;Lee, Jong-Heun;Ju, Byeong-Kwon
Journal of Sensor Science and Technology
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v.15
no.1
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pp.58-64
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2006
In this study, we describe a low-temperature wafer-level thermocompression bonding using electroplated gold seal line and bonding pads by electroplating method for RF-MEMS devices. Silicon wafers, electroplated with gold (Au), were completely bonded at $320^{\circ}C$ for 30 min at a pressure of 2.5 MPa. The through-hole interconnection between the packaged devices and external terminal did not need metal filling process and was made by gold films deposited on the sidewall of the throughhole. This process was low-cost and short in duration. Helium leak rate, which is measured to evaluate the reliability of bonded wafers, was $2.7{\pm}0.614{\times}10^{-10}Pam^{3}/s$. The insertion loss of the CPW packaged was $-0.069{\sim}-0.085\;dB$. The difference of the insertion loss between the unpackaged and packaged CPW was less than -0.03. These values show very good RF characteristics of the packaging. Therefore, gold thermocompression bonding can be applied to high quality hermetic wafer level packaging of RF-MEMS devices.
Microstructural investigations of $(Li_{1/2}Pr_{1/2})TiO_3$ (LPT) complex perovskite compounds were carried out using X-ray diffractometry and transmission electron microscopy. LPT has not only the ordering of A-site cation deficiencies but also has the antiphase and inphase tilting of oxygen octahedron and the antiparallel shift of cations. Both the antiphase boundaries and the ferroelastic domains are present in the microstructure. Spinodal decomposition is found in the microstructure. The measured dielectric properties were ${\varepsilon}_r=84.6,\;Q\;{\Large f}_o=776\;GHz,\;{\tau}_{f}=-233.66ppm/^{\circ}C$.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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1996.11a
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pp.49-53
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1996
Crystal structures of N $a_{x}$W $O_3$(0.5$\leq$x$\leq$1.0) were investigated. Transmission electron microscopy (TEM) studies indicate that there is an ordering of sodium ions when x=0.75. The direction of ordering is [110] and the wavelength of ordering is twice of the interplanar distance of (110) plane. It has been confirmed that a superlattice containing eight N $a_{0.75}$W $O_3$is the unit cell of ordered structure. In this unit cell, Na sites at (100) and ($\frac{1}{2}$$\frac{1}{2}$$\frac{1}{2}$) are vacant. The ordered phase was preserved after the annealing at $600^{\circ}C$ in the air. In reduced N $a_{x}$W $O_3$with x=0.5 and 1.0, extra phases were found to coexist with the partially ordered perovskite phase. After annealing at $600^{\circ}C$, theses phases were transformed into the phases found in calcined specimens.ens.s.
The crystal structure of A2+(Mg1/3Nb2/3)O3,(A2+=Sr2+ and Ca2+)ceramics was studied usig X-ray diffraction (XRD) and high resolution transmission electrion microscopy(HRTEM). Ba(Mg1/3Nb2/3)O3 (SMN) has the 1:2 ordered monoclinic structure which has the anti-phase tilt of octahedra. The type of tilting in SMN was considered to be a$^{\circ}$a$^{\circ}$c- or aac$^{\circ}$ Ca(Mg1/3Nb2/3)O3 (CMN) also has the 1:2 ordered monoclinic structure which was distorted by the anti-phase tilt or in-phsae tilt of octahedra. A unit cell containing both the in-phase tilt axis and anti-phase tilt axis was not observed in the CMN. Therefore CMN has the mixed phase consisting of the 1:2 ordered monoclinic phase with anti-phase tilt of octahedra and the one with in -phase tilt of ocatahedra,. The anti-parallel shift of cation was also observed in the CMN.
(1-x)NdAlO$_3$-xCaTiO$_3$세라믹스의 결정구조와 마이크로파 유전특성을 조사하였다. 시편의 결정구조는 조성에 따라서 변화하였는데, 그 결정구조는 x$\leq$0.1일 때는 능면정(rhombohedral) 구조를, 0.3$\leq$x$\leq$0.7에서는 정방정 (tetragonal) 구조를 그리고, x$\geq$0.7일 때 다시 사방정 (orthorhombic) 구조로 바뀌었다. 또한 (1-x)NdAlO$_3$-xCaTiO$_3$세라믹스에서 이차상의 두 종류가 발견되었다. x$\leq$0.5인 시편에서는 Nd$_4$Al$_2$O$_{9}$상이, x$\geq$0.7인 시편에서는 Al-rich상이 발견되었다. x가 증가함에 따라, 유전율 ($\varepsilon$$_{r}$)과 공진주파수의 온도계수 ($ au$$_{f}$ )가 증가하였고, Q$\times$f 값은 x의 증가에 따라 증가하며, x=0.5일 때 최대값을 얻었다. 그리고 0.3NdAlO$_3$-0.7CaTiO$_3$에서 Q$\times$f=46,000, $\varepsilon$$_{r}$=45 그리고 $\tau$$_{f}$ =-1.5 ppm/$^{\circ}C$의 우수한 마이크로파 유전특성을 얻을 수 있었다.
Microstructural investigations of $(Na_{1/2}Pr_{1/2})TiO_3$ (NPT) complex perovskite compounds were carried out using X-ray diffractometry and transmission electron microscopy. NPT had not 1:1 chemical ordering of Asite cations but had the antiphase and inphase tilting of oxygen octahedron and the antiparallel shift of cations. Both the antiphase boundaries and the ferroelastic domains were not present in the microstructure. Unidentified second phase was found in the microstructure. The measured dielectric properties were ${\varepsilon}_r=99.6,\;Q\;{\Large f}_o=1124\;GHz,\;{\tau}_{f}=-233.64ppm/^{\circ}C$.
Proceedings of the Korea Crystallographic Association Conference
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2003.05a
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pp.25-25
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2003
BaTi₄O/sub 9/계 세라믹스에 저온 소결 조제로 첨가된 lithium-borosilicate계 유리 프리트의 첨가에 따른 상분해 현상을 XRD, TEM에 의하여 분석하였다. 유리 프리트의 첨가가 없는 BaTi₄O/sub 9/계 세라믹스는 첨가량과 열처리 온도에 관계없이 BaTi₄O/sub 9/상과 소량의 TiO₂상만이 관찰되었으나 저온 소결 조제로 사용된 유리 프리트의 첨가량이 증가할수록 BaTi₄O/sub 9/계 세라믹스는 BaTi₄O/sub 9/상 보다 Ti-rich상인 Ba₂Ti/sub 9/O/sub 20/상, BaTi/sub 5/O/sub 11/상, 또는 BaTi/sub 5/O/sub 11/상과 Ba₄Ti₃O/sub 30/상으로 공존하며 분해되는 것을 관찰하였다. 공존하며 분해되는 것을 관찰하였다. 유리 프리트가 10 wt% 첨가시 600℃ 까지는 BaTi₄O/sub 9/상과 TiO₂상으로 존재하였으나 700℃ 전후에서 BaTi/sub 5/O/sub 11/상과 Ba₄Ti/sub 13/O/sub 30/상으로 분해되기 시작하여 875℃에서는 BaTi₄O/sub 9/상이 완전히 분해되어 BaTi/sub 5/O/sub 11/상이 주상으로 Ba₄Ti/sub 13/O/sub 30/상은 이차상으로 존재하는 것을 확인하였다. 또한, 열처리 온도가 증가할수록 Ba₄Ti/sub 13/O/sub 30/상이 상대적으로 감소하고 있는 것도 관찰할 수 있었다.
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