$La_2O_3/HfO_2$ 나노 층상구조를 이용한 MIM capacitor의 특성 향상
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2012년도 춘계학술발표대회
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- pp.82.1-82.1
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- 2012